在半导体处理设备中使用径向基函数网络与超立方体进行偏离分类的制作方法_3

文档序号:9355200阅读:来源:国知局
03与每一节点1000、1001的形心1005、1007之间的距离。样本1003接着会被视为属于 最近的偏离A节点1001的形心1007,如图10所示。在此,系统102可允许使用者将所述样 本加入最佳匹配类别、将所述样本加入新类别或不采取动作。
[0075] 举例而言,利用归一化高斯激活方程式a2来激活每一节点。接着,利用下式来调 整每一节点输出。
[0076] 节点总和=E节点输出(n)
[0077]
[0078] 此方案确保激活一个节点,因此输出并非是"未知"。用于确定样本类别的逻辑是 类似的。换言之,假设初始网络发现一样本是"未知"(表示其并不属于任何现有节点),则 使用者会想要确定所述样本是否类似于现有节点(例如,接近现有节点、但实际上未在所 述节点中)。在此,使用归一化的高斯激活来激活所述网络,且至少一个节点激活以使得所 述网络不会针对样本返回"未知"。所述网络将返回最接近所述样本的节点的节点标签。
[0079] 在一实施方式中,若样本存在于多个超球体或超立方体中,则系统102可使用RBF 函数来确定所述样本所属于的超球体或超立方体。举例而言,图11示出第一节点1100、偏 离A节点1101以及偏离B节点1103。在此,样本1105存在于偏离A节点1101和偏离B节 点1103两者的超球体1107、1109内。样本1105与样本所存在的每一节点1101、1103的形 心1111、1113之间的距离被测量。系统102接着将样本1105视为属于形心最近的节点。
[0080] 在一实施方式中,若超立方体被用于检测,且样本存在于两个或更多个超立方体 中(例如,多个节点具有1的输出值),则出现的所有节点的接收场被设定为1。利用方程 式al来激活样本所存在的超立方体的节点并记录输出。最大输出被记录,且所述样本被视 为属于具有最大输出的节点。若使用RBF函数,且样本被发现是在两个或更多节点中,则记 录最大输出,且所述样本被视为属于具有最大输出的节点。在此,所述样本可不属于节点、 或仅属于一个节点。所述样本被给予所述样本所存在的节点的标签。
[0081] 换言之,若发现样本是在两个或更多个超立方体中,所述超立方体检测仅返回1 或0,则这样无法单独以此信息来确定所述样本所属于的立方体。因此,切换至RBF函数, 所述样本离每一个立方体中心的距离即能被确定。以最靠近的立方体的标签来标示未知样 本。若发现样本是在两个或更多个超球体中,则具有最大RBF函数输出的节点的标签会被 记录,这是由于RBF函数在样本位于立方体中心时会返回1,且会随着样本离中心更远而衰 减。
[0082] 在确定检测的可信度预估值时,若超立方体被用于检测,则确定性为100%。若使 用的是RBF函数,且发现所述样本并不属于任何节点,则确定性也同样为100%。否则确定 性为方程式a4*100%,其中X为所述节点的原始接收场值。
[0083] 在一实施方式中,系统102确定存在于超球体内、但在超立方体外的样本的可信 度预估值。在此,样本可仅在一个维度中具有误差。系统102确定在任何维度中的最大误 差及在单一误差维度上的样本误差,如图13所示。至超立方体的平面的距离由所述样本误 差与所述最大误差的误差比例确定。此误差比例可用于确定可信度预估值。
[0084] 图14A、图14B、图14C、图14D与图14E示出了根据上述方法加以分析的示例性传 感器数据。举例而言,传感器数据可特征化偏压RF系统,包括匹配序列位置(如图14A所 示)、匹配分流位置(如图14B所示)、DC偏压(如图14C所示)、正向功率(如图14D所示) 以及反射功率(如图14E所示)。在这些实例中,在中心带内的样本表示"正常"行为。在 此,可产生五维的RBF网络,所述网络取得五组传感器数据作为输入,并可仅初步区分"正 常"和"不正常"操作。
[0085] 图15A示出"正常"操作的实例,而图15B示出"不正常"操作的实例。对于图15B 所示的"不正常"情况而言,匹配序列位置上升(UP)、匹配分流位置下降(DOWN)、DC偏压下 降(DOWN)、正向功率上升(UP)且反射功率上升(UP)。在此,系统可允许使用者将此偏离指 定为"已知"偏离类型(例如故障类型),带有修正动作(如果已知的话)或不采取动作。
[0086] 就这个实例而言,使用者确定这是一种被称为"RF偏压问题"的故障,带有"将SW 更新至版本XX.XX.xx"的修正动作。在一实施方式中,此信息可作为偏离108而被加到持 久储存单元112中,使得当系统102分析具有类似参数的样本时,系统102可对使用者提供 故障类型与建议的修正动作。
[0087] 图16示出了RBF网络的实例,其中仅绘示出三个维度。在此,DC偏压与正常节点 重叠。在这个情况中,若所分析的样本在"正常"与"DC偏压偏移"两节点中,则系统将确定 样本为"正常"。一样本被示在"偏压耦合"节点的边上,且确定性被确定为约78%。
[0088] 在一实施方式中,若加入新的偏离节点,则节点大小由离第一节点的原点的距离 决定。第一节点位于原点处。偏离节点离原点越远,则节点的大小就越大。最初样本与原 点之间的距离是利用下式计算:
[0089]
[0090] 其中s为样本坐标,〇为原点,n为维度
[0091] 若所述距离小于3,则新节点的大小为1。若所述距离大于9,则新的节点的大小 为3。换句话说,新节点的大小=距离/3。换言之,节点离原点越远,则节点将会越大。节 点大小从靠近原点时节点大小为1线性增加,直到节点大小为3为止,而比这个节点更远的 节点将具有的节点大小为3。在此,在靠近原点处,偏离可能会具有局部性分布,且因此使用 小节点,使得节点不与"正常"节点重叠。离原点越远,分布即增大,因此使用较大节点。然 而,可设置的最大节点大小为3,使得节点不会大到不合理。
[0092] 图17为方块图,其示出了示例性计算装置(或系统)1700。计算装置1700包括 一组指令以使计算装置1700执行本文所述的方法中的任一或多个方法。机器可在客户 端-伺服器网络环境中的伺服机器的容量中运行。所述机器可以是个人计算机(PC)、置顶 盒(STB)、伺服器、网络路由器、切换器或桥接器、或是可执行一组指令(依序或以其他方 式)(所述组指令指明所述机器将采取的动作)的任何机器。此外,虽然仅示出单一计算装 置,但用语"计算装置"应也可视为包括单独地或结合地执行一组(或多组)指令以执行本 文所述方法中的任一或多个方法的任何机器集合。
[0093] 示例性的计算机装置1700包括处理系统(处理装置)1702、主存储器1704(例如 只读存储器(R0M)、闪存、诸如同步DRAM(SDRAM)之类的动态随机存取存储器(DRAM)等)、 静态存储器1706(例如闪存、静态随机存取存储器(SRAM)等)以及数据储存装置1716,前 述计算机装置通过总线1708而彼此通讯。
[0094] 处理装置1702表示一或多个通用处理装置,比如微处理器、中央处理单元或类 似装置。更特定地,处理装置1702可以是复杂指令集运算(CISC)微处理器、精简指令集 运算(RISC)微处理器、超长指令字(VLIW)微处理器或是实施其他指令集的处理器或实施 指令集组合的处理器。处理装置1702也可为一或多个专用处理装置,比如专用集成电路 (ASIC)、现场可编程门阵列(FPGA)、数字信号处理器(DSP)、网络处理器或类似处理装置。 处理装置1702被配置以执行图1的系统102,以执行本文论述的操作与步骤。
[0095] 计算装置1700可进一步包括网络界面装置1722。计算装置1700也可包括视频显 示单元1710(例如液晶显示器(IXD)或阴极射线管(CRT))、字母数字输入装置1712(例如 键盘)、光标控置装置1714 (例如鼠标)以及信号产生装置1720 (例如扬声器)。
[0096] 数据储存装置1716可包括计算机可读取的储存媒介1724,在所述储存媒介上储 存有可体现本文描述的方法或功能中的任一或多种方法或功能的一或多组指令1726。在 由计算装置1700执行指令期间,指令1726也可完全或至少部分存在于主存储器1704内和 /或处理装置17
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