专利名称:磁性复制方法及磁性复制装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种利用磁性复制从载有信息的主盘载体向从属介质的磁性复制方法及磁性复制装置。
背景技术：
在磁性记录介质中一般地、随着信息量的增加希望得到记录大容量信息的大容量低价格，更理想地短时间内能读出需要的地方的，所谓高速存取可能的介质。作为它们的一例周知的有硬盘和高密度软盘等，为了实现此大容量，磁头必需对狭窄的磁道进行正确的扫描，用高S/N比还原信号，所谓的跟踪伺服技术担负着很大的作用。在磁盘的一周中，以一定间隔记录有跟踪用的伺服信号、地址信息信号、还原时钟信号等所谓的预先格式。
磁头通过读取这种预先格式信号修正自己的位置就可能正确地在磁道上移动。现在的预先格式，是用专用的伺服记录装置对磁盘逐张并且逐磁道地记录而形成的。
但是，伺服记录装置不仅价格高，而且预先格式化时所用时间长，因而这一工序成为制造成本的一大部分，所以就希望降低这一成本。
另一方面，也提出了不采用逐磁道写入预先格式，而是通过磁性复制方法来实现预先格式的方法。
磁性复制方法，是使主盘载体和从属介质在贴紧状态下，对主盘载体施加复制用磁场对产生的与载有信息(如伺服信号)相对应的磁化图案进行复制。作为这种磁性复制方法，公布有如[特开昭63-183623号公报]、[特开平10-40544号公报]、[特开平10-269566号公报]等。这种磁性复制，如对于被磁性复制介质的磁盘介质等从属介质首先准备与要复制的信息相对应的具有凹凸图案主盘载体，使该主盘载体和从属介质处于贴紧状态，通过施加复制用磁场，将与主盘载体的凹凸图案所载有的信息(如伺服信号)相对应的磁性图案复制在从属介质，因此主盘载体和从属介质的相对位置不会产生变化，既可以安静地进行记录，也可以正确的记录预先格式，并且记录所需要的时间也极短。
另外，复制用磁场，在从属介质的一面或者两面使主盘载体处于贴紧的状态下，在它的单侧或者两侧设置由电磁铁装置、永久磁铁装置组成的磁场发生装置施加磁场。此时，使从属介质与主盘在体贴紧的物体或磁场作相对旋转，并在圆盘状从属介质圆周上的磁道上复制磁化的图案。
可是，在上述磁性复制方法中，为了把在主盘载体的信息载有面的将磁性层形成凹凸图案的复制信息所准确对应的磁化图案，复制记录到从属介质的记录面并提高复制精度，必须使主盘载体的信息载有面和从属介质的从属面确保为贴紧状态在磁道方向准确施加复制用磁场。
但是，实际的磁场发生装置产生的磁场，从从属介质的内周部到外周部的全体范围只施加与磁道方向平行的磁场是困难的，在周围会产生漏磁场。这种复制用磁场的漏磁场的强度大时，经复制用磁场在从属介质复制记录的正规的磁化图案将紊乱最终无法进行精度良好的磁性复制，复制信息为伺服信号时跟踪机能无法充分发挥产生可靠性低的问题。
特别是，对于记录有磁化图案的从属介质，不施加其矫顽磁力Hcs程度的强度的磁场时磁化图案虽不会紊乱，但与主盘载体具有的复制用凹凸图案的信息载有面贴紧时，发现因凹凸图案磁场将产生聚集，只要有矫顽磁力Hcs的1/2程度的磁场强度，磁化图案也会紊乱。
本发明是鉴于这个问题提出的，其目的在于，提供一种磁性复制方法及磁性复制装置，其中使主盘载体和从属介质贴紧施加复制用磁场进行磁性复制时，规定与复制用磁场的施加方向的逆向作用的漏磁场的允许范围，可以进行正确的磁化图案的复制。
另外，本发明人，在实施上述的磁性复制时，发现了预先将从属介质初始磁化后可实现所希望的更高品位的磁性复制，在[特愿平11-117800号]中提出了对从属介质施加所定的初期直流磁场进行初始磁化后，使主盘载体贴紧，通过施加与此初始磁化方向逆向的复制用磁场进行磁性复制的方法及装置。但是，由于需要预先对从属介质进行初始磁化的工序，比原有的磁性复制的工序还多，结果增加了时间和成本。因此，希望制造工序简化，低成本化。
鉴于上述情况，本发明的目的是提供实现制造工序简化，低成本化的磁性复制方法。
发明内容
本发明的磁性复制方法，将在对应基板表面的信息信号的部分由磁性层形成的磁性复制用主盘载体和接受复制的从属介质的磁性记录介质贴紧施加复制用磁场的磁性复制方法，其特征为在从属面的磁道方向施加磁场预先对从属介质在磁道方向进行初始磁化后，使主盘载体和上述初始磁化过的从属介质贴紧，在从属面的磁道方向施加复制用磁场，进行磁性复制时，与复制用磁场的上述磁道方向的逆向磁场强度在从属介质的记录面全区域中小于从属介质的矫顽磁力Hcs的1/2。
上述复制用主盘载体的上述磁性层的理想的矫顽磁力Hcm小于48kA/m(600Oe)。
另外，理想的上述从属介质为硬盘、软盘等圆盘状磁性记录介质。
并且，理想的上述初始磁化方向与上述复制用磁场的施加方向大致为逆向。作为上述信息信号以伺服信号为最佳。
另外本发明的磁性复制装置，具有将在对应基板表面的信息信号的部分由磁性层形成的磁性复制用主盘载体和接受复制的从属介质的磁性记录介质贴紧施加复制用磁场的磁性复制装置，其特征为具有对和主盘载体贴紧的从属介质的磁道方向施加复制用磁场的磁场发生装置，与该磁场发生装置产生的复制用磁场的上述磁道方向逆向的磁场强度在从属介质记录面的全区域小于从属介质的矫顽磁力Hcs的1/2。
作为施加上述复制用磁场的磁场发生装置，虽然可以使用电磁铁装置或永久磁铁装置，但从设定调整磁场强度等方面的条件考虑希望使用电磁铁装置。
上述主盘载体的上述磁性层的理想的矫顽磁力Hcm小于48kA/m(600Oe)。
理想的上述从属介质为硬盘、软盘等圆盘状磁性记录介质。
对圆盘状磁性记录介质进行磁性复制的装置的情形，理想的上述磁场发生装置是在沿上述从属介质的半径方向延伸的范围产生与磁道方向平行的磁场的装置，是使上述从属介质和上述主盘载体贴紧的装置及通过相对上述磁场发生装置旋转在上述从属介质的全面进行磁性复制的装置。
本发明的磁性复制装置，进一步地希望对上述从属介质的磁化具有沿磁道方向进行初始磁化的初始磁化装置。
也就是说在本发明的磁性复制装置中，一般地希望，通过初始磁化装置，最初对从属介质在磁道方向实施直流磁化的初始磁化，将这个从属介质和与复制信息对应的在磁性层形成细微凹凸图案的主盘载体贴紧以与从属介质的初始磁化方向略呈逆向的方向施加复制用磁场进行磁性复制。作为上述信息以伺服信号为佳。
另外，关于对两面具有磁性层的从属介质的磁性复制，有在从属介质的一面将主盘载体贴紧单面逐次进行复制的情况，和在从属介质的两面分别将主盘载体贴紧两面同时进行复制的情况。此时，在从属介质的一面或两面将主盘载体贴紧，在它的单侧或两侧设置磁场发生装置施加复制用磁场。
从属介质的初始磁化，使大于从属介质矫顽磁力Hcs的磁场强度部分在磁道方向位置至少具有一处以上的磁场强度分布的磁场在磁道方向的局部产生，通过使从属介质或者磁场沿磁道方向旋转来完成。另外，希望使大于从属介质的矫顽磁力Hcs的磁场强度部分只有沿磁道方向位置一个方向，逆向的磁场强度在任一磁道方向位置的小于从属介质的矫顽磁力的磁场强度分布的磁场在磁道方向的局部产生。
另外，复制用磁场的施加，超过最佳复制磁场强度范围的最大值的磁场强度在磁道的任何方向均不存在，成为最佳复制磁场强度范围内的磁场强度部分在一条磁道方向至少有一处存在，与此逆向的磁道方向的磁场强度在从属介质的记录面全区域任一磁道方向位置小于从属介质的矫顽磁力Hcs的1/2的磁场强度分布的磁场在磁道方向的局部产生，磁性复制用主盘载体和初始磁化过的从属介质在贴紧的状态下沿磁道方向旋转，或使磁场沿磁道方向旋转来完成。最佳复制磁场强度范围为从属介质的矫顽磁力Hcs的0.6～1.3倍。
本发明的其他磁性复制方法，将预先在磁道方向初始磁化的从属介质，和向该从属介质要复制的信息所对应的具有凹凸图案面的主盘载体的该凹凸面贴紧，与上述初始磁化逆向的方向施加复制用磁场的磁性复制方法中，其特征为预备多张的从属介质，将该多张的从属介质的各从属介质的磁道的中心调整一致的重叠状态下，在该从属介质的磁道方向施加初期直流磁场对上述的多张从属介质同时进行初始磁化，使上述预先在磁道方向初始磁化的从属介质的多张同时生成。
另外，从属介质为软盘时，既可以装贴上盘芯后进行初始磁化，也可以装贴之前进行。特别地，希望软盘冲切成形后，保持重叠在储料架上多张的状态进行初始磁化。另外，在这种情况下，希望各软盘的表面光洁度为R＞1.5nm。
通过上述的本发明，由于在进行磁性复制的部分与施加复制用磁场的磁道方向逆向的磁场强度为在从属介质的记录面全区域中小于从属介质的矫顽磁力Hcs的1/2，所以即使有贴紧凹凸图案造成的磁场聚集，也不会受漏磁场的影响产生磁化图案紊乱在从属介质的全范围可进行具有均一特性的正确的磁化图案的复制，是伺服信号时可确保良好的跟踪机能提高可靠性。
另外，构成磁性复制装置时，把磁性复制用磁场的漏磁场强度规定在上述允许范围内，即可进行良好的磁性复制，因此装置全体的组装精度、磁场发生装置的磁场强度、分布等的设计就变得容易。
通过本发明的磁性复制方法，预备多张的从属介质，将该多张的从属介质的各从属介质的磁道的中心调整一致的重叠状态下，在该从属介质的磁道方向施加初期直流磁场对上述的多张从属介质同时进行初始磁化，使上述预先在磁道方向初始磁化的从属介质的多张同时生成，也就是说，一次做到了多张的从属介质的初始磁化，因此，预先格式后的从属介质的制造时间可以缩短，设备也可简化。由此，在实现更高品位的磁性复制的磁性复制方法中可做到低成本化。
图1为本发明的一种实施例中实施磁性复制方法的磁性复制装置的主要部位的立体图。
图2为表示复制用磁场的漏磁场强度的规范的俯视图。
图3为表示磁场发生装置的其他实施例的略图。
图4为表示磁性复制方法的基本工序图。
图5为本发明别的实施例的用于磁性复制方法的磁场发生装置的主要部位立体图。
图6为从属固定装置的分解立体图。
图7为两面复制用贴紧装置的分解立体图。
图8为一面复制用贴紧装置的分解立体图。
图9为丛属介质储料架的立体图。
图中，1-磁性复制装置；2-丛属介质；3-主载体；5-磁场发生装置；10-丛属固定装置；20、20′-贴紧装置；21-圆周磁道；32-磁性层；37-储料架；50-电磁铁装置；D-磁道方向；d-漏磁场成分。
具体实施方式
以下，详细地说明本发明的实施例。图1为本发明的一种实施例中实施磁性复制方法的磁性复制装置的主要部位的立体图。图2为复制用磁场的漏磁场的规范的示意图，图3为表示磁场发生装置的其他实施例的略图、图4为磁性复制方法的基本工序的示意图。另外，各图均为示意图与各部分的实际大小不成比例。
在图1的磁性复制装置1中，在磁性复制时，将后述的初始磁化后的从属介质2(磁性记录介质)的从属面(磁性记录面)，与主盘载体3的信息载有面接触，以所定的压力使其贴紧。在这种从属介质2和主盘载体3的贴紧状态下，通过磁场发生装置5施加复制用磁场复制记录伺服信号等磁化图案。
从属介质2，是在两面或一面形成有磁性记录层的硬盘、软盘等圆盘状磁性记录介质，在与主盘载体3贴紧之前，视需要实施通过滑动头、研磨体等除去表面的微小突起和附着尘埃的清洁处理。
另外，对从属介质2预先进行初始磁化。这一初始磁化，将大于从属介质2矫顽磁力Hcs的磁场强度部分在磁道方向位置至少具有一处以上的磁场强度分布的磁场，理想为，大于从属介质2矫顽磁力Hcs的磁场强度部分在磁道方向位置仅有一个方向，逆向的磁场强度在任一的磁道方向位置在磁道方向的局部，产生小于从属介质2的矫顽磁力的磁场强度分布的磁场，通过使从属介质2或磁场沿磁道方向旋转进行全磁道的初始磁化(直流消磁)。
主盘载体3形成为盘状，在它的一面具有由磁性层32(参照图4)的细微凹凸图案形成的复制信息载有面，在它的另一面被图中未表示的贴紧装置保持，与被搬送来的从属介质2贴紧。如图所示，在从属介质2的一面将主盘载体3贴紧单面逐次进行复制的情况，和在从属介质2的两面分别将主盘载体3贴紧两面同时进行复制的情况。主盘载体3，与从属介质2贴紧之前，需要实施去除附着尘埃的清洁处理。
施加复制用磁场的磁场发生装置5，具有在被贴紧装置保持的从属介质2及主盘载体3的半径方向延伸的间隙51在上下两侧设置的磁芯52上绕有线圈53的电磁铁装置50、50，在上下两侧以同一方向施加与磁道方向平行的磁力线G(参照图2)的复制用磁场。
施加磁场时，使从属介质2及主盘载体3形成一体地连续旋转通过磁场发生装置5施加复制用磁场，将主盘载体3的复制信息磁性复制记录到从属介质2的从属面。也可以将磁场发生装置5设置为旋转移动方式。
复制用磁场，超过最佳复制磁场强度范围(从属介质2的矫顽磁力Hcs的0.6～1.3倍)最大值的磁场强度在磁道方向均不存在，最佳复制磁场强度范围内的磁场强度部分在一条磁道方向至少具有一处以上。另外，与此逆向的磁道方向的磁场强度在从属介质的记录面全区域中的任一磁道方向位置均小于从属介质的矫顽磁力Hcs的1/2。
也就是，在如图2所示的平面上观测，对于由从属介质2的同心圆形成的圆周磁道21，在磁场发生装置5的间隙51产生的磁力线G的方向沿磁道方向D施加复制用磁场。因该磁道方向D是圆周方向，在中心线的相反侧位置(图中下方位置)的磁道21如实线所示用平面观测成为相反方向，90度位置(图的左右位置)的磁道21成为正交方向。另外，在间隙51以外的部分产生的漏磁场，与上述磁道方向D逆向的虚线所示成分d在从属介质2的记录面全区域中，规定使其小于从属介质2的矫顽磁力Hcs的1/2。下面叙述将此复制用磁场的漏磁场强度规定为上述范围的理由。
上述磁场发生装置5，也可以只在单侧设置。另外，作为磁场发生装置5的其他实施方式，如图3(a)～(c)所示，也可以将产生复制用磁场的电磁铁装置或永久磁铁装置设置在两侧或单侧。
图3(a)的磁场发生装置5，由沿从属介质2的半径方向延伸的一个电磁铁55(或永久磁铁)的与从属面平行的两侧部的相反磁极构成，在磁道方向产生磁场。图3(b)的磁场发生装置5，由以所定的间隔在从属介质2的半径方向延伸的两个平行电磁铁56、57(或永久磁铁)的端面朝向从属面的相反磁极构成，在磁道方向产生磁场。图3(c)的磁场发生装置5，由截面为U型沿半径方向延伸的永久磁铁58(或电磁铁)的朝从属面的两个平行端面的相反磁极构成，在磁道方向产生磁场。
在上述各实施例的磁场发生装置5中，与磁场发生装置5产生的正规的磁场施加部分的施加复制用磁场的磁道方向逆向的漏磁场强度，在从属介质2的记录面的全区域也规定为小于矫顽磁力Hcs的1/2。
其次，图4为表示磁性复制方法的基本工序图。(a)是在一个方向施加磁场对从属介质2进行初始磁化的方式，(b)是将主盘载体3与从属介质2贴近在相反方向施加磁场的工序，(c)是磁性复制后的各局部状态示意图。
如图4(a)所示，首先对从属介质2施加沿磁道方向的单方向的初始直流磁场Hin进行预先初始磁化(初始直流磁化)，然后，如图4(b)所示，将从属介质2的从属面(磁记录面)与主盘载体3的基板31的覆有细微凹凸图案的磁性层32的信息载有面贴紧，在从属介质2的磁道方向施加与上述初始直流磁场Hin相反方向的复制用磁场Hdu进行磁性复制。其结果，如图4(c)所示，在从属介质2的从属面(磁道)上与主盘载体3的信息载有面的磁性层32的贴紧的凸部和空出的凹部的形成图案相对应的磁化图案就被复制记录。
另外，上述主盘载体3的基板31的凹凸图案即使为与图4的正像图案相反的凹凸形状的负像图案，通过将初始直流磁场Hin的方向及复制用磁场Hdu的方向设置为与上述方向相反，也可以得到同样的磁化图案复制记录。
上述基板31为Ni等强磁性体时，虽然只要有该基板31就可进行磁性复制，不被覆上述的磁性层32也行，但是通过设置具有良好复制特性的磁性层32可进行更好的磁性复制。基板31为非磁性体时，必须设置磁性层32。主盘载体3的磁性层32，理想的矫顽磁力Hcm为小于48kA/m(600Oe)的软磁性层。
作为主盘载体3的基板31，可使用镍、硅、石英板、玻璃、铝、合金、陶瓷、合成树脂等。凹凸图案的形成，可通过压印(stamper)法、照相蚀刻法等进行。
压印法，是在表面平滑的玻璃板(或石英板)上用旋转涂胶法等形成光刻胶，使该玻璃板旋转的同时用与伺服信号对应的调制激光(或电子束)进行照射，在光刻胶全面所定的图案，如在各磁道从旋转中心向半径方向呈线状延伸的相当于伺服信号的图案在圆周上的各帧在对应部分曝光。之后，对光刻胶显影处理，除去曝光部分得到由光刻胶形成的具有凹凸形状的原盘。其次，以原盘表面的凹凸图案为基础，对该表面实施电镀(电铸)，做成具有正像凹凸图案的Ni基板，从原盘上剥离。或就这样把该基板作为主盘载体，或是在凹凸图案上视需要被覆软磁性层、保护膜做成主盘载体。
另外，对上述原盘实施电镀做成第2原盘，用这个第2原盘进行电镀，做成负像的凹凸图案的基板也行。另外，对第2原盘或实施电镀或压上树脂液进行固化做成第3原盘，对第3原盘实施电镀，做成具有正像凹凸图案的基板也行。
另外，在上述玻璃板通过光刻胶形成图案后，用蚀刻法在玻璃板上形成孔，得到除去光刻胶的原盘，接下来与上述方法同样也可形成基板。
作为金属基板的材料，可以使用Ni或Ni合金，做成该基板的上述电镀，包含无电解电镀、电铸、溅射、离子电镀的各种金属成膜法均可适用。基板的凹凸图案的深度(突起的高度)，80nm～800nm的范围为满意，更理想为100nm～600nm。此凹凸图案为伺服信号时，在半径方向形成长条形。比如，理想为半径方向的长度为0.05～20μm、圆周方向为0.05～5μm，在此范围选择半径方向较长的图案作为载有伺服信号的图案为理想。
上述磁性层32(软磁性层)的形成，是把磁性材料通过真空蒸镀法、溅射法、离子电镀法等真空成膜装置，经电镀等形成膜。作为磁性层的磁性材料，可以使用Co、Co合金(CoNi、CoNiZr、CoNbTaZr等)、Fe、Fe合金(FeCo、FeCoNi、FeNiMo、FeAiSi、FeAl、FeTaN)、Ni、Ni合金(NiFe)。其中，FeCo、FeCoNi更为理想。磁性层的厚度，50nm～500nm的范围为宜，100nm～400nm更好。
另外，希望在磁性层上设置DLC等保护膜、设置润滑剂层也行。再有作为保护膜5～30nm的金刚石类碳(DLC)膜和润滑剂层二者均存在就更加满意。另外，磁性层和保护膜之间，设有Si等贴紧强化层也行。润滑剂，在修正与从属介质接触的过程中产生的偏差时，可改善由于产生的摩擦伤等造成的耐久性的劣化。
用上述原盘制作树脂基板，其表面设置磁性层作为主盘载体也行。作为树脂基板的树脂材料，可以使用聚碳酸脂·聚甲基丙烯酸甲酯等丙烯酸树脂、聚氯乙烯·氯乙烯共聚物等的氯乙烯树脂、环氧树脂、非晶聚烯烃及聚脂等。从耐潮性、形稳性及价格等方面考虑聚碳酸脂为理想。模制品上有毛刺时，通过磨光或抛光去除。另外，使用紫外线固化树脂、电子线固化树脂等，也可在原盘用旋转涂布、棒材涂布形成。树脂基板的图案的突起高度在50～1000nm的范围为宜，100～500nm的范围更理想。
在上述树脂基板的表面的细微图案上被覆磁性层得到主盘载体。磁性层的形成，利用真空蒸镀法、溅射法、离子电镀法等真空成膜装置，通过电镀法等对磁性材料形成薄膜。
另外，照相蚀刻法，比如，在平板状基板的平滑表面涂布光刻胶，通过用对应伺服信号的图案的光掩膜的曝光、显影处理，形成对应信息的图案。其次，通过光刻工序，对应图案对基板进行光刻，形成与磁性层的厚度相当的深度的孔。其次，利用真空蒸镀法、溅射法、离子电镀法等真空成膜装置，通过电镀法对应形成的孔的厚度至基板的表面对磁性材料形成薄膜。其次，用剥离法去除光刻胶，研磨表面，有毛刺时去除的同时，将表面打磨平滑。
作为从属介质2，使用硬盘、高密度软盘等圆盘状磁性记录介质，其磁性记录层由涂布型磁性记录层或金属薄膜型磁性记录层形成。作为金属薄膜型磁性记录层的磁性材料，可以使用Co、Co合金(CoPtCr、CoCr、CoPtCrTa、CoPtCrNbTa、CoCrB、CoNi等)、Fe、Fe合金(FeCo、FePt、FeCoNi)。这是因为磁通量密度大，具有与施加磁场方向相同方向(面内记录时为面内方向)的磁各向异性，可进行清晰的复制，所以是理想的。另外磁性材料的下面(支承体侧)为了增加必要的磁各向异性希望设置非磁性基底层。必须使结晶构造和晶格常数与磁性层相配合。因此使用Cr、CrTi、CoCr、CrTa、CrMo、NiAl、Ru等。
在此，对复制用磁场的漏磁场强度在上述范围的实验结果进行说明。实验中使用的主盘载体、从属介质及磁性复制方法如下。
主盘载体的制作通过Ni压印法，从圆盘中心到半径方向20～40mm的位置，以幅宽0.5μm的等间隔放射线，在半径方向为20mm的最内周位置使线间隔为0.5μm的间隔、做成深0.2μm的具有圆盘状图案的Ni基板。关于真空镀膜装置，在室温下减压至1.33×10-5Pa(10-7Torr)后，导入氩气在0.4Pa(3×10-3Torr)的条件下，在Ni基盘上形成厚200nm的FeCo膜(软磁性层)，做成主盘载体。矫顽磁力Hcm为8kA/m(100Oe)，磁通密度Ms为28.9T(23000Gauss)。
从属介质的制作在真空镀膜装置，在室温下降压至后，1.33×10-5Pa(10-7Torr)后，导入氩气在0.4Pa(3×10-3Torr)的条件下，加热玻璃板至200℃，做成CrTi 60nm、CoCrPt 25nm、磁通密度Ms为5.7T(4500Gauss)、矫顽磁力Hcs为199kA/m(2500Oe)的3.5时型圆盘状磁性记录介质(硬盘)。
磁性复制实验方法使峰值磁场强度在从属介质的表面，为从属介质矫顽磁力Hcs的2倍的398kA/m(5000Oe)，设置如图1所示的环状磁头电磁铁，进行从属介质的初始磁化。其次使初始磁化后的从属介质与主盘在体贴紧，调整环状磁头电磁铁的电流，使峰值磁场强度在从属介质的表面为207kA/m(2600Oe)。
这时，改变上下电磁铁的间隔，使复制磁场强度一直保持在207kA/m(2600Oe)，只变化漏磁场强度。与复制方向逆向的漏磁场强度成为最强之处，是在以中心为对称点的复制磁场施加位置和180°的方向的内周位置，如下述表1所示，将上下电磁铁的上下方向的间隔在20～40mm变化相应地调整电流从18A到40A，在此位置使逆向漏磁场强度为40kA/m(500Oe)、64kA/m(800Oe)、96kA/m(1200Oe)、199kA/m(1500Oe)变化进行磁性复制。另外，主盘载体和从属介质的贴紧，是在夹着橡胶板的铝板上加压来实现的。
电磁变换特性评价方法通过电磁变换特性测定装置(协同电子社制SS-60)对从属介质的复制信号进行了评价。磁头，使用了再生磁头间隙0.24μm、再生磁道幅宽1.9μm、记录磁头间隙0.4μm、记录磁道幅宽2.4μm的MR磁头。将读入信号用频谱分析仪分解频率，测量基波信号的峰值强度C与外插的介质噪声N的差(C/N)。以漏磁场强度为40kA/m(500Oe)时的值为0dB，用相对值(ΔC/N)进行了评价。此相对值(ΔC/N)小于-6dB(向负的反向增大)时，信号强度变小成为复制不良状态，因此以该值为允许值进行了评价。其结果见表1。
表1
从表1中可知，在间隔为40mm的比较例1中，漏磁场强度为119kA/m(1500Oe)大于从属介质的矫顽磁力Hcs199kA/m(2500Oe)的1/2即100kA/m(1250Oe)，结果为复制不良。与此相比，在实施例1～实施例3漏磁场强度小于从属介质的矫顽磁力Hcs的1/2实现了良好的复制。其结果，证明了与复制用磁场强度逆向的漏磁场强度在从属介质的记录面全区域应小于从属介质的矫顽磁力Hcs的1/2的必要性。
下面，关于本发明的其他实施例的磁性复制方法中对施加初始直流磁场及复制用磁场更具体地加以说明。图5，是产生初始直流磁场及复制用磁场的磁场发生装置的点磁铁装置5(5a、5b)的主要部位立体图，图6是固定施加初始直流磁场的复数的从属介质的固定装置10(以下称为从属固定装置10)的分解立体图，图7及图8是施加复制用磁场的从属介质和主盘载体的贴紧装置20(20′)的分解立体图。
如图5所示，从属固定装置及10贴紧装置20(20′)，设置于电磁铁装置5a、5b之间，分别以中心为轴旋转，被施加磁场。
如图6所示，从属固定装置10由可分离的上下部6、7构成，内部可保持多张的从属介质2。从属介质2，是在圆盘状的记录介质2a的中心部固定有轴心2b(盘芯)的软盘，记录介质2a在由韧性的聚酯薄膜等形成的圆盘状的基盘的两面形成有磁性层的记录面(另外，在上述图1中，为简略起见只表示了该从属介质的单面的磁性层)。
在固定装置10的下部7的中心部，形成有与从属介质2的轴心2b的中心孔结合确定位置的销柱8。通过该销柱8，使多张的从属介质2的中心一致即磁道的中心一致地重叠。如此复数的从属介质2以重叠的状态闭合从属固定装置10的上下部6、7使其成为一体，此从属固定装置10和内部的从属介质2以从属介质2的磁道的中心为轴形成一体地被驱动旋转。
在从属固定装置10的上下面靠近设置电磁铁装置5a、5b，使从属固定装置10旋转通过电磁铁装置5施加初始直流磁场Hin，对多张的从属介质2沿磁道方向的单一方向进行初始磁化。这样对多张的从属介质同时进行初始磁化，与逐张分别磁化相比较，在时间上、设备上效率均有提高。
另外，理想的初始直流磁场的强度为大于从属介质的矫顽磁力Hcs，更理想为Hcs的1.2倍以上。
之后，初始磁化后的各从属介质与主盘在体贴紧，使具有从属介质和主盘载体的贴紧装置20旋转施加复制用磁场，主盘载体的凹凸图案面所载有的信息磁性地被复制记录于从属介质。另外，复制用磁场的施加方向与初始磁化的方向相反，理想的复制用磁场强度为0.6Hcs～1.3Hcs，再理想为0.8Hcs～1.2Hcs，更理想为1Hcs～1.1Hcs。
图7为两面同时进行复制时的贴紧装置20的示意图，此贴紧装置20，具有在从属介质2的下侧记录面复制伺服信号等信息的下侧主盘载体3，具有在从属介质2的上侧记录面复制伺服信号等信息的上侧主盘载体4，具有吸附保持下侧主盘载体3矫正平坦性的下侧矫正部件16的下侧压接部件18，具有吸附保持上侧主盘载体4矫正平坦性的上侧矫正部件17(与下侧矫正部件16的构成相同)的上侧压接部件19，使它们的中心位置在保持一致的状态下被压接，在从属介质2的两面下侧与主盘载体3、上侧与主盘载体4贴紧。
下侧主盘载体3及上侧主盘载体4，由刚体形成圆环状盘，其一面具有与上述从属介质2的记录面贴紧的由细微凹凸图案形成的复制信息载有面，其反面被真空吸附保持于下侧的矫正部件16及上侧的矫正部件17。此下侧主盘载体3及上侧主盘载体4，为了适应提高与从属介质2的贴紧性，在细微凹凸图案的形成部以外的位置，且在与后述的矫正部件16、17的吸气孔不相通的位置形成贯通表里的细微孔，吸引并排出与从属介质2贴紧面之间的空气。
下侧矫正部件16(上侧矫正部件17也同样)，设计为与主盘载体3的大小相应的圆盘状，其表面设计有以中心线的平均表面光洁度Ra为0.01～0.1μm的平坦度的平坦地被精加工的吸附面16a。在此吸附面16a，约25～100个直径约小于2mm的吸气孔16b几乎均等地张开着。图中虽未表示，在此吸气孔16b从矫正部件16的内部经向下侧压接部件18的外部导出的吸气通路与真空泵连接并被吸引，真空吸引与吸引面16a贴紧的主盘载体3的背面，将该主盘载体3的平坦性通过吸附面16a进行矫正。
下侧压接部件18及上侧压接部件19为圆盘状单方或双方在轴方向设计成移动可能的通过图中未表示的开闭机构(压紧机构，锁定机构等)完成开闭动作，相互间以所定的压力压接。在外周具有凸缘部18a、19a，闭动作时上下的压接部件18、19的凸缘部18a、19a相接使内部保持密闭状态。在下侧压接部件18的中心部，与从属介质2的轴心2b的中心孔相配合形成有确定位置的销柱18b。另外，下侧压接部件18及上侧压接部件19与图中未表示的旋转机构连接形成一体地被驱动旋转。
通过1组的下侧主盘载体3及上侧主盘载体4对复数的从属介质顺序地进行两面磁性复制，贴紧装置20，下侧矫正部件16及上侧矫正部件17的吸附面16a使中心位置一致将下侧主盘载体3及上侧主盘载体4分别真空吸附保持。然后，在上侧压接部件19和下侧压接部件18分离的开状态，将从属介质2的中心位置调整一致后，使上侧压接部件19和下侧压接部件18接近闭合，在从属介质2的两面使主盘载体3、4贴紧。然后，通过上下电磁铁装置5的移动或贴紧装置20的移动，在贴紧装置20的上下两面使上下的电磁铁装置5接近，使贴紧装置20连续旋转通过电磁铁装置5施加复制用磁场，将下侧主盘载体3及上侧主盘载体4的复制信息磁性地复制记录到从属介质2的记录面。
图8为进行单面复制时的贴紧装置20′的示意图，此贴紧装置20′，具有在从属介质2的下侧记录面的复制伺服信号等信息的下侧主盘载体3，具有在从属介质2的上侧记录面的接触弹性体21(缓冲材)，具有吸附保持上述下侧主盘载体3的具有矫正平坦性的下侧矫正部件16的下侧压接部件18，具有保持上述弹性体21的上侧压接部件19，将它们的中心位置调整一致的状态下压接，使从属介质2的一面即主盘载体3接触的相反面与弹性体21贴紧。也就是，在上述实施例中上侧主盘载体4变更为弹性体21，除了没有设置上侧矫正部件17一点之外，均为同样的构成。
弹性体21是用有弹性特性的材料制成圆盘状，被上侧压接部件19保持。弹性体21的材料，具有当施加贴紧压力时随着从属介质2的表面形状而变形，从主盘载体3将从属介质2剥离时恢复到施加压力前的表面状态的特性。作为弹性体21的具体材料，可以使用硅橡胶、聚氨酯橡胶、氟橡胶、聚丁橡胶、聚四氟乙烯橡胶、聚偏氟乙烯-氟丙烯橡胶等一般的橡胶，或海绵橡胶等发泡树脂等。弹性体21与从属介质2的接触面的形状，与主盘载体3平行的平面形状，或在从属介质2侧形成凸起的形状。
本实施例的贴紧装置20′，为了通过一个下侧主盘载体3对复数的从属介质2进行顺次磁性复制，首先与下侧矫正部件6的吸附面6a的中心位置调整一致真空吸附主盘载体3并保持其状态。然后，在上侧压接部件19和下侧压接部件18分离的开状态，将从属介质2与中心位置调整一致后，使上侧压接部件19和下侧压接部件18接近闭合在从属介质2的一面通过弹性体11的押力使主盘载体3贴紧。之后，与上述同样使贴紧装置20′的上下面的上下电磁铁装置5接近，使贴紧装置20′连续旋转通过电磁铁装置5施加复制用磁场，将下侧主盘载体3的复制信息磁性地记录到从属介质2的一面。之后，在另一工序将从属介质2的另一面与上侧主盘载体4贴紧同样地进行磁性复制。
另外，在上述实施例，如图6所示，软盘具有盘芯2b的状态下多张重叠一起进行初始磁化，如图9所示，软盘冲切成形成形后，在储料架37堆积有多张的状态下，比如用60厚的磁盘重叠100张的状态，在安装中心核之前进行初始磁化也行。在储料架37的中心部，为了堆积储存从属介质2设置有与从属介质2的中央孔相配合的确定位置的销柱38。在进行初始磁化时，与该储料架37相配合的盖36一起形成一体，与上述从属固定装置10同样，被设置到电磁铁装置5。通过电磁铁装置5施加初始直流磁场，以磁道的中心(销柱38)为轴形成一体地被驱动旋转完成初始磁化。与原来相比，由于软盘在冲切成形成形后堆积在储料架37的状态下被送到下一工序，只要对每一储料架进行初始磁化就可简化工序。另外，由于没有盘芯，就可以重叠更多的磁盘，效率高。另外，由于没有盘芯，把重叠的磁盘相互分离时变得困难，因此设定每一磁盘的表面光洁度Ra＞1.5nm。
另外，在上面列举说明了作为从属介质2的软盘，从属介质也可以是硬盘装置所具有的磁盘(硬盘)。
权利要求
1.一种磁性复制方法，将在对应基板表面的信息信号的部分由磁性层形成的磁性复制用主盘载体和接受复制的从属介质的磁性记录介质贴紧施加复制用磁场，其特征为在从属面的磁道方向施加磁场预先对从属介质在磁道方向进行初始磁化后，使主盘载体和所述初始磁化后的从属介质贴紧，在从属面的磁道方向施加复制用磁场，进行磁性复制时，与复制用磁场的所述磁道方向的逆向磁场强度在从属介质的记录面全区域中小于从属介质的矫顽磁力Hcs的1/2。
2.根据权利要求
1所述的磁性复制方法，其特征为所述复制用主盘载体的所述磁性层的矫顽磁力Hcm小于48kA/m。
3.根据权利要求
1所述的磁性复制方法，其特征为所述从属介质为圆盘状磁性记录介质。
4.根据权利要求
1所述的磁性复制方法，其特征为所述初始磁化方向与所述复制用磁场的施加方向为逆向。
5.根据权利要求
1所述的磁性复制方法，其特征为所述信息信号为伺服信号。
6.一种磁性复制装置，具有将在对应基板表面的信息信号的部分由磁性层形成的磁性复制用主盘载体和接受复制的从属介质的磁性记录介质贴紧施加复制用磁场进行磁性复制，其特征为具有对和主盘载体贴紧的从属介质的磁道方向施加复制用磁场的磁场发生装置，与该磁场发生装置产生的复制用磁场的所述磁道方向逆向的磁场强度在从属介质记录面的全区域小于从属介质的矫顽磁力Hcs的1/2。
7.根据权利要求
6所述的磁性复制装置，其特征为所述磁场发生装置，既可以是电磁铁装置也可以是永久磁铁装置。
8.根据权利要求
6所述的磁性复制装置，其特征为所述主盘载体的所述磁性层的矫顽磁力Hcm小于48kA/m。
9.根据权利要求
6所述的磁性复制装置，其特征为所述从属介质为圆盘状磁性记录介质。
10.根据权利要求
9所述的磁性复制装置，所述磁场发生装置，在沿所述从属介质的半径方向延伸的范围产生与磁道方向平行的磁场，其特征为使所述从属介质和所述主盘载体贴紧及通过相对所述磁场发生装置旋转在所述从属介质的全面进行磁性复制。
11.根据权利要求
6所述的磁性复制装置，其特征为还具有对所述从属介质的磁化在磁道方向进行初始磁化的初始磁化装置。
12.一种磁性复制方法，具有预先在磁道方向初始磁化的从属介质，和向该从属介质所要复制的信息对应的具有凹凸图案面的主盘载体的该凹凸图案面贴紧，与所述初始磁化相反的方向施加复制用磁场，其特征为预备多张的从属介质，将该多张的从属介质的各从属介质的磁道的中心调整一致的重叠状态下，在该从属介质的磁道方向施加初期直流磁场对所述的多张从属介质同时进行初始磁化，使所述预先在磁道方向初始磁化的从属介质的多张同时生成，并且进行磁性复制时，与复制用磁场的所述磁道方向的逆向磁场强度在从属介质的记录面全区域中小于从属介质的矫顽磁力Hcs的1/2。
专利摘要
一种磁性复制方法及装置，在从属面的磁道方向施加磁场预先对从属介质在磁道方向进行初始磁化后，使主盘载体和上述初始磁化后的从属介质贴紧，在从属面的磁道方向施加复制用磁场，进行磁性复制时，与复制用磁场的上述磁道方向的逆向磁场强度在从属介质的记录面全区域中小于从属介质的矫顽磁力Hcs的1/2。预备多张的从属介质，将该多张的从属介质的各从属介质的磁道的中心调整一致的重叠状态下，在该从属介质的磁道方向施加初期直流磁场对上述的多张从属介质同时进行初始磁化，使上述预先在磁道方向初始磁化的从属介质的多张同时生成。
文档编号G11B5/86GKCN1259653SQ02103261
公开日2006年6月14日 申请日期2002年2月1日
发明者青木理史, 中三川纯一, 小松和则, 西川正一 申请人:富士胶片株式会社导出引文BiBTeX, EndNote, RefMan