专利名称：气体控制器、气体控制器的保护装置及保护方法
技术领域：
本发明涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种气体控制器、气体 控制器的保护装置及保护方法。
背景技术：
半导体制造过程中，需要将各种高纯度气体，如氮气、氢化物气体、 卣化物气体等，提供给完成各种半导体工艺的加工设备，如沉积设备、 刻蚀设备、离子注入设备、扩散设备等。这些高纯度气体存储在气罐中， 出于毒性和安全方面的考虑，需要对其进行很谨慎的保存和处理，为此， 通常会在工艺间外设置专门的气拒，利用专门的气体传输系统对各种高 纯度气体进行集中控制和配送。
图l为现有的气体传输系统示意图，如图1所示，每一种气体均存储
于一个气罐101中，该气罐101内存储的气体通过第一气体传输管路102到 达气体控制器(通常为气体压力调节器或气体开关阀)103，通过对该气 体控制器103的控制实现对气体流量大小或导通/截止状态的控制。然后， 再通过第二气体传输管路104将气体传送至需要使用该气体的加工设备 105处。其中，气罐IOI、第一气体传输管路102、气体控制器103通常均 位于气拒中，通过第二气体传输管路104与加工设备105相连。
在半导体制造过程中用到的各种高纯度气体中，有多种是以液化状 态存储于气罐中，如氨气、氯气等。这些液化状态下存储的气体在使用 时，会由于焦耳-汤普森效应(Joule-Thompson effect)而发生冷凝，出 现一些冷凝的液体。而气体一旦经过冷凝，其内的小颗粒会凝结为大颗 粒，对生产很不利。另外，对于具有腐蚀性的气体，其冷凝的液体会对 整个气路传送路线上的各部件产生腐蚀作用，不仅对气体传输系统有害， 而且还会因腐蚀产物会被传送至加工设备而对生产造成较大影响。为此，现有技术中主要采用了两种方法避免液化存储的气体在传送 过程中出现冷凝。 一种是加热套法，即通过加热套对气罐及气体传输管 路进行加温处理，防止气体出现冷凝。然而，该种方法实现起来并不方 便，需要对气体传输系统进行较大的改动，其给系统维护也带来了较多 的麻烦(如，更换气罐变得很不方便)，增加了气体传输系统的复杂性。 另外，对于该种方法，很难实现整个气体传输系统的加热，而当气体流 至未能加热的区域时，仍会因温度的降低而出现冷凝。
另 一种则是于2003年5月21日授权的公告号为CN1109128C的中国专 利中所公开的加热器法。该方法通过在气罐附近安装辐射加热器，提高 环境和气罐间的传热速率，使气体液化量最少，从而实现对气体冷凝现 象的改善。但是，该方法只能在一定程度上减少气体液化的量，在实际 应用中仍会存在一些问题。
实际应用中，气体在离开气罐后所通过的第 一个部件是图1中所示的 气体控制器103 (其通常为气体压力调节器或气体开关阀)，该气体控制 器在气体传输系统中是重要的组成部件。但无论是上述哪种方法都难以 实现对其的良好加热，气体在流至该部件时，会由于温度的下降而出现 冷凝，从而使该部件中存在微量的冷凝液体，而这些液体的存在易导致 气体控制器的老化失灵。
图2为现有的气体控制器的结构示意图，如图2所示，气体控制器(无 论是气体压力调节器还是气体开关阀)通常由三部分组成控制头201、 控制杆202和控制体203，其中，传送气体的气路由控制体内穿过，图中 所示204为该气路的入口 ， 205为该气路的出口。工作时，通过4i转控制 头201带动控制杆202,控制控制体203内的位于图中209所示位置处的聚 四氟乙烯(PTFE)控制膜片(图中未示出)，进而实现对流过控制体203 内的气体的流量大小(气体压力调节器)或导通/截止状态(气体开关阀) 的调整。当气体控制器内存在冷凝的液体时，其会导致控制体203内的PTFE控制膜片出现形变，使气体控制器的流量调整精度下降，另外，当 形变较为严重时，如，在液体内浸泡时间过长，或当流经的气体为氯气
等腐蚀性气体时，甚至会因PTFE控制膜片膨胀导致气体控制器永久关闭。
这些均明显缩短了气体控制器的使用寿命。
此外， 一旦气体控制器失灵，随之而来的气体控制器的更换及4全漏 工作将令该种气体的传输和使用中断，使生产在较长时间内处于停工状
态。因此，防止气体控制器内出现冷凝液体、保护好气体控制器，对于
生产而言非常关#:。而现有的防止气体冷凝的方法均未能实现这一点。
发明内容
本发明提供一种气体控制器、气体控制器的保护装置及保护方法， 以改善因气体出现冷凝而导致的气体控制器易损坏的现象。
本发明提供的一种气体控制器，包括控制头、控制杆、控制体，以 及位于所述控制体内的气路，此外，还包括壳体，所述壳体在靠近控制 杆的一端具有第一开口，部分所述控制体通过该第一开口放置于所述壳
体内；所述壳体具有第二开口，所述控制体内的气路通过该第二开口与 外部相连；所述壳体还具有用于向所述壳体内充入辅助气体的进气口和
用于从所述壳体内排出辅助气体的排气口 。
其中，所述进气口可以与氮气或压缩空气的管^各相连；所述排气口 可以与真空泵相连。
其中，所述控制体内的气路包含于所述放置于所述壳体内的控制体内。
其中，至少一个所述进气口的位置不低于位于所述控制体内的与所 述气路相连的控制膜片。
其中，所述壳体远离控制杆的一端还具有一个第一开口，所述控制 体分别通过靠近及远离控制杆的两个第 一开口放置于壳体内。
其中，所述壳体具有至少两个第二开口，分别对应于所述控制体内气^各的各个入口和出口 。
其中，所述第一开口和第二开口处具有垫圏。
其中，所述气体控制器包括气体压力调节器和气体开关阀。
本发明具有相同或相应技术特征的一种气体控制器的保护装置所 述保护装置包含壳体，所述壳体在靠近控制杆的一端具有第一开口，所 述控制体通过该第一开口放置于所述壳体内；所述壳体具有第二开口， 所述控制体内的气if各通过该第二开口与外部相连；所述壳体还具有用于 向所述壳体内充入辅助气体的进气口和用于从所述壳体内排出辅助气 体的排气口。
其中，所述进气口与氮气或压缩空气的管路相连；所述排气口与真 空泵相连。
其中，所述壳体远离控制杆的一端还具有一个第一开口，所述控制 体分别通过靠近及远离控制杆的两个第一开口放置于壳体内。
其中，所述壳体具有至少两个第二开口，分别对应于所述控制体内 气路的各个入口和出口。
其中，所述第一开口和第二开口处具有垫圈。
本发明具有相同或相应技术特征的一种气体控制器的保护方法，包 括步骤
利用壳体在气体控制器的部分控制体的周围形成密闭空间； 在所述气体控制器工作期间，所述壳体的进气口通入辅助气体，所 述壳体的排气口排出辅助气体。
其中，所述辅助气体为氮气或压缩空气。
其中，所述辅助气体的流量在50至150psi之间。
与现有技术相比，本发明具有以下优点
本发明的气体控制器的控制体外还具有一个壳体，通过在该壳体内通入室温或较高温度下的辅助气体，可以防止控制体的温度下降，有效 避免了液化气体经过气体控制器时易出现的气体冷凝的现象。本发明的 气体控制器(或使用了保护装置的气体控制器)具有不易损坏，使用寿 命较长的优点。
本发明的气体控制器的保护装置及保护方法，通过在气体控制器的 控制体外加设一个壳体形成密闭空间，并在气体控制器工作期间，向该 密闭空间内通入室温或较高温度下的辅助气体，防止了气体控制器内温 度的下降，有效緩解了气体控制器内易出现的气体冷凝问题，延长了气 体控制器的使用寿命。
图1为现有的气体传输系统示意图； 图2为现有的气体控制器的结构示意图； 图3为本发明第一实施例中的气体控制器的结构示意图； 图4为本发明第一实施例中的壳体的剖面示意图； 图5为本发明第一实施例中的壳体的立体图； 图6为本发明第二实施例中的气体控制器的示意图； 图7为本发明第二实施例中的壳体的剖面示意图； 图8为本发明第三实施例中的气体控制器的示意图； 图9为本发明第三实施例中的壳体的剖面示意图； 图IO为本发明的气体控制器的保护方法的流程图。
具体实施例方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合 附图对本发明的具体实施方式
做详细的说明。
本发明的装置和方法可以被广泛地应用于各个领域中，并且可利用 许多适当的材料制作，下面是通过具体的实施例来加以说明，当然本发明并不局限于该具体实施例，本领域内的普通技术人员所熟知的一般的 替换无疑地涵盖在本发明的保护范围内。
其次，本发明利用示意图进行了详细描述，在详述本发明实施例时， 为了便于说明，表示装置结构的示意图会不依一般比例作局部放大，不 应以此作为对本发明的限定，此外，在实际的制作中，应包含长度、宽 度及深度的三维空间尺寸。
本发明中，将"i殳置于气体传输系统中的用于进行气体控制的气体压 力调节器和气体开关阀等装置统称为气体控制器。将液化存储的气体在 控制体内的经过的气体管路和相关部件统称为控制体内的气路。
液化状态下存储的气体在使用时，其所流经的气体控制器会由于焦 耳-汤普森效应而出现温度下降的现象，导致在气体控制器内出现一些 冷凝的液体，这些液体会加速气体控制器(或其的部分零部件)的老化， 缩短其使用寿命。为改善这一现象，本发明提出了一种新的气体控制器， 其外部加入了一个壳体，通过在该壳体内通入室温或较高温度下的辅助 气体，令气体控制器保持在正常的温度范围内，避免了气体控制器内的 冷凝液体的产生。
图3为本发明第一实施例中的气体控制器的结构示意图，如图3所 示，本发明的气体控制器，除了包括控制头301、控制杆302和控制体 303外，还在所述控制体外还增加了一个至少包围了部分控制体303的 壳体310。
由于该壳体310要将气体控制器中的部分控制体包围起来，其与控 制体相连接处需要开有开口。图4为本发明第一实施例中的壳体的剖面 示意图，图5为本发明第一实施例中的壳体的立体图，结合图3、图4 和图5所示，可以看到，壳体上靠近控制杆302的一端具有第一开口 313， 其形状与尺寸均与控制体302的主体相一致，部分的控制体302就是通 过该第一开口 313放置于壳体310内的；壳体310的侧壁具有第二开口314和315，控制体内的气路通过该第二开口 314和315与外部相连， 其位置对应于控制体内的气路的各个入口 304和出口 305。
本实施例中，所述控制体内的气路只有一个入口和一个出口，在本 发明的其他实施例中，其也可能具有多个入口和/或多个出口 ，此时壳 体上所具有的第二开口的个数也要分别与多个入口和/或多个出口相对 应在。另外，在本发明的其它实施例中，对于气体控制器的气^各入口和 出口位于同一边的情况，也可以只开一个第二开口，该第二开口用于同 时容纳气路的入口和出口 ，至于各入口与出口之间的缝隙可以用弹性材 料等填充。
下面介绍如何利用第一开口 313将壳体310与控制体303相连在 组装本发明的气体控制器时，可以在安装控制头301及气i 各的入口 304、 出口 305处的外接气管之前，先通过壳体310上的第一开口 313将壳体 3.10套在气体控制器的控制体303上，并令位于壳体310侧壁上的第二 开口 314和315与控制体上的气路的入口 304及305分别对齐，以便后 面在该入口 304和出口 305处安装外接气管令控制体内的气路可以与外 部相连。
另外，为了达到较好的密封效果，可以在上述各开口 (313、 314 和315 )处加入垫圈，其通常可以由橡胶等弹性材料制成。
除上述开口外，在壳体310上还具有用于向所述壳体310内充入辅 助气体的进气口 311和用于从所述壳体内排出辅助气体的排气口 312, 其中，进气口 311可以与室温下的、或较高温度下的辅助气体的管路相 连，如可以是氮气管路或压缩空气管路；排气口 312可以与真空泵，如 机械泵等相连。利用该进气口 311和排气口 312可以在壳体内充入、排 出处于室温或较高温度下的辅助气体，防止气体控制器在工作期间出现 温度下降的情况。
由于降温主要是由于液化存储的气体在传送时流经的气路上产生，
10本发明的第一实施例中，主要对气体控制器内气路所在的部分进行了保
温。如图3所示，所述壳体310包围的是气体控制器中控制体303的下 半部，其内包含了控制体内的整个气路。
注意到，由于气体控制器中最易受损的是控制体内的控制膜片(其 通常为PTFE材料)，对其所在区域309进行保温也很关键，为了确保 其所在区域的温度不下降，被所述壳体包围的部分控制体中最好还要包 括控制膜片。为了令该控制膜片所在区域309达到更好的保温效果，本 发明的第一实施例中还将壳体上的进气口 311的位置设置在不低于控制 膜片所在的位置309处，将排气口 312设置在了与进气口相对一面的相 同高度的位置处。这样，壳体内的辅助气体会主要围绕该高度的区域流 动，其优点在于可以对控制膜片所在区域309进行重点的辅助气体保温 处理，但其缺点在于对控制体的其余位置的保温效果不佳。
由图3、图4和图5可以看出，本发明的第一实施例中，进气口 311、 排气口 312与第二开口 314和315是位于壳体的同一剖面上，且进气口 311与第二开口中的314、排气口 312与第二开口中的315分别位于同 一垂直线上；但在本发明的其它实施例中，进气口、排气口与第二开口 也可以灵活设置，如可以令各进气口/排气口的位置与各第二开口的位 置不在壳体的同 一剖面上，如可以将进气口或排气口的位置设置在各第 二开口的位置相对于壳体的圆心偏转45°、 90°等。
本发明的第一实施例中，壳体将气体控制器的下半部完全包围起 来，对控制体内的整个气路，包括控制膜片进行了保温，在本发明的其 他实施例中，也可以仅利用壳体包围气体控制器的中间部分。
图6为本发明第二实施例中的气体控制器的示意图，如图6所示， 本实施例中，壳体600仅包围了气体控制器的中间部分，且其进气口 601 与排气口 602的位置有所变动。为了维持重点区域一一控制膜片所在区 域309的保温效果，本发明的第二实施例中，仍将进气口设置在高于控制膜片的位置处，但将排气口 602设置到了壳体上与进气口相对一面的
下部，这一排气口的改动可以提高控制体303内整个气路的加热或保温效果。
图7为本发明第二实施例中的壳体的剖面示意图，如图7所示，此 时，该壳体600除靠近控制杆302的一端要与气体控制器相连接外，其 远离控制杆302的一端也要与气体控制器相连，因此，其用于与控制体 303相连的第一开口具有两个， 一个为位于壳体上靠近控制杆的一端的 第一开口 613a,另一个为位于壳体上远离控制杆的一端的第一开口 613b,控制体303分别通过靠近及远离控制杆的两个第一开口 613a和 613b放置于壳体600内。
另外，与第一实施例类似，壳体600在对应控制体内的气体通路的 入口 304和出口 305的位置处，也具有两个第二开口 614和615。
本发明的第二实施例中，将排气口 602设置在了壳体的下部，在本 发明的其它实施例中，还可以将排气口设置在与进气口相对一面的侧壁 相邻的壳体底部上，在本发明上述实施例的启示下，这一应用的延伸， 对于本领域的普通技术人员而言是易于理解和实现的，在此不再赘述。
本发明的第一和第二实施例中，壳体上都只设置了一个进气口和一 个排气口 ，在本发明的其他实施例中，还可以设置多个进气口和排气口 ，
以达到更好的保温效果。
图8为本发明第三实施例中的气体控制器的示意图，如图8所示， 本实施例中，壳体800包围了气体控制器的中间部分，但仍将控制体内 的整个气路包括在了其内。本实施例中的壳体800具有多个进气口 801a、 801b和801c,但排气口 802仅设置了一个，在本发明的其他实 施例中，也可以设置多个排气口。
注意到，为了维持控制膜片所在区域309的保温效果，本发明的第 三实施例中，将两个进气口 801a和801b设置在高于控制膜片的位置处，一个进气口 801c设置在低于控制膜片的下部位置。同时，将排气口 802 设置到了壳体上与多数进气口 (801a和801c)相对一面的下部。这一 多进气口的设置可以进一步提高对控制体303内整个气路的保温效果。
图9为本发明第三实施例中的壳体的剖面示意图，如图9所示，此 时，因壳体800包围的是气体控制器的中间部分，该壳体800除靠近控 制杆302的一端要与气体控制器相连接外，其远离控制杆302的一端也 要与气体控制器相连，因此，本实施例中的壳体具有两个第一开口 813a
和813b,分别位于壳体的顶部与底部。另外，其在对应控制体内的气路 的入口 304和出口 305的位置处，也还开有两个开口 814和815。
本发明的上述实施例中，各进气口与排气口均位于同一剖面上，在 本发明的其它实施例中，各进气口与排气口还可以分别分布在壳体的不 同剖面上，如可以围绕壳体的圆周在同一高度上设置多个进气口，而将 排气口设置在壳体的底部。在本发明上述实施例的启示下，这一应用的 延伸，对于本领域的普通技术人员而言是易于理解和实现的，在此不再赘述。
本发明的上述实施例中，均将控制体内的整个气路包括在壳体所包 围的区域内，在本发明的其它实施例中，也可以只将控制体内的部分气 路包括在壳体所包围的区域内，利用热的传导保持整个气路的温度不降 低。
本发明的上述实施例中，壳体为圆柱体，在本发明的其它实施例中， 壳体还可以为长方体、方体、圓台体、推台体等多种形状。
上述实施例中，描述了带有壳体的气体控制器的结构。事实上，对 于本身未带有壳体的气体控制器，也可以利用类似的方法进行保护。如 可以在其外加入一个保护装置，该保护装置包括壳体，所述壳体在靠近 控制杆的一端具有第一开口 ，所述控制体通过该第一开口放置于所述壳 体内；所述壳体具有第二开口，所述控制体内的气路通过该第二开口与外部相连；所述壳体还具有用于向所述壳体内充入辅助气体的进气口和
用于从所述壳体内排出辅助气体的排气口 。
其中，壳体上的进气口同样可以与氮气或压缩空气的管路相连，排 气口可以与真空泵相连。为了保持密封效果，在壳体的第一开口、第二 开口 (还可以包括进气口及排气口)处还可以加入垫圈。
保护装置中的壳体可以只具有一个第一开口 ，其位于所述壳体上靠 近控制杆的一端，对应地用于包围气体控制器的控制体的下半部。也可 以具有两个第一开口，即，在所述壳体远离控制杆的一端还具有一个第 一开口 ，所述控制体分别通过靠近及远离控制杆的两个第一开口放置于 壳体内，此时，其包围的是气体控制器的控制体中间的一部分。
注意到保护装置对气体控制器的保温区域是可以调整的，通过将保 护装置安装于气体控制器的控制体的不同区域，可以实现对控制体的不 同区域的不同的保温效果，其的应用可以更方便灵活。
另外，保护装置的壳体上的第二开口通常至少为两个，分别对应于 所述控制体内气路的各个入口和出口 。
在安装该保护装置时，可以先将与气体控制器的控制体内气路相连 的各入口/出口处的气管拆下，在将保护装置从气体控制器的下部套上 后，再重新将各气管安装到位即可。
图IO为本发明的气体控制器的保护方法的流程图，下面结合图10
介绍一下与本发明中的气体控制器或带保护装置气体控制器的思路一
致的一种气体控制器的保护方法
首先，利用一个壳体在气体控制器的部分控制体的周围形成密闭的 空间(S1001)。该壳体的结构可以如上述本发明的各实施例中所述的壳 体一致或类似，具有将控制体放置于其内的第一开口，及用于控制体内 的气路外接的第二开口。此外，还需要具有至少一个进气口和至少一个 排气口。在所述气体控制器工作期间，对所述壳体进行充入和排出辅助气体 的操作。为了令气体控制器在工作期间内保持温度，需要防止因液态存 储的气体的流过而导致的气体控制器内出现的冷凝现象，避免气体控制 器的损坏。其具体的操作步骤为
A、 依次打开壳体的排气口和进气口 (通常在与排气口和进气口相 连的管路上会具有开关)，在该密闭空间内(所述壳体内)通入室温或
较高温度下的辅助气体(S1002 )。该辅助气体通常可以是氮气或压缩空 气等，其的流量通常可以设置在50至150psi之间，此时可以对控制体 实现较好的保温效果。
B、 旋转气体控制器的控制头，开启气体控制器，将液化存储的气 体传送至加工设备处，对于气体调节器，可同时实现将流经的液态存储 气体的流量调整至所需值(S1003)。
C、 完成液化存储气体的传送后，反向旋转气体控制器的控制头， 关闭气体控制器，停止气体的传送(S1004)。
D、 依次关闭壳体的进气口和排气口，停止向密闭空间(壳体)内 通入气体(S1005)。
本发明的气体控制器、气体控制器的保护装置及保护方法，令气体 控制器的控制体周围流过处于室温或较高温度下的辅助气体，不仅可以 延长气体控制器的使用寿命，还可以因有效防止了液态存储气体在气体 控制器内的冷凝，避免了液态存储气体在气体控制器内冷凝后，其内的 小颗粒凝结为大颗粒的问题，以及因冷凝后的液体对气体控制器产生腐 蚀作用，并将产生的腐蚀产物传送至加工设备而对生产造成较大影响的 问题。
此外，本发明的气体控制器、气体控制器的保护装置及保护方法， 还可以防止因气体控制器的温度低于室温，而在其外部凝结水滴，出现 雾化的现象，这一现象不仅会加速气体控制器的损坏，而且会才莫糊气体控制器的显示仪表等，妨碍工作人员对气体控制器进行操作。
本发明虽然以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定本发明， 任何本领域技术人员在不脱离本发明的精神和范围内，都可以做出可能 的变动和修改，因此本发明的保护范围应当以本发明权利要求所界定的 范围为准。
权利要求
1、一种气体控制器，包括控制头、控制杆、控制体，以及位于所述控制体内的气路，其特征在于还包括壳体，所述壳体在靠近控制杆的一端具有第一开口，部分所述控制体通过该第一开口放置于所述壳体内；所述壳体具有第二开口，所述控制体内的气路通过该第二开口与外部相连；所述壳体还具有用于向所述壳体内充入辅助气体的进气口和用于从所述壳体内排出辅助气体的排气口。
2、 如权利要求1所述的气体控制器，其特征在于所述进气口与 氮气或压缩空气的管路相连。
3、 如权利要求1或2所述的气体控制器，其特征在于所述排气 口与真空泵相连。
4、 如权利要求1所述的气体控制器，其特征在于所述控制体内 的气路包含于所述放置于所述壳体内的控制体内。
5、 如权利要求4所述的气体控制器，其特征在于至少一个所述 进气口的位置不低于位于所述控制体内的与所述气路相连的控制膜片。
6、 如权利要求1所述的气体控制器，其特征在于所述壳体远离 控制杆的一端还具有一个第一开口 ，所述控制体分别通过靠近及远离控 制杆的两个第 一开口放置于壳体内。
7、 如权利要求1所述的气体控制器，其特征在于所述壳体具有 至少两个第二开口，分别对应于所述控制体内气路的各个入口和出口。
8、 如权利要求1所述的气体控制器，其特征在于所述第一开口 和第二开口处具有垫圏。
9、 如权利要求1所述的气体控制器，其特征在于所述气体控制 器包括气体压力调节器和气体开关阀。
10、 一种气体控制器的保护装置，其特征在于所述保护装置包含 壳体，所述壳体在靠近控制杆的一端具有第一开口，所述控制体通过该第一开口放置于所述壳体内；所述壳体具有第二开口，所述控制体内的 气路通过该第二开口与外部相连；所述壳体还具有用于向所述壳体内充 入辅助气体的进气口和用于从所述壳体内排出辅助气体的排气口 。
11、 如权利要求10所述的保护装置，其特征在于所述进气口与 氮气或压缩空气的管^^目连。
12、 如权利要求10或11所述的保护装置，其特征在于所述排气 口与真空泵相连。
13、 如权利要求10所述的保护装置，其特征在于所述壳体远离 控制杆的一端还具有一个第一开口 ，所述控制体分别通过靠近及远离控 制杆的两个第一开口放置于壳体内。
14、 如权利要求10所述的保护装置，其特征在于所述壳体具有 至少两个第二开口，分别对应于所述控制体内气路的各个入口和出口。
15、 如权利要求10所述的保护装置，其特征在于所述第一开口 和第二开口处具有垫圈。
16、 一种气体控制器的保护方法，其特征在于，包括步骤 利用壳体在气体控制器的部分控制体的周围形成密闭空间； 在所述气体控制器工作期间，所述壳体的进气口通入辅助气体，所述壳体的排气口排出辅助气体。
17、 如权利要求16所述的保护方法，其特征在于所述辅助气体 为氮气或压缩空气。
18、 如权利要求16或17所述的保护方法，其特征在于所述辅助 气体的流量在50至150psi之间。
全文摘要
本发明公开了一种气体控制器，包括控制头、控制杆和控制体，此外，其还包括壳体，所述壳体在靠近控制杆的一端具有第一开口，部分所述控制体通过该第一开口放置于所述壳体内；所述壳体具有第二开口，所述控制体内的气路通过该第二开口与外部相连；所述壳体还具有用于向所述壳体内充入辅助气体的进气口和用于从所述壳体内排出辅助气体的排气口。本发明的气体控制器可以有效避免液化气体经过气体控制器时易出现的气体液化的现象，具有不易损坏，使用寿命较长的优点。此外，本发明还公开了相应的气体控制器的保护装置及气体控制器的保护方法，其可以加强对气体控制器的保护，令气体控制器的使用寿命有所延长。
文档编号H01L21/00GK101315869SQ200710041358
公开日2008年12月3日 申请日期2007年5月28日 优先权日2007年5月28日
发明者于永航, 吴卫卫 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司