高频振荡器件、磁记录头及盘装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明的实施方式涉及高频振荡器件、用于盘装置的高频辅助记录用的磁记录头，及具有该磁记录头的盘装置。
【背景技术】
[0002]近年，作为盘装置，例如磁盘装置为了谋求高记录密度化、大容量化或小型化而使用垂直磁记录用的磁头。在这样的磁头中，记录头包括:产生垂直方向磁场的主磁极；与该主磁极隔着写入间隙配置的写屏蔽件(^彳卜'>一> K );以及用于在主磁极流过磁通的线圈。并且，提出了一种在主磁极与写屏蔽件之间(写入间隙(94卜￥々7 7。))配置高频振子的高频辅助记录用的磁记录头。
[0003]在这样的高频辅助记录用的磁记录头中，高频振子的振荡频率与由记录线圈磁化了的主磁极向高频振子施加的间隙磁场大致成正比。因此，通过做成合适的磁极形状，能够从高频振子产生与磁记录介质的共振特性相符的频率的高频磁场。由此，能够向具有更大保持力的磁记录介质进行记录。
[0004]另一方面，在实际的记录头的制造工序及记录介质的制造工序中，无法避免磁极形状、记录介质的共振特性的偏差，难以实现最佳条件下的高频辅助记录。
【发明内容】
[0005]本发明是鉴于以上情况而做出的，其课题在于提供一种改善与记录介质的共振特性的相符性、可进行高密度记录的磁记录头，及具有该磁记录头的盘装置。
[0006]根据实施方式，盘装置的磁头包括:对记录介质的记录层施加记录磁场的主磁极；隔着写入间隙与所述主磁极相对的写屏蔽件；使所述主磁极产生磁场的记录线圈；在所述主磁极与写屏蔽件之间配置于所述写入间隙内的高频振子；经过所述主磁极及写屏蔽件向所述高频振子通电的布线；以及与所述布线电连接的低通滤波器。
【附图说明】
[0007]图1是表示第一实施方式涉及的硬盘驱动器(以下称为HDD)的立体图。
[0008]图2是表示所述HDD的悬架及磁头的侧视图。
[0009]图3是将所述磁头的头部放大表示的剖视图。
[0010]图4是将记录头的顶端部放大表示的剖视图。
[0011]图5是从盘相对面侧观察所述记录头的顶端部的俯视图。
[0012]图6是沿着图4的线D — D的振荡层、调制绝缘层、调制电极的剖视图。
[0013]图7是变形例涉及的振荡层、调制绝缘层、调制电极的剖视图。
[0014]图8是表示调制电压与STO的振荡频率的关系的图。
[0015]图9是表示STO的振荡频率与覆写(上書务)特性(OW)的关系的图。
[0016]图10是表示位于振荡层的一侧面上的突起的数量与覆写特性(OW)的关系的图。
[0017]图11是表示突起的高度/元件尺寸与覆写特性(OW)的关系的图。
[0018]图12是从盘相对面侧观察第二实施方式涉及的HDD中的磁头的记录头顶端部的俯视图。
[0019]图13是将第三实施方式涉及的HDD中的磁头的记录头顶端部放大表示的剖视图。
[0020]图14是从盘相对面侧观察第三实施方式涉及的HDD中的磁头的记录头顶端部的俯视图。
[0021]图15是将第四实施方式涉及的HDD中的磁头的记录头顶端部放大表示的剖视图。
[0022]图16是将第五实施方式涉及的HDD中的磁头的记录头顶端部放大表示的剖视图。
[0023]图17是将第六实施方式涉及的HDD中的磁头的记录头顶端部放大表示的剖视图。
[0024]图18是从盘相对面侧观察第六实施方式涉及的HDD中的磁头的记录头顶端部的俯视图。
[0025]图19是将第七实施方式涉及的HDD中的磁头的记录头顶端部放大表示的剖视图。
[0026]图20是从盘相对面侧观察第七实施方式涉及的HDD中的磁头的记录头顶端部的俯视图。
[0027]图21是将第八实施方式涉及的HDD中的磁头的记录头顶端部放大表示的剖视图。
[0028]图22是从盘相对面侧观察第八实施方式涉及的HDD中的磁头的记录头顶端部的俯视图。
【具体实施方式】
[0029]以下，参照【附图说明】各种实施方式。
[0030](第一实施方式)
[0031]图1表示第一实施方式涉及的HDD的取下了顶盖的内部构造，图2表示浮起状态的磁头。如图1所示，HDD包括壳体10。该壳体10具有:上面开口的矩形箱状的基座1a ；和未图示的矩形板状的顶盖。顶盖通过多个螺钉而螺纹固定于基座，封闭基座的上端开口。由此，壳体10内部被保持为气密，仅能通过呼吸过滤器26与外部通气。
[0032]在基座1a上设有作为记录介质的磁盘12及机构部。机构部包括支承磁盘12且使磁盘12旋转的主轴电机(spindle motor) 13、对磁盘进行信息的记录、再现的多个(例如2个)磁头33、以使这些磁头33相对于磁盘12的表面自由移动的方式支承这些磁头33的头促动器14、使头促动器转动及定位的音圈电机(以下称为VCM) 16。此外，基座1a上设有:在磁头33移动到磁盘12的最外周时将磁头33保持在与磁盘12分离开的位置的磁盘表面停放(5 > 7° 口一 F )机构18、在冲击等作用到HDD时将头促动器14保持在退避位置的闩锁机构20、以及安装有转换连接器等电子部件的基板单元17。
[0033]控制电路基板25螺纹固定于基座1a的外面，位于与基座1a的底壁相对的位置。控制电路基板25包括电源、向磁头供给记录电流的记录电流电路、向高频振子供给驱动电流的驱动电流电路、调制电压电路等。控制电路基板25经由基板单元17控制主轴电机13、VCM16及磁头33的动作。
[0034]如图1所示，磁盘12被夹紧弹簧(^ 5 Of Λ ) 15夹紧而固定于主轴电机13的轴毂，该夹紧弹簧15与主轴电机13的轴毂彼此同轴地嵌合于该主轴电机13的轴毂，且螺纹固定于轴毂的上端。通过作为驱动电机的主轴电机13使磁盘12以预定的速度向箭头B方向旋转。
[0035]头促动器14包括固定于基座1a的底壁上的轴承部21、从轴承部21延伸出的多个臂27、和可弹性变形的细长板状的悬架(suspens1n) 30。悬架30由板簧构成,其基端通过点焊或粘结而固定于臂27的顶端，从臂27延伸出。各悬架30也可以与对应臂27 —体地形成。磁头33被支承于各悬架30的延伸端。
[0036]如图2所示，各磁头33具有大致长方体形状的滑块42和设于该滑块的流出端(后(trailing)端)的记录再现用的头部44。磁头33固定在设于悬架30的顶端部的万向弹簧(gimbal spring) 410各磁头33由于悬架30的弹性而被施加朝向磁盘12表面的头载荷L。2个臂27隔开预定间隔彼此平行地设置，安装于这些臂27的悬架30及磁头33间隔着磁盘12地彼此相面对。
[0037]各磁头33经由固定于悬架30及臂27上的中继挠性印刷电路基板(以下，称为中继FPC) 35而与后述的主FPC38电连接。
[0038]如图1所示，基板单元17具有由挠性印刷电路基板形成的FPC主体36、和从该FPC主体延伸出的主FPC38。FPC主体36固定于基座1a的底面上。在FPC主体36上安装有包括转换连接器37、头IC的电子部件。主FPC38的延伸端与头促动器14连接，经由各中继FPC35连接于磁头33。
[0039]VCM16具有从轴承部21向与臂27相反的方向延伸的未图示的支承框架，及支承于支承框架的音圈。在将头促动器14组装到了基座1a的状态下，音圈位于固定在基座1a上的一对磁轭34之间，与这些磁轭34及固定于磁轭34的磁石一起构成VCM16。
[0040]通过在磁盘12旋转的状态下对VCM16的音圈通电，从而头促动器14转动，使磁头33移动并定位于磁盘12的所希望的磁道上。此时，磁头33沿着磁盘12的径方向在磁盘的内周缘部与外周缘部之间移动。
[0041]接着，详细说明磁盘12及磁头33的结构。图3是将磁头33的头部44及磁盘12放大表示的剖视图。
[0042]如图2及图3所示，磁盘12具有例如形成为直径约2.5英寸(6.35cm)的圆板状、由非磁性体构成的基板101。在基板101的各表面依次层叠有:作为基底层的、由显示软磁特性的材料构成的软磁性层102 ;在软磁性层102的上层部层叠的、在相对于盘面垂直的方向具有磁性各向异性的磁记录层103 ;和在磁记录层103的上层部层叠的保护膜层104。
[0043]如图2及图3所示，磁头33构成为浮起型的头，具有形成为大致长方体状的滑块42和形成于滑块的流出端(后)侧的端部的头部44。滑块42例如由氧化铝和碳化钛的烧结体(铝钛碳合金，AlTiC)形成，头部44通过层叠薄膜而形成。
[0044]滑块42具有与磁盘12的表面相对的矩形状的盘相对面(空气轴承表面(ABS)) 43。滑块42借助由于磁盘12的旋转而在盘表面与盘相对面43之间产生的空气流C浮起。空气流C的方向与磁盘12的旋转方向B —致。滑块42相对于磁盘12表面配置成盘相对面43的长度方向与空气流C的方向