专利名称：一种气体质流控制器的转换装置的制作方法
技术领域：
本实用新型是关于一种气体质流控制器的转换装置，具体地说是由马达与可变电阻器连动调节流量控制阀的一种气体质流控制器的转换装置。
背景技术：
常用气体流量控制系统与质流控制器之间是通过一与可变电阻器连动的马达，调节齿轮转动方向而改变流量控制阀的开口大小。由于该马达能与常用气体流量控制系统输出的10V电压相容，因此能适用。但实用新型的质流控制器的控制电压为5V，明显与常用气体质流控制系统输出的10V电压不相容，因而衍生下列问题1、若将常用的气体流量控制系统全改为直接控制实用新型的质流控制器(MFC)，因系统更改势必要耗费庞大费用，不符合经济效益，且旧系统废弃不用，殊为可惜。
2、若延用原有的流量控制装置，则一旦损坏，目前市面上难以买到适合的零件更换。
3、常用的流量控制器的旧零件因多年使用，多数已到使用年限，若不及时更换，则可能造成气体外泄的意外或工厂停摆的损失。
4、常用的流量控制器与质流控制阀非一体成型，若无校正，可能造成误差。
本实用新型发明人鉴于上述常用气体流量控制系统与实用新型质流控制器之间的不相容所衍生的各项缺点，乃亟思加以改良创新，并经多年苦心孤诣潜心研究后，终于成功研发完成本气体质流控制器的转换装置，期待能以最低成本解决此一庞大且迫切的需求。
实用新型内容本实用新型的第一个目的在于提供一种低成本的气体质流控制器的转换装置；本实用新型的第二个目的在于提供一种快速解决常用气体流量控制系统与实用新型质流控制器之间不相容问题的可行装置；本实用新型的第三个目的在于提供一种具有伺服控制功能的气体质流控制器的转换装置。
可达到上述实用新型目的的气体质流控制器的转换装置包括马达、第一可变电阻器、第二可变电阻器、连动器、第一连接头、第二连接头及金属外壳，其内部电线按功能区分为红、黑、白三种颜色。
气体质流控制系统通过该第一连接头下达指令，通过比较器执行伺服控制功能，驱动马达同步调整第一、第二可变电阻器，可使10V及5V的输入电压作等比例变化，再经该第二连接头传送到质流控制器，达到转换电压范围及控制流量的目的。
本实用新型的有益效果是
1.取代原有的气体流量控制器，仅在实用新型气体质流控制器上加装一转接装置，故可大幅减少设备系统修改支出。
2.本实用新型具有输入电压与输出电压在不同范围的特性，并具有伺服控制的功能。
3.因本实用新型使用实用新型MFC在出厂时已完成校正，故可减少流量误差。
4.目前有许多高离子植入机，皆面临原有气体流量控制系统与实用新型质流控制器不相容的问题，因此本实用新型将有广泛的使用空间。
图1为常用气体流量控制系统图。
图2为加装转换装置的气体质流控制系统图。
图3为该气体质流控制器的转换装置的内部构造图。
图4为该气体质流控制器的转换装置的电路图。
图5为该气体质流控制器的转换装置与质流控制器组合的外观图。
具体实施方式
如图1所示为常用气体流量控制系统图，系统内部的比较器同时接受系统输入电压V1(最大为10V)及由可变电阻器3经b伺服的马达2动作电压V2，该动作电压V2是由于马达转动之后带动齿轮4，同时调整可变电阻3(两端的最大电压也为10V)的电阻及气体质流控制阀1而获得，V1和V2进行比较后，将信息由a传入马达2，再经齿轮传动而调节气体质流控制阀1。
如图2所示为加装转换装置的气体质流控制系统图，系统内部的比较器同时接受系统输入电压V1(最大为10V)及由第一可变电阻器6经d伺服的马达5动作电压V3，该动作电压V3是由于马达5动作后经连动器8调整第一可变电阻器6(两端最大电压为10V)的电阻而获得，V1及V3进行比较后，若V1＞V3，则信息由C传入马达5经连动器8同时增大第一可变电阻器6及第二可变电阻器7；同理，若V1＜V3，则信息由C传入马达5经连动器8同时减小第一可变电阻器6及第二可变电阻器7(两端的最大电压为5V)，如此反覆循环构成伺服控制，直到V1＝V3时，马达5停止转动，外加的5V电压经调整后的第二个可变电阻器7变为V4由f输出至质流控制器(Mass Flow Controller，MFC)则V4必在0～5V之间，故无电压过大可能。
如图3所示为该转换装置的内部构造图，第一连接头9是与气体流量控制系统连接的部位，第二连接头10是与MFC连接的部位，第一可变电阻器6与第二可变电阻器7共同装置于一圆柱体构造内部，连动器8具有抗震及抗阻尼的结构，并具有一支持构造11，马达5则位于尾端。其内部电线颜色共三种，分别为红(火线)、黑(地线)及白色(调整可变电阻用)。外覆一长方体金属外壳13，连接头则裸露于外。
如图4所示为该气体质流控制器的转换装置的电路图，第一可变电阻用)。外覆一长方体金属外壳13，连接头则裸露于外。
如图4所示为该气体质流控制器的转换装置的电路图，第一可变电阻器6两端FH输入电压为10V，第二可变电阻器7两端AC输入电压为5V，其中AH接红色火线，CFI接黑色地线，BG接白线，两可变电阻器与马达5双连(虚线)，FG两端电压V3回传至比较器与系统输入电压V1作伺服控制的比较，再将二者的压差传至J以控制马达运转，同时改变两可变电阻，而B、C两端的电压V4则输出至MFC。
如图5所示为该气体质流控制器的转换装置与质流控制器组合的外观图，本实用新型若要达到控制空气流量的目的，则该转换装置须和MFC组合搭配使用，图中长方体为本实用新型的转接装置，质流控制器有一进气孔及一出气孔。
上例详细说明是针对本实用新型的一个可行实施例的具体说明，该实用新型并非用以限制本实用新型的专利范围，凡未脱离本实用新型技术精神所进行的等效实施或变更，均应包含于本实用新型的专利范围中。
权利要求1.一种气体质流控制器的转换装置，其特征在于所述转换装置，其内部具有一马达(5)及一第一可变电阻器(6)以及一第二可变电阻器(7)，该马达(5)的最大控制电压为10V；一质流控制器(12)，其最大控制电压为5V，该转换装置内部的马达(5)与气体质流控制系统相连接，该马达(5)与两个可变电阻器连动，该第二可变电阻器(7)再与质流控制器(12)相连接。
2.按权利要求1所述的转换装置，其特征在于该转换装置包括一第一可变电阻器(6)、一第二可变电阻器(7)、一马达(5)、一连动器(8)、一第一连接头(9)以及一第二连接头(10)；该第一连接头(9)与该第一可变电阻器(6)及该马达(5)相连，该马达(5)与该第一可变电阻器(6)及该第二可变电阻器(7)通过连动器(8)连动，该第二可变电阻器(7)则与该第二连接头(10)相连。
3.按权利要求2所述的转换装置，其特征在于该第一可变电阻器(6)的最佳实施以可变电阻值为10KΩ为单位。
4.按权利要求2所述的转换装置，其特征在于该第二可变电阻器(7)的最佳实施以可变电阻值为10KΩ为单位。
5.按权利要求2所述的转换装置，其特征在于该第一连接头(9)的外观为长方形，具有复数接脚。
6.按权利要求2所述的转换装置，其特征在于该第二连接头(1 0)的外观为圆柱形。
7.按权利要求2所述的转换装置，其特征在于该连动器(8)具有抗震、抗阻尼结构。
专利摘要一种气体质流控制器的转换装置，包括马达、一第一可变电阻器和第二可变电阻器，一质流控制器，该转换装置内部的马达与气体质流控制系统相连接，该马达与两个可变电阻器连动，该第二可变电阻器再与质流控制器相连接。本实用新型的特点在于转换装置具有伺服控制功能，在气体流量控制系统零件汰旧换新之际取代原有流量控制器，避免系统大幅更新，省下一笔可观的设备费用。
文档编号G05D7/06GK2665770SQ0324895
公开日2004年12月22日 申请日期2003年9月29日 优先权日2003年9月29日
发明者童拱照 申请人:亚泰半导体设备股份有限公司