本实用新型属于半导体设备领域，涉及一种设备碰撞报警装置。
背景技术：
半导体器件的制备离不开高精度及高灵敏度的设备，对于对灵敏度和精度要求较高的设备，一旦被碰撞常常会造成设备故障。
在半导体产线上，包含有大量的高精度及高灵敏度的设备，如刻蚀机、晶圆切割机、贴片机等。然而，在产线上常常包含有用于运输、中转的推车及流动的工作人员等，因此产线上的设备难免会发生撞击的问题。其中，对于轻度撞击造成的设备问题，常常很难找到问题所在，使得设备运行存在隐患。以光刻机为例，目前，设备的盖板下常常装有互锁装置，用于对设备的撞击情况进行报警，当设备的盖板被撞击时，互锁装置会触发报警，提醒工作人员设备发生撞击。然而，这种互锁装置很容易损坏，且损坏后难以修复，造成资源浪费；互锁装置常常发生误报警和不报警的现象，准确度不高，工作人员常常会忽视互锁装置的作用，给设备运行带来很大的隐患；互锁装置仅仅能告知工作人员设备发生撞击，但对于撞击的程度以及撞击方向不能测量，因而工作人员如果想知道设备被撞击的方向及程度就需要大量的时间去排查，造成人力的浪费以及设备生产效率的降低。
综上所述，提供一种设备碰撞报警装置，用于解决由于互锁装置容易损坏，且损坏后难以修复，造成资源浪费；互锁装置常常发生误报警和不报警的现象，准确度不高，工作人员常常会忽视互锁装置的作用，给设备运行带来隐患；互锁装置仅仅能告知工作人员设备发生撞击，但对于撞击的程度以及撞击方向不能测量，造成人力的浪费以及设备生产效率降低的问题实属必要。
技术实现要素：
鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种设备碰撞报警装置，用于解决现有技术中由于互锁装置容易损坏，且损坏后难以修复，造成资源浪费；互锁装置常常发生误报警和不报警的现象，准确度不高，工作人员常常会忽视互锁装置的作用，给设备运行带来隐患；互锁装置仅仅能告知工作人员设备发生撞击，但对于撞击的程度以及撞击方向不能测量，造成人力的浪费以及设备生产效率的降低的问题。
为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种设备碰撞报警装置，包括：
顶板，所述顶板包括光源发射器；
底板，所述底板与所述顶板相对应，包括光源接收器用以接收由所述光源发射器发射的光源，所述底板的上表面自所述底板的边缘向所述底板的中心倾斜；
金属球，自由放置于位于所述底板的上表面；
第一电极，位于所述底板边缘；
第二电极，环绕于所述第一电极的外侧，并与所述第一电极形成间隙；所述间隙的宽度小于所述金属球的直径；
报警控制器，连接所述光源接收器、第一电极及第二电极。
优选地，所述设备碰撞报警装置还包括防护件。
优选地，所述防护件包括环绕于所述第二电极的外侧的透明玻璃罩。
优选地，所述防护件包括环绕于所述第二电极的外侧的防护网。
优选地，所述设备碰撞报警装置还包括穿过所述顶板中心的中心柱，用于支撑所述顶板及底板。
优选地，所述设备碰撞报警装置还包括底部支撑架。
优选地，所述顶板、底板及第二电极的横截面为圆形。
优选地，所述报警控制器包括声光报警器。
优选地，当所述金属球位于所述间隙处时，所述金属球连接所述第一电极及第二电极形成短路，使设备停机。
如上所述，本实用新型的设备碰撞报警装置，具有以下有益效果：设备碰撞报警装置维修简单，节约资源；可测试设备被撞击的严重程度以及被撞击方向，准确度高，节省人力以及提高设备生产效率。
附图说明
图1显示为本实用新型中的设备碰撞报警装置的结构示意图。
图2显示为图1中沿A-A’的截面形成的结构示意图。
元件标号说明
100 顶板
101 光源发射器
200 底板
201 光源接收器
300 金属球
400 第一电极
500 第二电极
600 报警控制器
700 透明玻璃罩
800 中心柱
具体实施方式
以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。
请参阅图1至图2。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。
如图1所示，本实用新型提供一种设备碰撞报警装置，包括：顶板100、底板200、金属球300、第一电极400、第二电极500、报警控制器600、透明玻璃罩700及中心柱800。
具体的，所述顶板100包括光源发射器101，所述光源发射器101均匀的分布于所述顶板100的下表面，提供光源；所述底板200与所述顶板100相对应，所述底板200的上表面自所述底板200的边缘向所述底板200的中心倾斜，且所述底板200包括光源接收器201，所述光源接收器201用以接收由所述光源发射器101发射的光源；所述金属球300位于所述底板200的上表面；所述第一电极400位于所述底板200的边缘；所述第二电极500位于所述第一电极400的外侧，环绕于所述第一电极400的外侧，并与所述第一电极400形成一间隙，所述间隙的宽度小于所述金属球300的直径，用于承载所述金属球300，如图2所示显示为图1中沿A-A’的截面形成的结构示意图。所述报警控制器600，连接所述光源接收器201、第一电极400及第二电极500；由所述光源发射器101发射的光源被所述金属球300阻挡，因而所述光源接收器201无法接收光源，从而可判断所述金属球300的位置。
具体的，将所述设备碰撞报警装置水平安装于设备上，当设备在受外力撞击时，所述金属球300在所述底板200的上表面受力不平衡，因而会朝着合力的方向有所运动，由所述光源发射器101发射出的光源会被所述金属球300遮挡，因而所述光源接收器201无法接收光源，所述光源接收器201将没有接收到光源的信号发送给所述报警控制器600，所述报警控制器600发出报警信号，提示工作人员设备异常。根据所述金属球300的运动方向，可推知设备所受撞击的方向，因而，工作人员只需重点排查受力方向处设备的局部区域即可，从而可减少设备停机时间，提高生产效率，降低成本。如若经过排查后，设备没有造成问题，只需将所述金属球300当前的位置设置为平衡位置即可，不需要反复调整所述金属球300的位置。当设备受到较大的撞击时，所述底板200上的所述光源接收器201全部接收到光源，说明设备撞击幅度较大，所述金属球300已脱离所述底板200的上表面运行至由所述第一电极400及所述第二电极500所形成的所述间隙处，由于所述间隙的宽度小于所述金属球300的直径，因而所述间隙可承载所述金属球300，使所述金属球300夹在所述间隙处，此时，所述第一电极400及第二电极500与所述金属球300连接，形成短路，所述报警控制器600发出报警，同时触发设备紧急停机，使设备进入自我保护状态，降低损失。
作为示例，所述设备碰撞报警装置还包括防护件，用以阻挡所述金属球300，以防设备在承受巨大撞击时，所述金属球300弹出所述间隙。本实施例中，采用环绕于所述第二电极500的外侧的所述透明玻璃罩700作为所述防护件，所述透明玻璃罩700便于观察所述金属球300的状态，在另一实施例中，也可采用环绕于所述第二电极500的外侧的防护网作为所述防护件，此处不做限制。
作为示例，所述设备碰撞报警装置还包括穿过所述顶板100中心的所述中心柱800，所述中心柱800用于支撑所述顶板100及底板200。在另一实施中，也可采用所述防护件支撑所述顶板100及底板200，此处不做限制。
作为示例，所述底板200的上表面自所述底板200的边缘向所述中心柱800倾斜，所述底板200的上表面围绕所述中心柱800形成漏斗状形貌，用以在非碰撞或碰撞较小的情况下，将所述金属球300限制于所述底板200的范围内，所述底板200的倾斜角度可根据防震要求设计进行调整，倾斜角度越大，所述金属球300的灵敏度越低，例如，所述倾斜角度可以为0.1°～5°，具体倾斜角度此处不做限制。
作为示例，所述设备碰撞报警装置还包括底部支撑架，所述底部支撑架位于所述底板200的下表面，用于支撑所述设备碰撞报警装置。
具体的，当设备遭受到较大撞击时，所述金属球300会处于所述间隙处，此时，工作人员进过排查找出设备故障后，可穿过所述底部支撑架下方，通过所述间隙将所述金属球300从所述间隙处重置回所述底板200的上表面，方便快捷的将所述金属球300重置回所述底板200的上表面。
作为示例，所述顶板100、底板200及第二电极500的横截面为圆形。在另一实施例中，所述顶板100、底板200及第二电极500的横截面也可为由直线或曲线所围成的其他形貌，此处不做限制。
作为示例，所述报警控制器600包括声光报警器，所述声光报警器将所述金属球300所产生的位置的变化情况，划分为不同等级，根据所述等级的不同，显现出不同的光的颜色以及不同的声音，提醒工作人员设备异常。如当所述金属球300位置产生变化，但仍处于所述底板200的上表面时，所述声光报警器仅显示成黄色；当所述金属球300位置产生变化，并处于所述间隙时，所述声光报警器显示成红色并同时发出蜂鸣声，从而使工作人员及时采取措施，提高生产效率、降低成本。
综上所述，本实用新型通过设备碰撞报警装置可测试设备被撞击的严重程度以及被撞击的方向、准确度高、维修简单、可节约资源以及提高设备生产效率。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。