专利名称：线状锯及线状锯系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种线状锯以及一种具有该线状锯和工件转移装置的线状锯系统，该
线状锯利用线材切断例如由半导体材料、磁性材料、陶瓷等硬脆材料构成的工件。
背景技术：
当前，作为这种技术，例如提出专利文献1及专利文献2中公开的结构。
在专利文献1中记载的现有结构中，在加工用辊间的工件切断用线材的上方配置 保持部件，该保持部件用于以可向线材升降的吊起状态保持工件。在工件的上表面固定被 保持体，该被保持体被支撑为，相对于所述保持部，可以向加工用辊的轴线方向滑动。与线 状锯相对应地配置工件转移装置，在该工件转移装置上支撑工件上的被保持体，在其与线 状锯侧的保持部件之间设置用于引导工件转移的引导部件。 另外，在专利文献2中记载的现有结构中，在加工用辊间的线材的上方配置保持 部件，该保持部件用于以可向线材升降的吊起状态保持工件。在工件的上表面固定被保持 体，该被保持体被支撑为，相对于所述保持部件，可以向与加工用辊的轴线方向正交的方向滑动。 专利文献1 :特开2008-246643号公报
专利文献2 :特开平10-202499号公报
发明内容
但是，在这些现有结构中存在下述问题。 在专利文献1中记载的现有结构中，通过使工件上的被保持体相对于线状锯的保 持部件向加工用辊的轴线方向滑动，从而进行转移。由此，在将多个工件以沿着加工用辊的 轴线方向并列设置的状态，固定在被保持体上，或者将加工用辊轴线方向上较长的工件固 定在被保持体上的情况下，使被保持体相对于保持部件的滑动距离变长。并且，如果滑动 距离变长而保持部件的引导方向和被保持体的移动方向不一致，则在所述滑动中会产生扭 动。因此，在滑动距离较长的情况下，必须使被保持体的移动方向准确地与保持部件的引导 方向一致，即使在线状锯侧设置对被保持体的导入进行引导的构造，工件的安装作业也很 繁琐。 另外，在专利文献2中记载的现有构成中，没有设置对将工件上的被保持体安装 在线状锯侧的保持部件上的情况下的导入进行引导的构造。因此，被保持体相对于保持部 件的导入很困难，即使滑动方向为与加工用辊的轴线方向正交的方向，工件的转移作业也 无法容易地进行。 本发明是着眼于在如上所述的现有技术中存在的问题点而提出的。其目的在于，
提供一种可以容易地进行工件相对于线状锯的安装的线状锯及线状锯系统。 为了实现上述目的，本发明为一种线状锯，其平行地配置多根加工用辊，并且在与
该加工用辊相对的位置上，设置可安装/拆卸地保持工件的保持单元，利用在所述加工用辊之间张紧设置的线材，将由该保持单元保持的工件切断，其特征在于，使工件相对于所述
保持单元的安装/拆卸方向，为与平行于所述加工用辊轴线的上下方向平面相交叉的方
向，并且在该保持单元上，设置用于引导工件向安装位置导入的导入引导部。 因此，即使在将多个辊并列设置在加工用辊的轴线方向上状态下，或者，工件在加
工用辊的轴线方向上较长的情况下，也可以向保持单元容易地导入工件，并且可以不较大
幅度滑动地安装。因此，可以容易地进行工件的安装作业而不产生扭动。 在上述的构成中，优选使工件相对于所述保持单元的安装/拆卸方向，为与平行
于所述加工用辊轴线的上下方向平面正交的方向。 另外，在所述构成中，优选所述保持单元具有保持部件，其将固定在工件上表面的 被保持体可滑动地吊起，从而将工件向被加工位置引导，并且将其保持在该被加工位置，在 该保持部件的前端部设置所述导入引导部。根据该结构，由于保持部件具有工件的保持功 能以及滑动导轨功能，所以可以简化结构，并且，通过导入引导部的作用，可以顺利地进行 工件向保持部件的滑动而不会扭动。 另外，在所述构成中，在所述保持单元上形成用于限制所述被保持体的位置的限
制面，并且设有驱动单元，其使所述保持部件可以相对于所述限制面接近/分离，使所述保
持部件向所述接近方向移动，而使所述被保持体相对于所述限制面以限制状态压接。根据
如上所述构成，由于限制面向下方开放，所以可以容易地进行清扫限制面。 另外，在线状锯系统的发明中，其特征在于，由技术方案3或者4中记载的线状锯
以及工件转移装置构成，工件转移装置，其可以在转移位置、和从该位置离开的位置之间移
动，该转移位置是将所述被保持体配置在所述保持部件的高度位置上，支撑该工件以使该
工件可以在工件转移装置与所述保持部件之间转移的位置。因此，在本发明中，利用工件转
移装置，可以容易地进行工件相对于线状锯的安装/拆卸作业。 在所述构成中，也可以在线状锯和工件转移装置之间设置定位单元，其使工件转 移装置相对于所述保持部件进行定位。按照如上所述，在工件向线状锯的安装中，工件相对 于保持部件即工件安装位置的定位变得容易。 另外，在上述的构成中优选所述工件转移装置具有引导部件，其用于可滑动地吊 起固定在工件上表面的被保持体，并且向线状锯的保持部件的前端引导工件。根据如上所 述的结构，可以容易地在引导部件和线状锯的保持部件之间转移工件。 另外，在所述的构成中优选所述工件转移装置具有托盘，其用于接收从吊在所述 引导部件上的工件滴下的浆液。如上所述，可以防止污染线状锯的周边的地面等。
另外，优选设有固定单元，其支撑在框架上，使所述引导部件可以在向所述保持部 件靠近的位置、和离开保持部件的位置之间移动，并且至少在所述离开位置将引导部件固 定。根据如上所述，可以将工件稳定在安装/拆卸位置上，而使工件的安装/拆卸变得容易。
发明的效果 如上所述，根据本发明，实现可以容易地进行工件相对于线状锯的安装/拆卸作 业的效果。
图1是表示一个实施方式的线状锯系统的要部斜视图。
图2是图1的线状锯系统中的线状锯的要部放大正视图。 图3是该线状锯的要部侧视图。 图4是放大表示该线状锯的工件支撑装置的正视图。 图5是该工件支撑装置的要部斜视图。 图6是表示工件相对于图4的工件支撑装置安装/拆卸时的状态的正视图。 图7是图4的7-7线中的放大剖面图。 图8是放大表示图1的线状锯系统中的工件转移装置的斜视图。 图9是该工件转移装置的侧视图。 图10是该工件转移装置的放大俯视图。 图11是图9的11-11线中的放大剖面图。 图12是图10的12-12线中的放大剖面图。 图13是放大表示支撑体相对于工件转移装置的移动体的定位结构的斜视图。 图14是表示工件相对于图9的工件转移装置的搭载时状态的侧视图。
具体实施例方式
下面参照
本发明的一个实施方式。 如图1所示，本实施方式的线状锯系统具有线状锯20，其用于切断工件W ;以及工件转移装置41，其用于向该线状锯20安装加工前的工件W，或者取下加工后的工件W。
如图1至3所示，在所述线状锯20中，在基台21上的立柱22上安装设置切断机构23。该切断机构23具有彼此隔开间隔而平行延伸的一对加工用辊24、25，在这些加工用辊24、25的外周以规定间距形成环状槽24a、25a。在加工用辊24、25的各环状槽24a、25a中，连续巻绕由l根线材构成的线材26。另外，通过利用未图示的行进用电动机使加工用辊24、25旋转，使线材26在加工用辊24、25之间行进。在该情况下，线材26的行进方式为，重复进行一定量前进以及一定量后退，作为整体逐步地前进，或者向一个方向连续地前进。所述加工用辊只要具有一对即可，如果是彼此隔开间隔而平行配置的结构，则也可以大于或等于3根。 在线状锯20的主体上形成开口 20a，其向与加工用辊24、25的轴线方向正交的方向开放，用于使工件W进出。 在所述切断机构23的上方位置配置浆液供给装置27。另外，从该浆液供给装置27向加工用辊24、25间的线材26供给含有游离磨粒的浆液。 在切断机构23的上方，在立柱22上可升降地配置用于支撑工件W的工件支撑装置28。工件W如图2所示，沿加工用辊24、25的轴线方向并列设置多个，或者如未图示的那样，为向加工用辊24、25的轴线方向延伸的较长的单个工件。另外，在线状锯20运行时，线状锯26在切断机构23的加工用辊24、25之间行进，并且，一边从浆液供给装置27向该线状锯26上供给浆液，一边利用工件支撑装置28使工件W向切断机构23下降。由此，工件W被线材26按压而切断。 下面，详细说明用于将所述工件W保持在线状锯20上的结构。 如图4至6所示，在所述工件W的上表面粘结固定玻璃平板31以及金属平板32。
在金属平板32的上表面，利用未图示的多个螺栓，可拆卸地安装金属制的被保持体33。在被保持体33的上表面突出设置多个被保持片34，在各被保持片34的顶壁上表面形成被限制面34a。在相邻的各一对的被保持片34的内侧形成台阶状的第1卡合部34b及第2卡合部34c，它们在向线状锯20安装的状态下，向与所述加工用辊24、25的轴线方向正交的方向延伸。 如图5至图7所示，作为用于支撑所述工件W的保持单元的工件支撑部件35，在加工用辊24、25间架设的线材26的上方，可升降地配置在线状锯20上。在工件支撑部件35的下表面，支撑作为保持单元的多个保持部件36，该保持部件36正面形状大致为倒T字状，可以与所述被保持体33上的第1卡合部34b卡合。在工件支撑部件35的上表面配置作为驱动单元的多个压力缸37，在这些压力缸37的活塞杆37a的下端，利用螺栓38固定所述保持部件36。 另外，通过所述压力缸37的活塞杆37a向下方突出动作，保持部件36从上方位置移动至图6中以实线表示以及图7中以虚线表示的下方位置。在该状态下，所述工件转移装置41上的工件W的被保持体33的第1卡合部34b移动至与保持部件36卡合的位置。并且，第1卡合部34b在保持部件36上向其基端侧滑动。然后，通过压力缸37的活塞杆37a向上方进行回退动作，从而使保持部件36移动至图4及图7中以实线所示的上方位置。由此，被保持体33经由第1卡合部34b被提升，该被保持体33上的被限制面34a与工件支撑部件35的下表面的限制面35a压接。其结果，工件W以吊起的状态保持在工件支撑部件35的限制面35a上。 如图3及图7所示，在所述保持部件36的后方，在工件支撑部件35的下表面突出设置定位部件39。另外，如图3所示，在工件W上的被保持体33沿着导入引导部36a引导移动至保持部件36的基端侧时，被保持体33的后面与该定位部件39抵接。利用该抵接，被保持体33相对于工件支撑部件35，被定位在前后方向的规定位置上。
如图4至图7所示，在所述各保持部件36的前端部，朝前方突出形成可以与被保持体33上的第1卡合部34b卡合的导入引导部36a。该导入引导部36a利用倾斜面，朝向前端缘形成尖细状。并且，如图7中点划线所示，在将保持部件36配置在下方位置的状态下，被保持体33的第1卡合部34b从导入引导部36a的前端侧被引导移动至保持部件36的基端侧。另外，保持部件36配置为，使被保持体33的滑动方向，成为与在上下方向穿过所述加工用辊24、25的轴线的平面正交的方向。但是，如果工件W的加工没有问题，则也可以将保持部件36配置为，使被保持体33的滑动方向成为与在上下方向穿过所述加工用辊24、25的轴线的平面斜向相交的方向。 下面，详细说明所述工件转移装置41的结构及其关联结构。 如图1及图8至图10所示，该工件转移装置41的框架42具有纵框部42a ;以及一对臂部42b，它们从该纵框部42a的下端向侧方突出设置。在框架42的下面四角处安装车轮43。框架42具有用于使工件转移装置41移动的把手44。在框架42的臂部42b间，经由支撑板46配置多个滚轮45，这些滚轮沿着臂部42b的延伸方向，并且在与臂部42b的延伸方向正交的方向上隔开间隔。在支撑板46的上表面设置定位突起47。
所述线状锯20的基台21的底面，高于设置该线状锯20的工厂等的地面(未图示)。如图1及图8所示，在所述线状锯20的基台21的底面，以向与加工用辊24、25的轴线方向正交的方向延伸的方式，配置作为引导部件的引导板48。在引导板48的前端形成尖细状的导入引导面48a。另外，如图1中箭头所示，在工件转移装置41的框架42向线状锯20的基台21接近移动时，滚轮45沿着引导板48的导入引导面48a而被导入，与引导板48的两侧面卡合。利用该卡合，工件转移装置41相对于线状锯20定位在加工用辊24、25的轴线方向的规定位置。另外，通过定位突起47与引导板48的前端卡合，将工件转移装置41定位在与加工用辊24、25的轴线方向正交的方向的规定位置上。利用所述滚轮45、定位突起47、及引导板48，构成用于将工件转移装置41定位在所述工件支撑部件35上的定位单元。 如图1及图8至图10所示，在所述框架42的纵框部42a的内侧面，可升降地支撑升降体49。另外，通过使升降用把手50旋转，经由由未图示的链轮及链条等组成的升降机构，使升降体49上升或者下降。升降体49支撑箱型的移动体51，使其可以在水平面内向与框架42的臂部42b的延伸方向正交的方向移动。另外，通过使移动用把手52旋转，经由由未图示的滚珠丝杆等组成的移动机构，使移动体51向所述方向移动。 如图8及图11至图12所示，在所述移动体51的两侧内面，在与移动体51的移动方向正交的方向上延伸配置导轨53。在移动体51内，在两个导轨53之间支撑支撑体54，使其可以经由多个滚轮55向与移动体51的移动方向正交的方向移动。在支撑体54上，固定用于对该支撑体54进行移动操作的把手56。 如图8至图11及图13所示，在所述移动体51的一侧上面，在支撑体54的移动方向上隔开间隔而配置具有定位孔57a的一对定位板57。在支撑体54的一侧安装固定板58，该固定板58具有可以选择其一地与两个定位板57的定位孔57a相重合的插入孔58a。另外，在支撑体54移动至图8至图10及图12所示的外侧位置(接近线状锯20的工件W的位置)的状态、以及支撑体54如图12中点划线所示移动至接近升降体49的内侧位置(从线状锯20的工件W离开的位置)的状态下，通过将定位销59从插入孔58a插入到一侧的定位孔57a中，从而将支撑体54定位固定在外侧位置或者内侧位置上。由所述定位板57、固定板58及定位销59构成固定单元。 如图l及图8至图12所示，在所述支撑体54的上表面前缘处，突出设置可以与工件W上的被保持体33的第2卡合部34c卡合的多个引导部件60。这些引导部件60朝向前端缘而以尖细状形成。另外，如图8、图IO及图12所示，在各引导部件60与被保持体33的第2卡合部34c卡合的状态下，在支撑体54的前部以吊起的状态支撑工件W。
如图10及图12所示，在所述支撑体54的前面配置多个橡胶衬垫61。另外，在引导部件60插入到被保持体33的第2卡合部34c内时，这些橡胶衬垫61施加缓冲地与被保持体33抵接。 如图8、图9、图ll及图12所示，在所述移动体51的底面的开口部62上安装托盘63。另外，在引导部件60吊起加工后的工件W的状态下，在支撑体54移动至升降体49侧的内侧位置时，利用托盘63接收从工件W滴下的浆液。 下面，说明工件W相对于如上所述构成的线状锯20的安装/拆卸时的动作。
在将工件W向线状锯20的工件支撑装置28上安装的情况下，如图14所示，工件W以在其上表面经由玻璃平板31及金属平板32固定被保持体33的状态下，搭载在工件搬运用推车66上，搬送至与工件转移装置41对应的位置。在该情况下，工件转移装置41的支撑体54移动配置在图12中点划线所示的 侧位置。并且，利用升降用把手50的操作使升降体49升降，并利用移动用把手52的操作使移动体51移动，从而将支撑体54上的引导 部件60配置在与工件W上的被保持体33的第2卡合部34c相对应的位置。
在该状态下，如果通过操作把手56的操作，将支撑体54从图12中点划线所示的 内侧位置移动至实线所示的外侧位置，则引导部件60插入到工件W上的被保持体33的第 2卡合部34c内。然后，通过使升降体49上升，以在支撑体54的前部吊起的状态支撑工件 W。另外，通过支撑体54从外侧位置向内侧位置移动，将工件W搭载在移动体51内。
另一方面，在线状锯20的工件支撑装置28中，通过各压力缸37的突出动作，如图 6所示，将保持部件36移动配置在下方位置。在该状态下，如图1中箭头所示，将搭载了工 件W的工件转移装置41移动至与所述保持部件36相对应的位置。另外，通过工件转移装 置41侧的滚轮45及定位突起74与线状锯20侧的引导板48卡合，工件转移装置41相对 于线状锯20定位在规定的工件安装/拆卸位置。 然后，工件转移装置41的升降体49根据需要进行升降，并且通过移动体51向左 右方向移动，将吊在引导部件60上的工件W上的被保持体33的第1卡合部34b，配置在与 线状锯20的工件支撑装置28中的保持部件36的导入引导部36a相对应的位置上。在该 状态下，工件转移装置41的支撑体54从内侧位置向外侧位置移动。因此，如图7中点划线 所示，工件W上的被保持体33的第1卡合部34b，从工件支撑部件35的前方侧，沿着保持部 件36的导入引导部36a向保持部件36的基端侧滑动。 另外，如图3所示，被保持体33通过与设置在工件支撑部件35的下表面的定位部 件39抵接而被定位在前后方向的规定位置，被保持体33的第1卡合部34b配置在与保持 部件36相对应的卡合位置。在该状态下，通过工件转移装置41的支撑体54从外侧位置向 内侧移动，将工件W从工件转移装置41的引导部件60转移到线状锯20的保持部件36上。
在该情况下，保持部件36配置为，通过所述滚轮45和引导板48的卡合，使被保持 体33的滑动方向成为与加工用辊24、25的轴线方向相交叉的方向。因此，如图2及图4所 示，即使在将多个工件W以并列设置在加工用辊24、25的轴线方向上的状态固定在被保持 体33上的情况下，或者工件W在加工用辊24、25的轴线方向上较长的情况下，工件W上的 被保持体33也可以相对于保持部件36不扭动而顺利地转移。 然后，如果线状锯20的工件支撑装置28中的各压力缸37进行回退动作，则如图4 所示，保持部件36向上方位置移动，与被保持体33的第1卡合部34b卡合，该被保持体33 被向工件支撑部件35的限制面35a提起。通过该提起，该被保持体33上的被限制面34a 与工件支撑部件35的限制面35a压接，将工件W以吊起的状态保持在工件支撑部件35的 限制面35a上，设置在被加工位置上。 另外，在线状锯20中，在由线材26对工件W的加工结束之后，在从工件支撑装置 28中取出加工后的工件W的情况下，只要利用工件转移装置41进行与所述工件W安装时相 反的操作即可。 本实施方式的结构具有以下效果。 (1)工件W相对于所述工件支撑部件35的保持部件36的安装/拆卸方向，与平行 于加工用辊24轴线的上下方向平面正交。并且，在所述保持部件36的前端形成用于引导 工件W向安装位置导入的导入引导部。因此，即使是将多个工件W并列设置在加工用辊24 的轴线方向上的状态下，或者，工件W在加工用辊24的轴线方向上较长的情况下，也可以相对于保持部件36简单地导入工件W，并且可以不剧烈滑动地进行安装。因此，工件W的安装 作业可以不产生扭动而容易地进行。 (2)所述工件支撑部件35具有保持部件36，其可滑动地吊起固定在工件W上表面 的被保持体33，将工件W引导至被加工位置，并且将其保持在该被加工位置上，在该保持部 件36的前端部形成所述导入引导部36a。因此，由于所述保持部件36具有工件W的保持功 能以及滑动引导功能，所以部件个数减少，可以简化结构。另外，通过所述导入引导部36a 的作用，可以顺利地向保持部件36导入工件W而不扭动。 (3)在所述工件支撑部件35上形成限制面35a，其用于限制工件W的被保持体33 的被限制面34a的位置。另外，保持部件36被压力缸37提起，所述被限制面34a相对于所 述限制面35a以限制状态压接。因此，由于将工件W定位在规定位置上，所以可以实现高精 度加工。另外，由于保持部件36的两侧的限制面35a向下方开放，所以可以容易地进行该 限制面35a的清扫。如果以在限制面35a上附着浆液的状态下将工件W支撑在工件支撑部 件35上，则工件W的位置错位，可能无法进行高精度加工，但是本实施方式可以简单地消除 上述可能发生的情况。与此相对应，例如在所述专利文献2中，由于相当于本实施方式的限 制面35a的限制面形成在L形状的支撑部的上表面、即朝上的表面处，所以难以进行该限制 面的清扫。 (4)由于设置工件转移装置41，其可以在转移位置和从该位置离开的位置之间移 动，该转移位置是将被保持体33配置在保持部件36的高度位置上，支撑工件W而使该工件 W在其与所述保持部件之间转移的位置，所以，可以容易地进行工件W相对于线状锯20的安 装/拆卸作业。 (5)在线状锯20和工件转移装置41之间设置定位单元，该定位单元由用于将工件 转移装置41相对于保持部件36定位的滚轮45和引导板48等组成。因此，在工件W向线 状锯20安装时，工件相对于保持部件36的定位容易，使工件W的安装作业更容易。
(6)在所述工件转移装置41上设置托盘63，其用于接收从吊在引导部件60上的 工件W滴下的浆液。因此，可以防止浆液污染线状锯20的周边的地面和作业者的衣服等。
(7)引导部件60在接近保持部件36的位置以及离开保持部件36的位置这两个位 置上，设置用于固定支撑引导部件60的支撑体54的定位板57、固定板58、以及定位销59。 因此，可以将工件W稳定在相对于工件支撑部件35的安装/拆卸位置以及待机位置上，从 而使工件W的安装/拆卸作业变得更加容易。
(变形例) 另外，本实施方式可以如下所述进行变形并具体化。
利用由电动机等形成的驱动机构，使工件转移装置41的升降体49和移动体51 升降或者移动。 *利用由电动机等形成的驱动机构，使工件转移装置41的支撑体54向内侧位置和 外侧位置移动。，在所述实施方式中，相对于加工用辊24使工件W升降而对工件W进行加工，但也 可以与此相反，使加工用辊24升降而对工件W进行加工。 *工件转移装置41的移动体51上的定位板57仅设置在支撑体54的前进位置侧。 即，引导部件60构成为，在接近线状锯20的工件支撑部件35的位置上固定支撑体54。
(其它的技术思想) 根据所述实施方式可以得到以下未在权利要求书中记载的技术思想。
(A) —种线状锯，其特征在于，设置保持部件，其可滑动地吊起固定在工件上表面
的被保持体，将工件引导至被加工位置，并且保持在该被加工位置，在该保持部件的前端部
设置用于向该保持部件导入工件的导入引导部。 (B)如所述技术思想(A)所述的线状锯，其特征在于，在所述保持部件的上方位 置，形成用于限制所述被保持体的位置的限制面，并且设置驱动单元，该驱动单元使所述保 持部件可以相对于所述限制面接近/离开，通过使所述保持部件向所述接近方向移动，使 被保持体相对于所述限制面以限制状态压接。 (C) —种线状锯系统，其具有工件转移装置，该工件转移装置设有工件保持部 (60)，该工件保持部(60)支撑在可移动的框架(42)上，将工件(W)保持在安装于线状锯 (20)上的安装部(33)的高度位置，该工件转移装置在其与线状锯(20)之间转移工件(W)， 其特征在于， 设置托盘(63)，其用于接收从保持在所述保持部(60)上的工件(W)滴下的浆液。
权利要求
一种线状锯，其平行地配置多根加工用辊，并且在与该加工用辊相对的位置上，设置可安装/拆卸地保持工件的保持单元，利用在所述加工用辊之间张紧设置的线材，将由该保持单元保持的工件切断，其特征在于，使工件相对于所述保持单元的安装/拆卸方向，为与平行于所述加工用辊轴线的上下方向平面相交叉的方向，并且在该保持单元上，设置用于引导工件向安装位置导入的导入引导部。
2. 如权利要求l所述的线状锯，其特征在于，使工件相对于所述保持单元的安装/拆卸方向，为与平行于所述加工用辊轴线的上下 方向平面正交的方向。
3. 如权利要求l所述的线状锯，其特征在于，所述保持单元具有保持部件，其将固定在工件上表面的被保持体可滑动地吊起，从而 将工件向被加工位置引导，并且将其保持在该被加工位置，在该保持部件的前端部设置所 述导入引导部。
4. 如权利要求3所述的线状锯，其特征在于，在所述保持单元上形成用于限制所述被保持体的位置的限制面，并且设有驱动单元， 其使所述保持部件可以相对于所述限制面接近/分离，使所述保持部件向所述接近方向移 动，而使所述被保持体相对于所述限制面以限制状态压接。
5. —种线状锯系统，其特征在于，由下述装置构成 权利要求3或4所述的线状锯；以及工件转移装置，其可以在转移位置、和从该位置离开的位置之间移动，该转移位置是将 所述被保持体配置在所述保持部件的高度位置上，支撑该工件以使该工件可以在工件转移 装置与所述保持部件之间转移的位置。
6. 如权利要求5所述的线状锯系统，其特征在于，在线状锯和工件转移装置之间设置定位单元，其使工件转移装置相对于所述保持部件 进行定位。
7. 如权利要求5所述的线状锯系统，其特征在于，所述工件转移装置具有引导部件，其用于可滑动地吊起固定在工件上表面的被保持 体，并且向线状锯的保持部件的前端引导工件。
8. 如权利要求7所述的线状锯系统，其特征在于，所述工件转移装置具有托盘，其用于接收从吊在所述引导部件上的工件滴下的浆液。
9. 如权利要求7或8所述的线状锯系统，其特征在于，设有固定单元，其支撑在框架上，使所述引导部件可以在向所述保持部件靠近的位置、 和离开保持部件的位置之间移动，并且至少在所述离开位置将引导部件固定。
全文摘要
本发明涉及一种线状锯及线状锯系统，其可以相对于保持部件安装/拆卸工件上的被保持体，而不会剧烈地滑动，从而可以容易地进行安装/拆卸作业。设置多根缠绕了工件切断用的线材(26)的加工用辊(24、25)。设置可滑动地吊起固定在工件W的上表面的被保持体(33)的保持部件(34)，利用该保持部件(34)，将被保持体(33)向工件支撑部件(35)的限制面提起，保持在该限制面上。将保持部件(34)配置为，使被保持体(33)的滑动方向是与加工用辊(24、25)的轴线方向相交叉的方向。在保持部件(34)的前端部设置用于向保持部件(34)的基端侧引导被保持体(33)的导入引导部(36a)。
文档编号H01L21/304GK101774149SQ20091024957
公开日2010年7月14日 申请日期2009年12月25日 优先权日2008年12月25日
发明者具志坚仁, 小林茂雄 申请人:小松Ntc株式会社