专利名称：用于调度半导体批次的系统的制作方法
技术领域：
本公开内容涉及在半导体处理中调度批次(lot)。更具体地，
本公开内容涉及为了操作员的检查而显示半导体处理工具的调度逻辑。
背景技术：
在半导体制造中，每个半导体都是作为半导体批次或组(下文 称为"批次")的一部分形成的。半导体批次由多个不同的处理工 具来处理。
将半导体批次安排或调度到处理工具是一个动态过程。例如，
在制造过程、原材料、处理工具和其他变量方面的条件可能改变， 这导致了需要将半导体批次动态调度到处理工具。
每个处理工具根据一个或多个过程规则对半导体批次执行特定 的制造过程。该过程规则由服务管理器施加，该服务管理器通常称 作实时调度服务管理器或"管理器"。该服务管理器是关于将要采 取的适当调度步骤(例如，特定批次应该传递到哪个工具)做出决
定的自动系统。而且，服务管理器考虑操作员输入的覆盖(override) 条件或过滤器。
服务管理器基于每个工具的操作特性以及其与给定批次发生关 系的方式来应用调度规则。调度规则可能出于多种原因从调度列表 (即，列出将要由工具处理的批次的列表)中移除批次。这些原因 包括工具设置优化、等待批量逻辑更新或对管理器上的在制品 (WIP)平衡要求做出补偿。
在某些情况中，调度规则和/或过滤器有意地使批次不被处理， 从而使工具空闲一段时间。然而，工具的用户/操作员无法分辨具有
空的调度列表的工具是被有意设计为空闲状态，还是应该做些事情 以使一个或多个批次可调度到该工具。
对于调度规则的逻辑的可视性不是实时可用的，因为已经将服 务管理器优化为快速执行调度规则。对于制造操作来说，了解批次 不能被调度的原因是重要的，因为一旦了解了原因，就可以知道做 什么可以使空闲的批次可用以及更好地利用工具。
因此，本申请已经确定的是需要一种实时显示以利用解释代码 来示出被调度的批次的状态。
发明内容
提供了一种用于在多个工具之间调度多个半导体批次的系统。 所述系统包括调度服务器管理器以及调度综合器和显示设备。调度 综合器和显示设备向所述管理器传递调度请求，并且从所述管理器 接收调度列表。所述管理器查询所述多个半导体批次的处理状态并 且显示调度列表以响应所述处理状态。所述调度列表包括与所述处 理状态有关的相关原因和/或代码。
还提供了 一种用于在多个工具之间调度多个半导体批次的系 统，所述系统包括调度综合器和显示器、调度服务管理器和解释基 础设施。所述调度服务管理器将所述多个半导体批次调度到多个调 度器。所述调度服务管理器与所述调度综合器和显示器进行电通信。
设施从所述调度服务管理器向所述调度综合器和显示器导出信息。 所述信息包括所述多个半导体批次的调度状态。
还提供了 一种用于处理半导体批次的方法。所述方法包括对具 有过滤器的调度服务器管理器进行编程，控制所述调度服务器管理 器来根据所述过滤器确定是否在多个调度器中的至少一个调度器上 调度所述半导体批次，以及如果所述调度服务器管理器没有调度所 述半导体批次，则控制所述调度服务器管理器在预定的时间帧内输
出原因代码。
本发明还包括存储在计算机可读介质中的计算机程序产品，所 述程序产品包括用于执行本发明方法的计算机可执行代码。本发明 还包括在计算系统中部署本发明的计算机程序产品的方法。
在下面，将更详细地描述本发明的这些和其他方面。
图1示出了根据本公开内容的系统的示例性实施方式；
法；
图3示出了根据本公开内容的调度服务器管理器的示例性实施 方式；以及
图4示出了根据本公开内容的输出表格的示例性实施方式。
具体实施例方式
参考附图，尤其参考附图1,示出了用于调度半导体批次的系统 的示例性实施方式("系统100")。有优势地，系统100包括解释 基础设施105，该解释基础设施105实时生成被调度的批次的状态以 及关于该状态的解释代码，以便显示给操作员。因此，系统100允 许用户修正和/或覆盖系统内的规则以便提高制造吞吐量。
系统100包括向实时调度服务器管理器120 ("管理器，，120) 传递调度请求115的调度综合器和显示设备("设备"110)。调度 请求115包含将要由管理器120调度到各种工具用于处理的被提议 的批次的列表。管理器120管理调度请求115以在多个调度器130、 135、 140之间分配它们。特别地，管理器120向调度器130、 135、 140发送调度请求115，调度器130、 135、 140处理来自于设备110 的调度请求。此外，管理器120将已经由调度器130、 135、 140计 算的调度列表125传回设备110。调度列表125包含当前被各种调度 器130、 135、 140控制以便处理的实际批次的列表。管理器120、调度请求115,向调度器130、 135和140查询关 于各种批次在调度器130、 135和140处是何种状态的状态报告。在 示出的实施方式中，管理器120在第一时间145和第二时间150查 询关于第一批次155和第二批次160的状态才艮告。
为了响应调度请求115,系统IOO在它们的分配时间向管理器 120返回调度列表125,其传达了这些批次的处理状态。调度列表125 包括批次155、 160在相应的时间145、 150的处理状态以及特定批 次是否正被处理。服务管理器120汇总调度列表125并且将汇总的 调度列表125传递到设备110。
有优势地，设备180显示的调度列表125具有关于为什么特定 批次155、 160在特定调度器130、 135、 140处还没有^皮管理器120 调度用于处理的相关原因和/或解释代码。该原因代码可能是调度器 130、 135、 140已经检测到传递给管理器120的批次中的错误条件并 且管理器120停止了调度该批次，或者可替换地，该原因代码可能 是管理器120已经基于包括过滤器在内的调度逻辑独立地确定不将 一个或多个批次调度到调度器130、 135、 140。
因此，系统100包括耦合至管理器120的解释基础设施105。基 础设施105包括文件收集器170和解释文件175。文件收集器170 收集关于针对各种批次155、 160的实时调度的决定，并且使得其对 于设备110来说是可访问的。换言之，收集器170收集(如在管理 器120处确定的)特定批次不可以被调度的原因，并且将该信息保 存到单独的文件中(即，解释文件175)。在某些实施方式中，解释 文件175还包括带有原因的相关传感器读取内容。
基础设施105经由解释报告出口 180实时地导出解释文件175, 该文件经由例如设备IIO导出给操作员。实时通常可以定义为在某 个批次在特定工具上的制造过程期间允许用户与管理器12 0进行交 互。换言之，通过使用系统IOO,关于在调度器130、 135、 140处批 次没被调度的原因的解释代码(即，解释文件175)被传递到产品不 可调度解释报告180，从而允许操作员对是否存在问题执行实时确
定，并且如果是存在问题，则通过对管理器120中的规则进行重新 编程来采取合适的动作。
图2示出了方法200，该方法200示出了非解释调度信息和实时 解释代码调度信息的并行流。
在步骤210中，"i殳备IIO请求调度各种批次，如调度请求115 那样。方法200前进到步骤220。在步骤220中，管理器120运4亍合 适的规则。换言之，运行用于一个或多个批次的规则，并且确定"调 度，，，即对没被过滤掉的批次的处理定时和顺序以及处理类型。方 法200并行地前进到步骤230和步骤240。
在步骤230中，调度列表125由管理器120生成。调度列表125 显示实际将要被处理的批次、顺序、以及管理器120基于来自于调 度器130、 135、 140的信息所确定的类似内容。然而，调度列表125 不列出在调度请求210中进行了请求但实际上没被管理器120调度 的任何批次，没被调度的原因诸如是给定批次被过滤器过滤掉了 。 方法200前进到步骤235。
在步骤235中，设备IIO接收调度列表125，但是不能实时访问 调度列表125。相反，日志保存在设备110内，并且操作员必须手动 片企查日志以确定正在调度哪些批次，并且因此，通过排除过程确定 哪些批次没被调度。此外，没被调度的批次不具有附加的原因代码， 解释它们没被调度的原因。
有优势地，在步骤240中，收集各种批次没被调度的相应原因。 方法200前进到步骤245。
在步骤245中，解释收集器170存储在步骤240中收集的解释 代码。该解释代码包括如管理器120所确定的关于各种批次没纟皮调 度或被延迟调度的原因的解释，诸如被安装的过滤器过滤掉了。在 一个实施方式中，解释收集器170每15分钟或根据需要收集解释代 码。可替换地，可以在操作员选择的某个其他定时序列上获取解释 代码。方法200前进到步骤250。
在步骤250中，在任何情况下，收集器170针对制造"日期"
在文件中存储所有的解释代码。这可以是按24小时的周期、轮班、 或者某个其他的时间周期。每日报告(或15分钟报告，或按需报告， 如步骤240和245中所收集的那样)启动其他并行过程。在步骤260 中这些原因被传递到历史收集器每日文件中，并且在步骤265中传 递到产品不可调度解释报告180。
可替换地，在步骤270中，历史的不可调度解释原因存储在文 件中，并且使得其可被不可调度解释报告工具180访问。
在步骤280中，操作员/用户请求实时信息，或者以其他方式向 操作员/用户提供关于批次处理程序的周期性更新。然后向用户"喿作 员提供关于各种批次没被处理的原因的解释代码。
图3更详细地示出了管理器120。管理器120包括作为一个或多 个过滤器310、 315、 320而存储在管理器中的一个或多个调度^L则 300。管理器120与解释报告出口 180通信，该解释报告出口 180例 如可以是以JAVA编程的出口。 4艮告出口 180耦合至显示器，i者如 但不限于设备110。
报告出口 180是代码或固件中可以被管理器120用来导出信息 的"出口端，，。有优势地，管理器120使用出口 180向设备110传 递将包含在不可调度解释文件175中的信息。因此，在执行了用户 请求步骤280之后，用户/操作员可以经由设备IIO查看因过滤器 310、 315、 320造成的不可调度的批次。该信息可以被用户用来在工 厂中采取动作以提高生产力。
图4示出了在设备110处可获得的信息的表格400，如它涉及包 括在不可调度的解释报告180内的解释代码。表格400可以包括诸 如但不限于调度工具标识符列410、批次标识符列420、调度时间列 430、解释代码列440、解释原因列450、批次细节列460以及它们 的任何组合。
有优势地，解释基础设施105与管理器120合作以允许用户实 时地看到批次和/或实时调度工具不工作的特定原因。这使得用户/ 操作员能够做出适当的调整。
本发明的系统优选地包括 一 个或多个与所述系统的部件相关的 计算机和/或微处理器用于实现系统的 一 个或多个方面。
本发明还包括存储在计算机可读介质中的计算机程序产品，该 计算机程序产品用于执行本发明的一个或多个方法。例如，本发明
包括具有用于通过以下内容处理半导体批次的计算机可执行代码的 计算机程序产 品
对具有过滤器的调度服务器管理器进行编程；
控制调度服务器管理器来根据所述过滤器确定是否在多个调度 器中的至少一个调度器上调度半导体批次；以及
如果调度服务器管理器没有调度半导体批次，则控制所述调度 服务器管理器在预定的时间帧内输出原因代码。
优选地，计算机程序产品进一步包括计算机可执行代码，该计 算机可执行代码用于控制调度服务器管理器将原因代码输出到显示 器。
优选地，计算机程序产品进一步包括计算机可执行代码，该计 算机可执行代码用于允许用户评估原因代码并且由用户根据所述原 因代码改变所述过滤器。所述改变可以包括删除过滤器。
优选地，计算机程序产品进一步包括允许原因代码包括选择自 这样的组中的数据的计算机可执行代码，所述组包括调度工具标识 符信息、批次标识符信息、调度时间信息、解释代码信息、解释原 因信息、批次细节信息以及它们的任何组合。
优选地，计算机程序产品进 一 步包括用于在调度服务器管理器 处接收调度请求的计算机可执行代码和用于在调度服务器管理器将 原因代码输出到输出设备之前在文件中存储原因代码的计算机可执 行代码。
本发明的计算机程序产品可以部署在计算机系统中(例如，通 过在系统的存储器设备中安装代码来部署)。该计算机系统可以是 制造工具的一部分和/或包括制造工具的一部分。计算系统可以包括 多个计算机、多个制造工具、远程计算机、便携式计算机可读介质
等。)
工业适用性
可以以这里描述的软件和其他设备实现本发明，通过支持实时
批次处理。对于制造操作来说，了解批次不能被调度的原因是重要 的，因为一旦了解了原因，就可以知道做什么可以使空闲的批次可 用以及更好地利用工具。期望本发明的实现能够提高制造工具的吞 吐量。
权利要求
1.一种用于在多个工具之间调度多个半导体批次(155、160)的系统(100)，所述系统包括调度服务器管理器(120)；以及调度综合器和显示设备(110)，用于将调度请求(115)传递到所述管理器并且从所述管理器接收调度列表(125)，其中，所述管理器查询所述多个半导体批次的处理状态并且显示调度列表以响应所述处理状态，其中所述调度列表包括与所述处理状态有关的相关原因和/或代码。
2. 根据权利要求1所述的系统，进一步包括耦合至所述管理器 的解释基础设施(105)，所述解释基础设施包括文件收集器(170), 其收集来自于所述管理器的关于所述处理状态的判决。
3. 根据权利要求2所述的系统，其中所述文件收集器将所述相 关原因和/或代码保存在解释文件(175)中。
4. 根据权利要求3所述的系统，其中所述解释文件包括对所述 多个工具的传感器读取内容。
5. 根据权利要求3所述的系统，其中所述解释基础设施经由解 释报告出口 (180)将所述解释文件导出到所述调度综合器和显示设 备。
6. 根据权利要求5所述的系统，其中所述解释报告出口包括 JAVA编程的出口。
7. 根据权利要求3所述的系统，其中所述解释文件包括选择自 这样的组中的数据，所述组包括调度工具标识符信息、批次标识符 信息、调度时间信息、解释代码信息、解释原因信息、批次细节信 息以及它们的<壬何组合。
8. —种用于调度多个半导体批次(155、 160)的系统(100)， 所述系统包括调度综合器和显示器(110);调度服务管理器(120),用于将所述多个半导体批次调度到多 个调度器(130、 135、 140)，所述调度服务管理器与所述调度综合 器和显示器进行电通信；以及解释基础设施(105),其与所述调度服务管理器进行通信，所 述解释基础设施从所述调度服务管理器向所述调度综合器和显示器 导出信息(175)，所述信息包括所述多个半导体批次的调度状态。
9. 根据权利要求8所述的系统，进一步包括用于根据所述信息 更新所述调度服务管理器的用户输入。
10. 根据权利要求8所述的系统，其中所述信息包括选择自这样 的组中的数据，所述组包括调度工具标识符信息、批次标识符信息、 调度时间信息、解释代码信息、解释原因信息、批次细节信息以及 它们的i"壬^T组合。
11. 一种处理半导体批次(155、 160)的方法，包括 对具有过滤器(310、 315、 320 )的调度服务器管理器(120)进行编程；调度器(130、 135、 140)中的至少一个调度器上调度所述半导体批 次；以及述调度服务器管理器在预定的时间帧内输出原因代码。
12. 根据权利要求11所述的方法，进一步包括控制所述调度服 务器管理器将所述原因代码(180)输出到显示器(110)。
13. 根据权利要求13所述的方法，进一步包括 由用户评估所述原因代码；以及由所述用户根据所述原因代码改变所述过滤器。
14. 根据权利要求13所述的方法，其中改变所述过滤器包括删 除所述过滤器。
15. 根据权利要求11所述的方法，其中所述原因代码包括选择 自这样的组中的数据，所述组包括调度工具标识符信息、批次标识符信息、调度时间信息、解释代码信息、解释原因信息、批次细节 信息以及它们的任何组合。
16. 根据权利要求11所述的方法，进一步包括在所述调度服务 器管理器处接收调度请求(115)。
17. 根据权利要求11所述的方法，进一步包括在所述调度服务
18. —种计算机可读介质中的计算机程序产品，所述程序产品包 括计算机可执行代码，所述计算机可执行代码用于执行处理半导体 批次(155、 160)的方法，所述方法包括对具有过滤器(310、 315、 320)的调度服务器管理器(120)进 行编程；控制所述调度服务器管理器来根据所述过滤器确定是否在多个 调度器(130、 135、 140)中的至少一个调度器上调度所述半导体批 次；以及
19. 根据权利要求18所述的计算机程序产品，进一步包括用于计算机可执行代码。
20. 根据权利要求19所述的计算机程序产品，进一步包括用于所述过滤器的计算机可执行代码。
21. 根据权利要求19所述的计算机程序产品，进一步包括这样 的计算机可执行代码，所述计算机可执行代码允许所述原因代码包 括选择自这样的组中的数据，所述组包括调度工具标识符信息、批 次标识符信息、调度时间信息、解释代码信息、解释原因信息、批 次细节信息以及它们的任何组合。
22. 根据权利要求19所述的计算机程序产品，进一步包括用于 在所述调度服务器管理器处接收调度请求(115)的计算机可执行代码。
23. 根据权利要求19所述的计算机程序产品，进一步包括用于 在所述调度服务器管理器输出所述原因代码之前将所述原因代码存 储在文件中的计算机可执行代码。
24. —种用于部署计算基础设施的方法，包括将计算机可执行代 码集成到计算系统中，其中所述代码结合所述计算系统能够执行处 理半导体批次(155、 160)的方法，所述方法包括对具有过滤器(310、 315、 320 )的调度服务器管理器(120)进 行编程；控制所述调度服务器管理器来根据所述过滤器确定是否在多个 调度器(130、 135、 140)中的至少一个调度器上调度所述半导体批 次；以及如果所述调度服务器管理器没有调度所述半导体批次，则控制所 述调度服务器管理器在预定的时间帧内输出原因代码(180)。
全文摘要
提供了一种用于在多个工具之间调度多个半导体批次(155、160)的系统(110)。该系统包括调度服务器管理器(120)以及调度综合器和显示设备(110)。调度综合器和显示设备向管理器传递调度请求(115)并且从管理器接收调度列表(125)。该管理器查询多个半导体批次的处理状态并且显示调度列表以响应处理状态。调度列表包括与处理状态有关的相关原因和/或代码(180)。
文档编号G07F17/32GK101361075SQ200780001721
公开日2009年2月4日 申请日期2007年1月29日 优先权日2006年1月31日
发明者A·德齐德齐克, E·迪克斯坦, R·伯达 申请人:国际商业机器公司