专利名称：柔丝吸嘴的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种半导体产品制造过程中使用的一种工具，更具体地讲涉及一种用于移动微小半导体产品的柔丝吸嘴(vacuum tweezer，或称真空镊子)。
背景技术：
在半导体产品的制造过程中，例如在磁头制造过程中，有时需要将体积很小的半导体产品，比如磁头或由若干磁头结构体构成的长形条(row bar)，从一个位置移动到另一个位置。由于这种半导体产品结构非常脆弱，轻微的碰撞或挤压就可能导致产品被损坏，因此对这类产品的移动不能采用普通的机械式镊子等工具来进行，而应使用柔丝吸嘴来移动所述半导体产品。
图1所示为使用现有柔丝吸嘴移动由若干磁头结构体构成的长形条的状态图，如图所示，柔丝吸嘴100包括一个笔体12，该笔体12内具有空腔(图未示)，该笔体12的一端连接有与空腔连通的抽气管14，另一端设置有与笔体12的空腔连通的颈部弯管16，所述抽气管14与真空产生装置如真空泵(图未示)相连接。所述颈部弯管16的末端设置有吸头18。该柔丝吸嘴100在其笔体12上还安装有控制笔体12内的空腔打开或关闭的按钮15。使用时，将该吸头18放置到长形条20上，按压按钮15，使得空腔与真空泵导通，通过利用真空泵将柔丝吸嘴100内的空腔抽成真空，使得上述吸头18与长形条20之间形成真空，从而依靠外界气压将长形条20紧紧压到吸头18上，进而将其提起并移动。当将长形条20移动到目的地时，松开按钮15，使得笔体12内的空腔与真空泵阻断，使得长形条20脱离柔丝吸嘴100。
然而，由于传统的柔丝吸嘴的吸头18为圆锥体状，该吸头的底面为圆形，并且该圆形底面的外径一般大于2.5mm，内径通常小于1.5mm，而在一般情况下，长性条20的长度为50-60mm，宽度为0.5-2mm，厚度通常小于0.5mm，这样导致吸头18与长形条20之间的有效接触面积很小，而且接触面积几乎为圆形，这样容易导致吸力不足而使长形条20在被吸起及移动的过程中以接触面为中心发生旋转，该旋转使得长形条20的位置难以保持不变，进而难以准确地将长形条20放置到特定位置；其次，由于传统的吸头18与长形条20之间的接触区域为面积很小的圆形接触区域，从而使得真空泵产生的吸力主要集中在圆形接触区域，而在长形条的其它部分则没有吸力，这样不均匀的吸附力容易损坏长形条20表面(比如空气支承面ABS)，例如在长形条20表面产生微纹或裂纹；另外，传统的吸头18与长形条20的接触部非常粗糙，该粗糙的接触部容易导致长形条20的表面产生刮痕，从而损伤长形条；而且，传统的吸头通常采用防静电性能差的丁晴橡胶(Buna-N)或硅胶树脂材料制造而成，因此容易在长形条20的表面产生静电放电，进而损坏长形条20。
因此有必要提供一种改良的用于移动半导体产品的柔丝吸嘴，以克服现有技术的不足。
发明内容
本实用新型的主要目的在于提供一种柔丝吸嘴，其吸头上开设有狭长吸孔，使得吸头与待移动物体之间的有效接触面积增大，吸附力增强，物体可以稳定地被吸头吸起并从一个位置移动到另一个位置。
本实用新型的另一目的提供一种柔丝吸嘴，其吸头的接触面具有非常高的光洁度，因此可以避免或减少吸头对物体的刮伤。
为达到上述目的，本实用新型提供的柔丝吸嘴，包括具有空腔的笔体、设置于该笔体一端且与该空腔连通的颈部弯管及设置于该颈部弯管末端且与该空腔连通的吸头，该吸头呈四棱锥体状，其具有底部及与该底部连接的斜部，所述斜部顶端具有狭长的接触面，所述接触面上开设狭长的吸孔。在本实用新型的一个实施例中，所述吸孔为狭长的矩形形状。在本实用新型的另一个实施例中，所述吸孔为狭长的椭圆形状。
相对于传统技术，由于本实用新型柔丝吸嘴的吸头具有狭长的矩形或椭圆吸孔，所述吸孔对准待移动物体的长度方向，因此使得吸头与待移动物体之间的有效接触面积增大，而有效接触面积的增大又导致产生的吸力增大，因此在将待移动物体提起或移动的过程中，待移动物体与吸头之间不会发生相对移动，这样就可以将待移动物体准确放置到特定位置；其次，由于接触面为狭长的矩形或椭圆形，而不是传统技术那样的圆点型，因此吸力可均匀地分布在待移动物体上，从而减少或避免移动待移动物体过程中吸头对待移动物体表面的破坏，例如在待移动物体上产生微纹或裂纹；另外，本实用新型柔丝吸嘴的吸头与待移动物体的接触部分非常光滑，也避免或减少了的损伤待移动物体的可能性。
通过以下的描述并结合附图，本实用新型将变得更加清晰，这些附图用于解释本实用新型的实施例。
图1为利用传统柔丝吸嘴吸取长形条的状态图。
图2为本实用新型柔丝吸嘴的平面结构图。
图3a为本实用新型柔丝吸嘴的吸头的立体结构图。
图3b为利用本实用新型柔丝吸嘴吸取长形条的状态图。
图4a为本实用新型另一个实施例所述的吸头的立体图。
图4b为本实用新型又一个实施例所述的吸头的立体图。
图4c为图4b所述吸头的结构剖视图。
图5a为图4b-4c所述吸头的制造流程的一系列立体图。
图5b为图5a中所示A部分的局部放大图。
具体实施方式
现在描述本实用新型一种柔丝吸嘴的若干实施例。参考图2及图3a-3b，根据本实用新型一个实施例，一种柔丝吸嘴200包括一个笔体22，该笔体22内具有空腔(图未示)，该笔体22的一端连接有与所述空腔连通的抽气管24，另一端设有与笔体22的空腔连通的颈部弯管26，所述抽气管24与真空产生装置如真空泵(图未示)连接。在本实用新型中，所述颈部弯管26的末端设置有吸头28，所述柔丝吸嘴200在其笔体22上安装有控制笔体22内的空腔打开或关闭的按钮25。参考图3a，所述吸头28为一体式结构，呈四棱锥状，其包括底部282及与该底部282相连接的斜部284。所述斜部284上形成两个斜面285(图中仅示一个)。所述斜部284顶端具有狭长的接触部286，该接触部286呈矩形形状，该接触部286上开设有狭长的矩形吸孔288，该矩形吸孔288贯穿吸头28的底部282及斜部284。该吸头28还具有与所述底部282及斜部284连接的两个侧壁283(图中仅示一个)。当该吸头28被组装到笔体22上时，该矩形吸孔288与颈部弯管26相连通。在本实用新型中，所述吸头28采用防静电性能良好的材料比如聚醚醚酮材料(PEEK CA30，含有30％的碳纤维)制造，其表面阻抗位于10-6-10-9欧姆/平方毫米之间。
在本实用新型中，所述柔丝吸嘴200可用于移动小型的半导体产品，比如由复数磁头结构体构成的长形条20。参考图3b，所述长形条20通常长度为50-60mm，宽度为0.5-2mm，厚度通常小于0.5mm。使用时，将该吸头28放置到长形条20上，按压按钮25，使得空腔与真空泵导通，然后利用真空泵将柔丝吸嘴200内的空腔抽成真空，这样所述吸头28与所述长形条20之间就形成真空，从而外界气压就可将长形条20紧紧压到吸头28上，进而实现长形条20的移动。当将长形条20移动到目的地时，松开按钮25，使得笔体22内的空腔与真空泵阻断，从而使得长形条20脱离柔丝吸嘴200。
在本实用新型的一个实施例中，所述矩形吸孔288的长度最好为长形条20长度的1/5，即10-12mm。在本实用新型的另一个实施例中，所述两侧壁283之间的夹角为15-45度。在本实用新型的又一个实施例中，所述两个斜面285的夹角为20-40度。实验证明，所述吸头28依上述参数设计可保证移动长形条20时更加稳定。
参考图4a，根据本实用新型柔丝吸嘴的吸头的一个实施例，所述吸头38呈四棱锥体状，其具有底部382及与该底部382连接的斜部384。该斜部384上形成两个斜面385(图中仅示一个)。所述斜部384顶端具有狭长的接触面386，该接触面386呈矩形形状，该接触面386上开设狭长的椭圆吸孔388，该椭圆吸孔388贯穿吸头38的底部382及斜部384。该吸头38还具有与所述底部382及斜部384连接的两个侧壁383(图中仅示一个)。同时该吸头38采用防静电性能良好的材料比如聚醚醚酮材料(PEEK CA30，含有30％的碳纤维)制造。参考图4b-4c，根据本实用新型柔丝吸嘴的吸头的另一个实施例，该吸头48为两段式结构，其包括基体481及嵌入该基体481上的嵌入体487。所述基体481及嵌入体487共同形成狭长的矩形接触部486，该接触部486上开设狭长的矩形吸孔488，其贯穿吸头48的基体481及嵌入体487。在本实用新型的另一个实施例中，该吸孔也可以为狭长的椭圆吸孔。
图5a-5b展示了所述两段式吸头的制造过程。如图所述，首先通过铣削等机械加工方式加工矩形体坯材40，从而形成中间产品42，该中间产品42具有两个侧壁421及与该侧壁421连接的斜面422，同时形成基面423及与该基面43垂直的内壁面425，所述内壁面425及基面423呈台阶状。所述内壁面425上形成矩形槽424，该矩形槽424与圆孔426连通；同时通过铣削等机械加工方式加工另一个矩形体原材料50，从而形成另一个中间产品52。该产品52具有两个侧壁523及与该侧壁523连接的斜面522，该斜面522顶部具有狭长的矩形槽524(参考图5b)；然后将中间产品52放置到所述中间产品42的内壁面425及基面423上，并且通过螺纹连接或胶粘合等方式将两者固定在一起而形成组合60，该组合60顶部具有狭长的接触面62，其上设有狭长的开口64(由中间产品42的矩形槽424及中间产品52的矩形槽524互相组合而形成)；最后研磨该接触面62，使得该接触面62具有非常高的光洁度，并形成最终的吸头48。
相对于传统技术，由于本实用新型柔丝吸嘴的吸头具有狭长的矩形吸孔，所述矩形吸孔对准长形条的长度方向，因此使得吸头与长形条之间的有效接触面积增大，而有效接触面积的增大又导致产生的吸力增大，因此在将长形条提起或移动的过程中，长形条与吸头之间不会发生相对移动，这样就可以将长形条准确放置到特定位置；其次，由于接触面为狭长的矩形或椭圆形，而不是传统技术那样的圆点型，因此吸力可均匀地分布在长形条上，从而避免或减少了损坏长形条的表面的可能性，例如在长形条上产生微纹或裂纹；另外，本实用新型柔丝吸嘴的吸头与长形条的接触部分非常光滑，因此减少或避免了吸头对长形条表面的破坏；另外，本实用新型采用了防静电性能良好的材料比如聚醚醚酮材料(PEEK CA30，含有30％的碳纤维)来制造吸头，因此避免了静电放电对长形条的破坏。
以上结合最佳实施例对本实用新型进行了描述，但本实用新型不局限于以上揭示的实施例，应当涵盖各种根据本实用新型的本质进行的等效组合。
权利要求1.一种柔丝吸嘴，包括具有空腔的笔体、设置于该笔体一端且与该空腔连通的颈部弯管及设置于该颈部弯管末端且与该空腔连通的吸头，其特征在于该吸头呈四棱锥体状，其具有底部及与该底部连接的斜部，所述斜部顶端开设有狭长吸孔。
2.根据权利要求1所述的柔丝吸嘴，其特征在于所述吸孔为狭长矩形形状。
3.根据权利要求1所述的柔丝吸嘴，其特征在于所述吸孔为狭长椭圆形状。
4.根据权利要求1所述的柔丝吸嘴，其特征在于该斜部上形成两个斜面，所述两个斜面之间的夹角为20-40度。
5.根据权利要求1所述的柔丝吸嘴，其特征在于该吸头还具有与所述底部及斜部连接的两个侧壁，该两个侧壁之间的夹角为15-45度。
6.根据权利要求1所述的柔丝吸嘴，其特征在于该狭长吸孔的长度为10-12mm。
7.根据权利要求1所述的柔丝吸嘴，其特征在于该吸头为一体式吸头。
8.根据权利要求1所述的柔丝吸嘴，其特征在于该吸头为两段式吸头，其包括基体及嵌入到该基体的嵌入体。
9.根据权利要求8所述的柔丝吸嘴，其特征在于所述基体上形成台阶，所述嵌入体设置在该台阶上。
10.根据权利要求1所述的柔丝吸嘴，其特征在于所述吸头的表面阻抗在10-6-10-9欧姆/平方毫米之间。
专利摘要一种柔丝吸嘴，包括具有空腔的笔体、设置于该笔体一端且与该空腔连通的颈部弯管及设置于该颈部弯管末端且与该空腔连通的吸头，该吸头呈四棱锥体状，其具有底部及与该底部连接的斜部，所述斜部顶端开设有狭长吸孔。本实用新型柔丝吸嘴可有效防止被移动物体与其吸头间发生相对移动，并可避免或减少吸头对被移动物体表面的破坏，例如在被移动物体上产生微纹或裂纹。
文档编号H01L21/67GK2886802SQ20052014417
公开日2007年4月4日 申请日期2005年12月23日 优先权日2005年12月23日
发明者刘成昌, 卢伟光 申请人:新科实业有限公司