往返于输送机系统的直接装载的制作方法

专利名称：往返于输送机系统的直接装载的制作方法
往返于输送机系统的直接装载
背景技术：
存在有几种使半导体晶片容器在半导体制造设备(“工厂”)中输送的方式。用于 输送容器的系统通常指的是自动物料输送系统(AMHS)或者简称为物料输送系统。物料输 送系统可以指整个系统的一部分或全部。工厂可以在整个工厂中仅使用一种类型的AMHS， 或者可以在某些区域具有不同类型的AMHS，或者具有用于不同的输送功能的不同类型的 AMHS0当容器被输送时，这些AMHS类型中的一些使用车辆来保持该容器，例如有轨小车 (RGV)或者自导引车(AGV)。使用RGV或者AGV的物料输送系统需要管理空车以安排它们 到达要拾取容器的位置。等候这些车的到达导致AMHS延迟并且车辆运动管理增加了 AMHS 的复杂性。当利用吊运输送(OHT)系统移动容器时也存在同样的问题。输送机系统在工厂内移动容器方面比较有效，而不具有任何或者最少量的车辆延 迟并且不用必须管理空车。输送机直接地移动容器而没有出现在输送机表面和容器表面之 间的任何物料或机械干预。除非输送机是满负荷，否则其能够立即接收容器以便输送。出 于这些以及其它原因，输送机可以提供非常高产量的AMHS。在发明名称为“集成式滚子输送吊舱和不同步输送机”的美国专利No. 6，223，886 中公开了输送机系统的一个示例，该美国专利由Asyst Technologies Inc.公司所有并且 被全部结合在此。驱动导轨12包括驱动系统(在图IA中总体由附图标记38表示)，用于 沿着导轨12推动容器。驱动系统38包括多个分开的驱动组件40。对于指定的区域Z，每 个驱动组件40包括多个驱动轮42，该驱动轮42摩擦地接合容器2的下侧，以沿着驱动导 轨12推动容器2。如在图IA中所示，驱动组件40沿着导轨定位成使得在相邻驱动组件40 的最外侧驱动轮42之间的分开距离基本上等于单个驱动组件40的驱动轮42之间的间隔。 驱动轮42从驱动导轨外壳向上突起成使得导轨12的驱动轮42直接支承输送容器2。轮 42优选地安装在大约相同的高度处，以当容器2沿着导轨12运动时，将容器2的翻倒或摆 动减少到最小。在本领域中还已知在每个驱动轮42之间单独地安装被动轮43 (如图IA中 所示)。虽然各种类型的输送机系统已经提供了物体的运动，但是在输送机系统和其它设 备之间的交接仍需要改进效率。在美国专利No. 6，481，558中示出了输送机交接的示例，尽 管这种交接也能良好地工作，但是，其可能导致在与输送机交接期间FOUP的等待。该美国 专利通过参引被结合在此。在这种背景下提出了现根据本发明的实施方式。

发明内容
提供了一种用于直接装载系统和输送机的发明。如此处使用的，直接装载指的是 将物料从输送机系统直接装载到基本上邻近输送机定位的工具。在一个实施方式中，通过 装载端口模块执行该装载。装载端口模块可以是单个装载端口模块或者是多装载端口系统 的一部分。在任一构造中，装载端口模块被构造具有臂，该臂保持支承件。在进一步的实施 方式中，臂是单臂。沿着装载端口的竖直定向设置轨道，其允许单臂竖直地上下运动。当臂向下运动时，臂在输送机系统的方向上运动。输送机系统可以安装在制造设备的地板上，或 者在地板上方的平台上，或者是构造在地板中的部分中。臂被构造用于使由臂保持的支承件向下运动并且进入输送机系统的空间内。该 空间被限定在由输送机区段的两个横梁之间。在一个实施方式中，两个或更多个输送机区 段形成输送机。因此利用单臂的装载端口可以将支承件下降到输送机内，并且在输送路径 (由输送机的带限定)下方的位置处，并且当在输送机上行进的物料到达装载端口的位置 时(如果那个物料去往特定的那个装载端口)，输送机可以提升物料到装载端口的上部位 置。在上部位置，装载端口向一位置提供物料，该位置允许与装载端口提供服务(例如，提 供物料)的工具交接。在一个具体实施方式
中，装载端口被构造用于降低到在装载端口旁 边(例如，邻近装载端口的下部区域)布置的输送机内，并且输送机将容器(例如，F0UP) 移动到装载端口位置。单臂随后可以升高支承件并且提升容器离开输送机到上部位置。应 该理解，如果容器不是去往(即，被指派给)特定的装载端口，则输送机将不会使容器停止 在装载端口前面，并且装载端口的支承件(如果处于下部位置)将不会阻碍、阻挡、防止或 者干涉容器沿输送机的传送。如果装载端口已经使容器升高离开输送机，则处于上部位置 的容器也将允许在输送机(其在装载端口旁边)上行进的其它容器无阻碍地运动。因此， 上部位置要充分地高，使得即使在装载端口已经直接装载容器离开输送机并且到上部位置 时，在输送机上的容器也能行进。如此处使用的，提供关于移动容器的讨论。在一个实施方式中，公开了一种直接装载工具。该工具包括输送机，所述输送机沿 一方向定向，所述输送机接近第一位置集成，所述输送机包括第一横梁和第二横梁，并且 所述第一横梁和所述第二横梁中的每一个支承轮，所述轮分别使第一带和第二带运动。所 述第一横梁和所述第二横梁以平行定向间隔开，并且所述第一横梁包括单槽。装载端口邻 近所述输送机的所述第一横梁定向，所述装载端口包括装载端口开口，所述装载端口开口 接近第二位置限定；以及轨道，所述轨道在所述输送机的所述第一位置和所述第二位置之 间沿竖直方向限定。单臂被构造用于在所述第一位置和所述第二位置之间沿所述轨道运 动，从而使得所述单臂被构造用于当所述单臂定位在所述第一位置时运动通过所述单槽。 支承件连接到所述单臂上，所述支承件沿所述竖直方向运动，以当所述单臂在所述第一位 置处于所述单槽中时将所述支承件放置在所述第一横梁和所述第二横梁之间。在另一实施方式中，所述输送机设有装载端口交接区段。所述装载端口交接区段 包括至少两个横梁区段。所述横梁区段的一侧是连续的并且另一横梁区段是不连续的。总 体而言，不连续的横梁区段位于装载端口的一侧上。槽限定在不连续的横梁区段中。该槽 被构造用于允许装载端口的单臂下降到槽内，并且由此允许装载端口的支承件放置在装载 端口交接区段的两个横梁区段之间。在没有定位装载端口的部分中，也不设置槽，并且输送 机区段的两个横梁是相同的。下面参照附图提供较具体的细节。关于输送机，在输送机区段的横梁上使用卡盘模块。尽管输送机由多个区段限定， 但是，可以设想使用更长的横梁，同时仍使用沿着较长横梁的多输送机卡盘。如果使用较长 的横梁，在装载端口的位置处在横梁中上限定槽。如上所述，所述槽设置用于能够使装载端 口的臂将支承件下降到输送机路径平面下方。如果装载端口要提升容器，则单臂向上运动 并提升容器到上部位置。在一个实施方式中，卡盘包括多个轮，它们被设计为用于输送机部分的单元，并且卡盘的轮被设计用于保持带。在其它实施方式中，轮不需要作为卡盘的部分，而是可以被单 独地增加以对带提供必须的支承。在一个可选的实施方式中，输送机部分包括集成的传感 器，用于检测容器(例如，F0UP)的存在。每个输送机部分可以实施为精确的金属板导轨， 其利于高速输送F0UP。在一个实施方式中，每个输送机部分具有两侧。每侧都具有卡盘，所 述卡盘具有带。在特定实施方式中，输送机部分的一侧包括驱动输送机的驱动马达。在其 它实施方式中，两侧都可以具有它们自己的马达，因此取消了对于驱动轴的需要。当设置驱动轴时，使用快速连接-断开式驱动轴将驱动连接到输送机部分的另一 侧上。在一个实施方式中，驱动轴为输送机部分的两条带中的每一个提供基本恒定的速度。 在特定实施方式中，由于输送机部分的灵活模块性，可拆卸特定的部分，而不用必须打扰未 被移除的或者提供服务的邻近部分。在一些情形下，需要移除以提供服务或者进行调节。用 于在半导体工厂中处理物料的输送机系统需要高的可靠性，并且同时能快速接触以便在出 现失效和/或维护的情形下进行修理。为解决两个问题，输送机系统的实施方式提供直的 部分，该部分已经被减少到基本的部件。这些部件的示例包括支承结构、具有集成的传感器 的驱动系统、用于保持滚轮的模块卡盘，该滚轮支承并且驱动带。支承结构可以是但不限于 金属构架(例如，金属导板)，目的在于提供结构支承和卡盘模块的精确定位。在一个实施 方式中，卡盘系统包括吊舱定位传感器、带有惰轮的驱动系统、带有机载诊断显示器的互连 板以及带调节器。在一个可选择的实施方式中，可以取消带并且作为替代可以使用滚子。在图IA中 示出滚子的示例。因此，虽然图IA示出现有技术的构造，该构造不允许支承件通过单臂306 进行嵌套，但是图IA的滚子可被用于替代带结构。如果使用滚子，由滚子提供的输送水平 面应该在运动板304的水平面上方。因此，即使代替带以限定第二实施方式，此处限定的所 有实施方式也都工作良好。有利的是提供了直接装载和输送机系统，其改善了传统的物料输送性能，减少了 AMHS的成本，并且提供了多动力配置。


从下面结合附图的详细说明将更容易理解本发明。为使该说明容易，相似的附图 标记表示相似的结构部件。图IA示意出现有技术的输送机系统。图IB示意出邻近装载端口和处理工具定位的输送机部分。图2示意出根据本发明的一个实施方式的利用输送机的带沿一方向移动FOUP的 输送机。图3示意出根据本发明的一个实施方式的用于移动带的卡盘模块的较详细视图。图3A-;3K示意出根据本发明的一个实施方式的各种类型的带构造。图4示意出根据本发明的一个实施方式的限定在输送机区段中的槽的示例。图5A-5D示意出根据本发明的一个实施方式的与输送机交接的装载端口的示例。图6示意出根据本发明的一个实施方式的以嵌套定向下降到输送机内的装载端 口臂的较详细视图。图7A-7B示意出根据本发明的一个实施方式的多装载端口系统的示例。
图8A-8D示意出根据本发明的一个实施方式的在输送机和装载端口之间交换的 直接装载之间的交接的示例。
具体实施例方式广义地说，本发明限定了直接装载和输送机系统。该系统允许容器直接装载到输 送机上以及直接从输送机上卸载。输送机邻近装载系统定位。在一个实施方式中，装载系 统是装载端口。该装载端口被构造具有单臂，所述单臂被构造用于使支承件沿竖直方向上 下运动。该单臂被构造用于向下运动，然后嵌套在输送机的横梁之间，从而仍允许容器沿着 输送机无阻碍地行进。输送机的横梁被构造成包括邻近装载端口的槽，从而装载端口的单 臂可以装配在其内，并且可以将支承件降低到输送机内的嵌套位置内。如果容器被分配给 装载端口，则单臂可以将支承件升起并且接合容器。然后容器可以向上运动并且离开输送 机。在上部位置，容器可以形成为与装载端口的门面接。装载端口的门然后可以接合容器 的容器门，移去容器门，然后允许机器人将物料移入到容器中或者移出容器。此处描述的卡盘模块提供快速的服务性能以及离线试验/校正。在马达、带或者 惰轮失效的情况下，小的部分可以作为单元被更换并且被离线修理。卡盘模块可以用不同 的部件组装以使其成为驱动器或者从动单元。这些实施方式的比例不限于半导体晶片吊舱(FOUP)，而是其可以按比例调整以处 理大的平板显示器盒、太阳能电池板或PCB组件输送机系统。在该申请中描述的卡盘概念 可以利用多种材料和制造方法制成以进一步地集成部件并且增加其模块性特征。带有集成系统的直接驱动模块带输送机卡盘包括直接驱动系统，该直接驱动系统 利用多个惰轮将马达联接到驱动滑轮上。在一个实施方式中，通过弹簧加载轴推压在惰轮 上来提供带张力。惰轮又提供必须的带张力。经由将驱动部分连接到从动卡盘上的驱动轴 来对随动卡盘提供动力。驱动轴设计成使得在两个部分之间存在减小的后冲情况。如所述， 驱动轴的一个实施方式是它的有意的快速断开设计，用于快速移去和安装。又与一个实施 方式相符，霍尔传感器可以安装在两个卡盘上的相对的惰轮上，以检测带是否已经失效。用 于监测吊舱位置的传感器可以安装在卡盘上并且连接到小电路板上。电路板可以使用LED 灯以向操作者提供检测状态。在一个实施方式中，电路板可以位于驱动卡盘上。图IB示出了根据本发明的一个实施方式的处理区域100的示例性视图。处理区 域100例如可以是制造设备、无尘空间等等。处理区域100可以包括输送机102，输送机102 由多个输送机区段104构成。输送机102被设计用于地板安装，虽然组成部件同样适用于 挂顶式输送机系统。输送机102可以被构造用于将物料输送到工具112和工具108，以及从 工具112和工具108输送物料。在一个实施方式中，半导体衬底在前开式统一吊舱(FOUP) (未示出)中沿着输送机102被输送。沿着输送机102行进的FOUP可以被装载到装载端口 106内或装载端口 110内，并且可以分别在工具108或工具112内处理半导体衬底。该图提供用于容易地图示，但是该图不用于示出装载端口与输送机102的关系。 在下面提供的详细示例中，将示出装载端口实际上紧靠输送机102定位，输送机102位于装 载端口的下面及旁侧。图8A-8D示出了这种定向。该紧密相邻的构造将允许容器直接从输 送机102到装载端口和工具的有效直接装载。在更充分规模的实施中，输送机可以在制造设备的整个地板上确定路线。制造设备可以集成在单层地板建筑物中或者在较大建筑物的多个地板上。在生产中，输送机系统 可以伸展许多米并且甚至是英里。在设备中的工具数量可以是一个工具或者是数以千计的 工具。在一个实施方式中，工具108和工具112可以是在半导体衬底的处理中使用的机 械。工具108和工具112可以是相同的工具或者是执行相似功能或不同功能的完全不同的 工具。这些制造功能可以包括，例如，蚀刻、沉积、光刻、净化、计量等等。在图IB中示意出 的实施方式中，每个工具108/112具有三个装载端口 106/110。这仅仅是示意性的一个实施 方式，在其它实施方式中，更多或更少的装载端口可以与每一个相应的工具相关联。在一个实施方式中，输送机区段104是模块化组件，该模块化组件允许输送机102 的快速服务和维护。为便于快速服务和维护，每一个输送机区段104可以包括带模块或带 卡盘，它们能被快速地移除或更换，以使输送机102的停工时间最小。每个输送机区段104 也可以包括马达，以连同用于致动马达或使马达不致动的计算机控制器一起驱动带模块。 在一个实施方式中，用于输送机区段104的计算机控制器可以利用总线系统被联网，以提 供动力和在单个的输送机区段之间的通信。利用网络114可以执行向输送机102通信，该 网络114允许计算机118监测并控制单个的输送机区段104。图2是根据本发明一个实施方式的处理区域100的示例性视图。在该示例性实施 方式中，四个输送机区段104构成输送机102。为了延长输送机102的长度，可以增加更多 的输送机区段。允许输送机区段转向的指挥器部分(未示出)可以被用于使输送机转动方 向或者将容器从一个输送机102移动到另一个。在示意出的示例中，F0UP206被示出在输 送机102上，该F0UP206能够在输送机102内沿着卡盘模块204的带运动。在一个实施方 式中，驱动马达向输送机区段104—侧的带提供运动，并且驱动轴202被用于将运动传递到 输送机区段104另一侧的带。图3示意出了根据本发明一个实施方式的输送机区段104的详细示视，从而图示 出了卡盘模块204的方面。卡盘模块204被示出附连到导轨的形成输送机区段104的部分 上。输送机区段104也包括定位传感器201，该定位传感器201遍布输送机102放置，以确 定什么时候F0UP206在定位传感器201的区域中行进。定位传感器201将由此通知不同的 输送机区段104F0UP206正沿一方向行进，并且在F0UP204的当前位置下游的输送机区段 104可以致动，以基本当前的速度沿输送机102传递F0UP206。在其它实施方式中，取决于 F0UP206是否要停止在本地装载端口区域，或者F0UP206是否用于沿输送机102的较远的位 置，不同输送机区段104的速度可以被调节。示意出的卡盘模块204的具体细节包括多个惰轮228，所述多个惰轮2 布置在驱 动滑轮2 和滑轮227之间。惰轮2 对带205提供支承，用于FOUP在带205上行进。驱 动滑轮2 被示出作为连接到直接驱动马达220上的从动轮。直接驱动马达220由此将使 驱动滑轮2 转动并且导致带205围绕滑轮227旋转，并且也引起惰轮228的运动。在其 它实施方式中，惰轮2 可以不运动并且可以是被动轮，但是当在带205上输送的物体的重 量或接触将重量或接触传递在带205上时，其可以引起惰轮2 转动。驱动滑轮2 也被示出连接到驱动轴202上。卡盘204也与驱动轴202相对地定 位，以提供基本上平行于示出的卡盘模块204的带205的带205。由此当物体经过各个输送 机区段104时，两条平行的带将允许物体沿着输送机102输送。在一个实施方式中，与示出的卡盘模块204相对的卡盘模块204(未示出)可以不包括直接驱动马达220。在此情况 下，直接驱动马达220将起作用以经由驱动轴202驱动相对的卡盘模块204。在另一实施方 式中，可以省略驱动轴202，由此允许独立驱动马达220驱动输送机导轨的每一侧的带205。因此，卡盘模块204可以被安装，并且通过从壁或者横梁上简单地移除卡盘板204 可以从输送机横梁区段10 上移除卡盘模块204。当移除卡盘模块204时，所有的部件连 接到卡盘板M2。这样，可以快速且迅速地从输送机的部分——在部分的一侧或两侧上移除 卡盘模块204。如所述，对于利用非常少的停机时间维护、修理卡盘模块204或者安装新卡 盘模块204来说必须移除卡盘模块204。另外，如果正在移除或更换特定卡盘模块204，可 以在特定区段正处于维护或者正被快速更换的同时，继续操作使用输送机系统的其余卡盘 模块。如示意出的，卡盘模块204(和输送机区段104)然后可以被再反复地重复用于输 送机系统的不同部分，并且当连接到输送机系统的横梁或者与输送机系统的横梁断开时， 卡盘模块中的每一个能够作为单元以高效方式被安装及移除。取决于卡盘模块204的操作 或者配置，卡盘模块204也可以具有任意数量的长度。取决于卡盘模块的应用，一个示例的 长度可以是大约0. 25米，大约0. 5米，大约0. 75米，大约1. 0米，大约1. 5米，大约2米等等。图3A示意出一示例，其中，设置输送机横梁350a和350b以接收卡盘模块204，卡 盘模块204支承轮并且又支承带205。然后带205可以顺着卡盘模块204的轮旋转以沿着输 送机102使F0UP206运动。提供图到3H以示意出带205的示例。带205设有凸起的导 向部四0，以当在相对侧的两条带205转动以沿着输送机102输送F0UP206时，维持F0UP206 在输送机102内。图:3B的示意图示出具有带205-1的轮和凸起的导向部四0-1。凸起的 导向部290-1被构造在轮A的外缘处。轮A在图3A中被示出为左轮，并且轮B被示出为右 轮。沿着输送机的左、右侧，单条环形带205环绕轮A以及环绕轮B以支承F0UP206。 在图;3B到3H中示意出的带205因此都是关于轮A的，并且FOUP将位于在图中示意出的 左缘的右向。在图3C中，带具有凸起的导向部四0-2，使得凸起部离开边缘以限定带205-2。 凸起的导向部290-3被示意出用于图3D的带205-3。在图3E中，凸起的导向部290-4被示 意出用于带205-4。在图3F中，凸起的导向部四0-5被示意出用于带205-5。图3F具有另 一特征，其中，带205-5的部分凹入轮A的槽内。在图3G中，两个槽限定在轮A中，从而使 得带205-6在轮A内可以装配并且被引导(带有减少的滑移)以及被支承。图3H示意出 另一实施方式，其中，在轮A中设置有多个导向部，并且带205-7与导向部紧密配合，以维持 带205-7在轮A上。图3H的导向部290-7被示出定位在带205-7的表面上的另一位置处。图31-1和31-2示意出根据本发明一个实施方式的带205_8的实施方式。例如，带 205-8具有用于支承F0UP206的支承表面四8。带205-8还包括凸起的导向部四0_8。在图 31-2中示出该实施方式的截面图。图3J-1和图3J-2示意出带205-9的另一实施方式。带 205-9包括支承表面四8以及凸起的导向部205-9。在该实施方式中，支承表面298也设有 槽以将带205-9分区。凸起的导向部205-9也被分区，如图31的凸起的导向部四0-8。通 过提供分区的凸起的导向部，可以为带205增加另外的挠性，这可以延长带在操作期间的 使用寿命。在一个实施方式中，不连续的带也降低了带上的弯曲力，并且由此改善了驱动和效率。图Ι-Ι和H示意出带205-10的另一实施方式。带205-10示意出较大的凸起 的导向部四0-10以及支承表面四8的较大的分区。另外，图;3Κ-2示意出带205-10，其具有 与带表面四8的边缘间隔开的凸起的导向部四0-10。通过使凸起的导向部四0-10间隔开 一定的程度，可以对凸起的导向部四0-10增加另外的稳定性，并且增加在其沿着输送机系 统的使用期间的寿命。图4示意出输送机102和输送机区段104的更详细的视图。在该示例中，设置有 装载端口交接区段103，其被设计用于与装载端口模块面接。装载端口(未示出)被设计成 基本上邻近输送机102放置。如将示出的，输送机横梁中的槽107限定子区段10 和子区 段104b，并且为直接装载系统的臂提供路径，以使臂在子区段之间通过。当装载端口系统的 臂横过输送机区段l(Ma/104b的槽107时，装载端口系统的臂允许支承板位于并且嵌套在 输送机102的横梁之间。装载端口系统的支承件由此被降低到在横梁之间的空间内，该横 梁限定输送机区段104。在输送机102的横梁之间的支承横梁板允许FOUP沿着输送102无阻碍地在带205 上行进。具体地，当臂被降低通过槽107以允许支承件进入输送机区段的横梁之间的空间 内时，在带205的顶部上行进的和/或位于带205的顶部上的FOUP将不受到阻碍地通过支 承件的位置，由此允许沿输送机102行进。关于槽107的功能在下面将提供较具体的细节。但是，本发明的一方面是，输送机区段104是模块化的并且每个输送机区段104均 包括它们自己的卡盘模块204，该卡盘模块204附连到横梁的构架上，该横梁限定输送机区 段104。虽然为了易于三维示意没有示出，但是卡盘模块204定位在输送机区段104的两侧， 如通过指示器示意出的。带205因此将定位在输送机区段104的两侧上，以提供F0UP206 可以在其上沿输送机102行进的表面。也示意出了驱动轴202，该驱动轴202连接相对的卡盘模块204的轮，以允许带 205以基本相同的速度驱动。通过提供驱动轴202，也可以为每个输送机区段104提供单个 驱动马达。由于驱动马达可以驱动驱动轴202，所以可以提供单个马达，该驱动轴202传递 相同的旋转到相对的卡盘模块204上，由此使带205以基本同步的速度运动。如上所述，在 可选择的实施方式中，可以在输送机区段104的每侧上包括马达，由此消除了对于驱动轴 202的需要。在装载端口交接区段103中还示意出了连接器107a。在该实施方式中，连接器 107a被构造用于使子区段10 连接到子区段104b上。连接器107a也提供U形构造以允 许装载端口的臂下落到横梁的水平面下面，该横梁限定子区段10 和子区段104b。在其它 实施方式中，提供直的连接器107a而在底部处不带有U形弯曲就足够了。在另一实施方式 中，可以完全地取消连接器107a，而由子区段10 和子区段104b的集成连接件代替。如果 连接器107a是子区段10 和子区段104b的集成连接件，槽107可以比当设置联接区段的 U形连接器时更浅。在另一实施方式中，可以通过实施为较深的子区段壁连接子区段10 和104b，由此提供在槽107中的较低的下落而不需要U形连接器。因此，应该理解，连接器 107a仅仅是连接已经设有槽107的部分的一个示例，槽107被构造在输送机102的侧壁中。如在图5A中所示，输送机102设有多个输送机区段104。输送机区段104沿着输 送机路径排列以向F0UP206提供路径，以从第一点行进到第二点。也可以使F0UP206沿着
10输送机102行进并且停止在装载端口 300处。如所示，装载端口 300是允许正在输送机102 上行进的F0UPs206直接装载到工具360上的系统。F0UP206被构造用于位于运动板304上，该运动板304由臂306保持。臂306被构 造用于在从定位在输送机路径下面的点向上朝向装载端口门302的方向上沿着轨道308行 进。装载端口门302被构造用于当FOUP被支承在运动板304上时与F0UP206的门紧密配 合。运动板304联接到或者集成到支承件303上，支承件303也连接到臂306上并且由臂 306支承。臂306可以直接联接到支承件303上或者使该支承件集成到运动板304中的部 件上。臂306将沿着轨道308行进，以将支承件303放置在横梁区段350a和350b之间。 槽107也设置在横梁区段350a中。具有槽107的输送机区段被限定为装载端口交接区段 103，如参照图4所描述的。各个输送机区段104也将包括卡盘模块204，该卡盘横块204保 持并且移动带205，以允许FOUP沿着输送机102进行输送和运动。臂306设有简单的上下运动并且在从邻近地板位置向上到装载端口门302的位置 的竖直方向，臂306被示出连接到装载端口 300的箱形开启机构/装载器-工具(BOLTS) 的标准界面301处。通过提供沿着轨道308的简单上下运动，臂306可以使支承件303和 运动板304下降到输送机102的横梁区段350a和350b之间的区域内。支承件303被构造 用于下落在横梁区段350之间以将运动板304降低到至少在带205的水平面下方的位置。 通过将运动板304降低到带205的水平面下方，可以使用输送机102输送不去往装载端口 300 的 FOUP 206。这样，仅仅因为装载端口 300具有处于下降位置的支承件303，所以沿着输送机 102行进的FOUP将不受阻碍地沿着邻近装载端口 300的系统输送。当支承件303和相关联 的运动板304处于升高的位置(当前示出的)时，沿着输送机102行进的FOUP可以继续行 进而不会受到支承件303的阻碍。因此，可以在支承件303处于在横梁区段350a和350b 之间的下降位置时或者在支承件303处于升高位置从而臂306将支承件303和运动板304 放置在升高位置(接近装载端口门302或者在装载端口门302处)时，沿着输送机102输 送 FOUP。图5B示意出了放置在下降位置的臂306，在该下降位置，运动板304在输送机102 内位于带205的水平面下方。图5C示意出通过支承件303和臂306放置在下降位置的示 例运动板304和运动销30 的较详细的图。如所示，运动销30 放置在恰好在带的水平 面下方的位置处。带位置370由此被示出与运动销位置372分开最小的分离距离374。该 最小的分离距离374使得带205或者带205上的物料的任何可能运动不会阻碍在带上行 进的F0UP。在一个实施方式中，理想的是，与放置在运动销位置372上的运动销30 的接 触不会阻碍行进的F0UP。也在图5C中示出臂306通过槽107放置时的位置。在美国专利 No. 6，435，330中示出了运动销的多个示例，该美国专利通过参引结合在此处。在一个可选择的实施方式中，可以取消带，并且作为替代可以使用滚子。滚子的示 例在图IA中示出。由此，虽然图IA示出了现有技术的构造，S卩，该构造不允许支承件通过 单臂306进行嵌套，但是图IA的滚子(例如，输送轮)可以被用于替代带结构。如果使用 滚子，由滚子提供的输送水平面应该在运动板304的水平面上方。因此，即使带被更换以形 成第二实施方式，此处限定的所有实施方式也工作良好。在美国专利No. 6，435，330中提供了另外的滚子输送机示例(例如，具有输送轮)，该美国专利通过参引结合在此处。另外，在 美国专利申请No. 11/484，218 (ASTGP135)中也示出了并且使用了滚子，该美国专利申请通 过参引结合在此处，作为带实施方式的替代。因此，根据本发明的一个实施方式，通过在单个轨道308上行进的单臂306使运动 板304下降，该单个轨道308是装载端口 300的一部分。如进一步示意出的，单臂306在支 承件303的一个点处连接到支承件303上。臂306与支承件303的连接使得当运动板304 接收F0UP206时并且使F0UP206在装载端口门302和图5C中示意出的下部位置之间降低 或升高时，充足的重量可以以稳定并且精确的运动降低和升高。在一个实施方式中，轨道308可以实施为单个滑动机构。例如，该单个滑动机构可 以包括单直线式支座，以当臂306上下滑动时对臂306提供平滑的支承。在一个实施方式 中，该单直线式支座使用利用了球元件的旋转运动的线性运动机构。在一些实施方式中，支座可以是球支座。球支座的目的是减少旋转摩擦以及支承 径向和轴向负荷。通地使用至少两个滚道包含球并且通过球传递负荷可以实现该目的。通 常，滚道中的一个被保持固定。当支座的滚道中的一个旋转时，其导致球也旋转。由于球滚 动，所以它们具有比两个平坦表面在彼此上转动的情况低很多的摩擦系数。在一个实施方式中，出于许多原因，提供单臂非常有益，并且克服了许多问题。例 如，通过在装载端口中仅提供一个槽及臂，可以减少运动部件的数量。也可以降低在干净的 环境中微粒产生的潜在可以能性。此外，可以减少在输送机区段107中的槽107的数量。通 过仅提供一个槽107，可以进行较简单的设计，由此允许支承件303以被嵌套的定向比较简 单地下降。因此，设计简单、易于集成以及无尘空间的相容性克服了许多比较复杂的装载端 口设计所面临的问题。在图5D中示意出的上部位置，被升高并且处于邻近装载端口门302的位置的FOUP 206不会碰撞在带205上沿输送机102行进的F0UP206，。如示意出的，横梁区段350b和横 梁区段350a被构造用于接收卡盘模块204，使得当一个FOUP 206处于上部位置时，带205 可以使F0UP206，沿输送机102运动。图5D也示意出了臂306和支承件303可以具有水平运动392以及竖直运动391， 该竖直运动391使臂306运动通过轨道308。水平运动392可以被用于将FOUP放置在更邻 近装载端口门以允许交接。在其它实施方式中，可以只设置竖直运动391。图6较详细地示意出根据本发明一个实施方式的装载端口交接区段103。如所示， 槽107限定在输送机区段10 和104b内。在装载端口交接区段103内，提供第一驱动轴 202-1和第二驱动轴202-2以允许在横梁区段350a和横梁区段350b所在的两侧上的带205 旋转。由此，带205以基本彼此平行的定向设置在每个横梁区段上，以允许带205在制造设 备的不同位置之间输送FOUP 206。在一个实施方式中，马达220被构造用于驱动装载端口 交接区段103。马达220被构造在输送机102的横梁区段350b侧上。马达220由此使带沿 着带路径205’转动以使轮227运动。轮227的旋转则使驱动轴202-2沿着与A侧上的带 路径205’相同的方向转动。驱动轴202-2又将使B侧上的轮227转动。转动轮227由此 将使带205在B侧的带路径205’上转动。另外，A侧的马达220也将导致驱动轴202-1转 动以使在横梁区段350a侧上的轮227，运动。在另一实施方式中，参照图6，可以将马达220连接到具有驱动轴202-2的端部上。如果这样连接，则可以取消驱动轴202-1。通过这样做，轮227’将不被驱动，但是可以选择 驱动轮227’和轮230。也示出了在子区段104b上的被动轮320，其与轮227’对齐。在一个实施方式中， 轮320是被动轮(例如，不被驱动)。在其它实施方式中，如果需要，轮320可以被驱动或 者连接到带上。例如，带可以恰好围绕两个轮320设置，或者围绕两个轮320和327设置， 以提供由三个轮限定的带路径。在其它实施方式中，在轮320和327’中的每一个上均不设 置带，相反地，所述轮设有允许FOUP在其上行进的简单表面。当在子区段104b中不设置带 时，轮的表面可以是与由带205提供的表面相类似的橡胶处理的表面。在该实施方式中，轨道308被示出邻近并且基本上对准槽107，以允许臂306在槽 107内滑动并且在两个横梁区段350a和350b之间降低运动板304和支承件303。如上参照 图5A到5D所示，下降位置允许沿着输送机102行进的FOUP不受运动板304或运动销30 阻碍地行进。仍参照图6，注意，在该实施方式中，装载端口交接区段103不同于其中没有设置 装载端口交接的输送机区段104。当在特定的输送机区段104中没有设置装载端口交接时， 槽107不限定在输送机区段内。如果输送机区段不是装载端口交接区接段103，则输送机在 输送机区段104的每侧上设有卡盘模块以及单个驱动轴202。单个驱动轴202被构造用于 驱动不包括马达的相对侧。但是，如上所述，可以提供没有驱动轴202与输送机区段104集 成的系统，并且为每个卡盘模块204设置单独的马达以驱动相应的带205。如果使用单独的 马达并且不使用驱动轴202，则能够通过适当的程序使马达同步，该程序连接输送机带的电 子装置，以监测速度、致动和相关的运动。在该比较具体的图示中，卡盘模块204中的每一个也均设有盖204’。盖204’用于 封装各个轮，所述各个轮支承在每个卡盘模块204中的带205。而且，注意卡盘模块204 (如 在图3中较详细示出的)可以沿着路径包括或多或少的惰轮228，所述惰轮2 支承带205。 惰轮的数量将取决于具体的构造、预期的FOUP的等待(装载以及卸载晶片)、或者被输送的 物料的类型。虽然参照半导体晶片描述了特定的示例，但是，应该理解，物料的类型可以改变并 且除半导体晶片之外的物料可以沿着输送机102被输送。输送机102由此将提供输送机系 统，用于以下述方式移动可以安置在带205之上的物料，S卩，在制造设备内将所述物料从一 位置移动到另一位置。如上所述，在一些实施方式中，带205可以包括凸起的导向部，该凸 起的导向部将保证在带205的顶部上放置的物料将支承以及维持在带中的每一条的凸起 的导向部之间。在其它实施方式中，可以设想带205的表面可以采用各种构造，并且可以具 有任一连续的表面、肋形面、不连续的表面等等。另外，带205的凸起的导向部也可以是任 一连续的、不连续的、带槽的、间断的槽间隙、柱、壁(连续的或者分开的)、胎面或者任何其 它构造，只要凸起的导向部用于维持在带205之间排列的物体(例如，容器)。图7A示意出根据本发明一个实施方式的多装载端口系统400，其具有四个装载端 口单元300’装载端口 300’类似于如在图5A中示意出的单个装载端口 300，除了装载端口 单元300’的上部部分与外壳402集成之外。外壳402允许装载端口单元300’的比较集成 的控制，以在放置高产量工具的某一位置处理更多的物料。外壳402被示出具有多个装载 端口开口 406。虽然未示出，但装载端口开口 406将包括装载端口门，该装载端口门当前处
13于外壳402内的下部位置。外壳402也将包括端部效应器，用于传送物料(例如，往返于装载到装载端口单元 300’中的每一个上的容器的半导体晶片)。在该示例中，外壳402也将包括过滤器403，其 置于外壳402的上部部分上。在一个实施方式中，过滤器403可以是HEPA(高效空气)过 滤器，其保证注入到外壳402的空气流是干净的，并且去除了微粒。上述过滤器403是容纳 多个扇风机410的壳体404。扇风机410通过在壳体404上简化的圆圈示出，表示空气流入 壳体404、通过过滤器403以及进入外壳402的路径。外壳402也包括接触板开口 408，该接触板开口 408被示出不具有门。所述门通 常在操作期间附连到接触板开口 408上，但其提供了用于向多装载端口系统400提供维护 的路线。在该实施中，输送机102包括多个输送机区段104。位于装载端口单元300’中的 每一个的前面的输送机区段104也是装载端口交接区段103。通过被构造为装载端口区段 103，装载端口区段中的每一个也将包括接近装载端口单元300’中的每一个的槽107。如 上所述，当臂306向下滑动通过轨道308并且进入槽107内时，槽107提供用于臂306的通 道。图7B示意出在下部位置的装载端口单元308，所述装载端口单元308具有在输送 机区段104的横梁之间的嵌套位置的支承件303和运动板304。当装载端口单元300’具有 在下部位置的支承件和运动板304时，运动板304不会干涉由输送机102的带205提供的 路径。在一个实施方式中，理想的是，运动板304和运动销30 不阻碍在带205上滚动的 容器。在该示例中，多装载端口系统400包括四个装载端口单元300’，但是，取决于通过 由多装载端口系统400服务的来往于工具的装载和卸载容器(例如，半导体晶片)的需要， 更多或更少的装载端口单元可以成群地作为多装载端口系统400的部分。另外，应该注意， 装载端口单元300 ’中的每一个能够单独地操作，不需要都一起向上运动或一起向下运动。 在另一实施方式中，它们能够一起上下运动。总体上，装载端口单元300，中的每一个能够独 立地操作，以允许支承件303和运动板304在上下位置彼此独立地运动，以将容器放置在上 部位置，以进给半导体晶片通过外壳402的装载端口开口 406进入容器或者离开容器。更 进一步地，应该注意，装载端口单元300’也可以被用于直接地将容器从输送机102装载到 存放设备内。存放设备可以包括专门的外壳，该外壳沿着制造设备将容器存放在不同的位 置，以在其它制造设备繁忙的同时允许物料的临时排队等候。这样，具有从输送机102直接 装载能力的装载端口单元300’可以灵活地与不同类型的外壳集成，所述外壳提供装载端口 能力或完成容器到存放装置系统内的传递。图8A示意出根据本发明一个实施方式的装载端口 300的截面图。装载端口 300 集成在输送机102的旁边。在该示例中，输送机102包括横梁区段350a和350b，横梁区段 350a和350b保持卡盘模块204。卡盘204又保持带205，带205允许FOUP 206沿着输送机 102输送。当臂306处于下部位置时，支承件303和运动板304放置在输送FOUP 206的平 面的下方。臂306以虚线示出，该虚线示意出支承件303已经下落在带205的水平面下方。 如上所示，图5C示出槽107，当臂306通过轨道308时，臂306通过槽107下落。一旦正确 的FOUP 206到达装载端口 300，计算机系统和使具体的制造设备运行的程序将指示装载端 口 300升高臂306。通过升高臂306，FOUP 206被允许升高离开带205到达邻近装载端口
图8B示意出将FOUP 206升高到邻近装载端口门302的上部位置的支承件303。 装载端口门302也包括弹键锁506，该弹键锁506被构造用于和容器门510上的锁孔紧密 配合。一旦处于上部位置，臂306被构造用于朝向弹键锁506水平地移动，如在图8C中示 意出的。在该点，在端口门502内的齿轮或其它机构转动弹键锁506，并且随后朝向装载端 口门302拉动容器门510。一旦利用延伸部504和其它机构使容器门510连接到装载端口 门302上，装载端口门302水平地移动离开F0UP206，并且随后向下以跳过FOUP 206内的开图8D示意出机器人520，其能够移入及移出FOUP 206以在F0UP206和处理工具 530之间递送或者移除晶片。如在图8B到8D中示意出的，在FOUP 206在与装载端口面接 /连接的同时，另一 FOUP 206可以沿着输送机102行进。因此，注意，臂306提供从输送机 102到邻近装载端口的开口的位置的上下竖直运动。当在上部位置时，FOUP 206可以在输 送机102上无阻碍地继续行进。当在下部位置时，支承件和运动板304可以置于在输送机 带的平面下方的嵌套位置，从而如果某些特定的FOUP 206不去往特定的装载端口 300则允 许FOUP 206行进。如前所讨论的，输送机可以包括集成的网络通信，这些通信允许单个的输送机区 段经由网络由计算机系统控制。该计算机系统也可以执行允许单个的FOUP被输送及停止 在装载端口、存放器、或者同时在输送机上的软件。也设想可以具有带运动板的0ΗΤ，以及向下降低运动板(带有延伸部)到输送机 区段103。在该实施方式中，对于OHT可以在沿着输送机路径的位置从输送机上拾取容器。 OHT随后可以将容器下落到输送机102的另一位置上或者在制造设备中的另一处理部。OHT 也能将容器提升到OHT轨道上、缓冲或者存放容器，并且然后将容器递送到OHT轨道上的另 一位置或者在输送机102上的另一位置。容器随后可以被移动到理想的位置，以便通过装 载端口或者击打装置进行传递。虽然容器可以指承载半导体晶片的F0UP，但是，其它衬底也 可以在输送机上输送并通过装载端口提升。由此，代替容器，设想为足够平坦以在带、滚子 或者滑座上行进的其它物料也可以被输送。另外，虽然具体的实施方式限定“装载端口”，但 是，应该理解，也可以使用从输送机直接装载的其它系统。可以利用单臂从输送机装载的其 它系统包括(作为示例而不具有限定性)储料器、装货设备、处理工具、贮藏库、置顶输送车 辆等等。通过实施为单臂306可以提供许多优点。这些优点也克服了许多问题。单臂306 例如允许系统在装载端口的前面仅提供一个轨道。这在需要非常干净的环境要求的位置削 减了移动部件的数量。由此，减少了微粒产生。此外，可以减少在输送机区段107中的槽 107的数量。通过仅提供一个槽107，可以实现比较简单的设计，由此允许支承件303以嵌 套定向进行较简单的降低。因此，设计简单、易于集成以及无尘空间的相容性克服了许多比 较复杂的装载端口和输送机设计所面临的问题。本发明可以利用其它计算机系统配置进行实践，这些计算机系统配置包括计算装 置、手持装置、微处理器系统、微处理机控制的或者可以编程的电子消费品、小型计算机、大 型计算机等。本发明也可以在由通过网络联接的远程处理装置执行任务的分布计算环境中 进行实践。例如，也可以使用在线游戏系统和软件。
尽管介绍了上述的实施方式，但是，应该理解，本发明可以采用包括在计算机系统 中存储的数据的各种计算机实现的操作。这些操作是那些需要物理量的物理控制的操作。 通常，但不是必须，这些量采用能够被存储、传递、结合、比较以及其它操作的电子或磁信号 的形式。此外，执行的操作通常明确地指，例如，生产、识别、判定或者比较。此处描述的形成本发明一部分的操作中的任意一些是常用的机械操作。本发明也 涉及用于执行这些操作的装置或设备。所述设备可以被专门地构造用于所需要的目的，例 如上述讨论的承载器网络，或者其可以是通用计算机，该通用计算机通过在计算机中存储 的计算机程序被选择性地致动或者构造。特别是，各种通用机械可以和依据此处教导写出 的计算机程序一起使用，或者其可以比较便于构造更专业的设备以执行所需要的操作。本发明也可以体现为在计算机可读介质上的计算机可读代码。计算机可读介质可 以是可以存储数据的任意数据存储装置，所述数据之后可以通过计算机系统读取。计算机 可读介质的示例包括硬盘驱动器、网络附加存储器(NAQ、只读存储器、随机存取存储器、 快闪记忆存储器、⑶-ROM、⑶-R、⑶-RW、DVD、磁带以及其它光学及非光学数据存储装置。计 算机可读介质也可以被分布在联接计算机系统的网络上，从而使得计算机可读代码可以以 分布的方式被存储及执行。尽管已经根据几个优选的实施方式描述了本发明，但是将理解，本领域技术人员 在阅读前述的说明书和研究附图后将会认识到各种变化、增加、改变及它们的等同物。由 此，意在本发明包括如落入本发明的真正精神和范围之内一样的所有这些变化、增加、改变 及等同物。
权利要求
1.一种直接装载工具，包括(a)输送机，所述输送机沿一方向定向，所述输送机接近第一位置集成，所述输送机包括(i)第一横梁和第二横梁，所述第一横梁和所述第二横梁中的每一个支承轮，所述轮分 别使第一带和第二带运动，其中，所述第一横梁和所述第二横梁以平行定向间隔开，所述第 一横梁包括单槽；(b)装载端口，所述装载端口邻近所述输送机的所述第一横梁定向，所述装载端口包括(i)装载端口开口，所述装载端口开口接近第二位置限定；( )轨道，所述轨道在所述输送机的所述第一位置和所述第二位置之间沿竖直方向限定；(iii)单臂，所述单臂被构造用于在所述第一位置和所述第二位置之间沿所述轨道运 动，从而所述单臂被构造用于当所述单臂定位在所述第一位置时运动通过所述单槽；以及(iv)支承件，所述支承件连接到所述单臂上，所述支承件沿所述竖直方向运动，以当所 述单臂在所述第一位置处于所述单槽中时将所述支承件放置在所述第一横梁和所述第二 横梁之间。
2.根据权利要求1的直接装载工具，其中，所述第一位置邻近地板，所述第二位置远离 所述地板。
3.根据权利要求1的直接装载工具，其中，所述第一带和所述第二带位于带路径高度 处，当所述支承件被放置在所述第一横梁和所述第二横梁之间时，所述支承件位于所述带 路径高度的下方。
4.根据权利要求1的直接装载工具，其中，容器由所述输送机的所述第一带和所述第二带支承。
5.根据权利要求1的直接装载工具，其中，所述支承件包括运动板，当所述运动板在所 述第一位置时，所述运动板被放置在所述第一带和所述第二带的水平面的下方。
6.根据权利要求4的直接装载工具，其中，所述支承件的所述运动板联接到所述容器 的底部上，所述单臂被构造用于提升所述容器离开所述第一带和所述第二带，并且将所述 容器接近所述第二位置定位。
7.根据权利要求6的直接装载工具，其中，所述单臂具有水平连接件，该水平连接件用 于当所述单臂在所述第二位置时使所述单臂水平地运动。
8.根据权利要求1的直接装载工具，其中，所述第一横梁和所述第二横梁限定输送机 区段，多个输送机区段被联接以限定所述输送机。
9.根据权利要求8的直接装载工具，其中，所述输送机区段中的某些包括所述单槽。
10.根据权利要求1的直接装载工具，其中，所述第一带和所述第二带是环形带。
11.根据权利要求10的直接装载工具，其中，所述第一带和所述第二带中的每一个均 包括支承表面和凸起的导向部。
12.根据权利要求11的直接装载工具，其中，所述支承表面是连续的、平面的、肋形的、 卵石花纹的或者不连续的中的一个。
13.根据权利要求11的直接装载工具，其中，所述凸起的导向件是连续的、平面的、肋形的、卵石花纹的或者不连续的之一。
14.根据权利要求8的直接装载工具，其中，使所述第一带和所述第二带中的每一个运 动的所述轮集成在卡盘模块上。
15.根据权利要求14的直接装载工具，其中，每一个输送机区段包括所述卡盘模块中 的至少两个。
16.根据权利要求15的直接装载工具，其中，在每一个输送机区段上的至少一个卡盘 模块包括马达。
17.
18.根据权利要求16的直接装载工具，还包括在每一个输送机区段中的至少一个驱动轴。
19.根据权利要求1的直接装载工具，其中，所述载装端口与半导体处理工具交接。
20.根据权利要求1的直接装载工具，其中，处于所述第一横梁和所述第二横梁之间的 所述支承件使所述支承件以嵌套定向的方式放置在所述输送机的带之间，所述嵌套定向提 供用于使容器无阻碍地在所述带上行进的间隙。
21.根据权利要求1的直接装载工具，其中，所述轨道实施为单直线式支座。
22.—种直接装载工具，包括(a)输送机，所述输送机沿一方向定向，所述输送机接近第一位置集成，所述输送机包括(i)第一横梁和第二横梁，所述第一横梁和所述第二横梁中的每一个支承轮，所述轮分 别使输送轮运动，其中，所述第一横梁和所述第二横梁以平行定向间隔开，所述第一横梁包 括单槽；(b)装载端口，所述装载端口邻近所述输送机的所述第一横梁定向，所述装载端口包括(i)装载端口开口，所述装载端口开口接近第二位置限定；( )轨道，所述轨道在所述输送机的所述第一位置和所述第二位置之间沿竖直方向限定；(iii)单臂，所述单臂被构造用于在所述第一位置和所述第二位置之间沿所述轨道运 动，从而所述单臂被构造用于当所述单臂定位在所述第一位置时运动通过所述单槽；以及(iv)支承件，所述支承件连接到所述单臂上，所述支承件沿所述竖直方向运动，以当所 述单臂在所述第一位置处于所述单槽中时将所述支承件放置在所述第一横梁和所述第二 横梁之间。
23.根据权利要求22的直接装载工具，其中，处于所述第一横梁和所述第二横梁之间 的所述支承件将所述支承件以嵌套定向的方式放置在所述输送机的所述输送轮之间，所述 嵌套定向提供用于使容器无阻碍地在所述输送轮上行进的间隙。
24.根据权利要求22的直接装载工具，其中，所述轨道实施为单直线式支座。
全文摘要
一种直接装载系统，其包括装载端口，用于在邻近输送机的下部位置和直到接近装载端口门的上部位置之间使容器沿竖直取向运动。装载端口包括单臂，该单臂以竖直构型使支承件运动，从而使单臂运动允许支承件在输送机的两个横梁之间的嵌套位置中下降到输送机。输送机包括在横梁中的单槽，该单槽允许单臂通过。单臂从嵌套位置升高离开输送机并且到装载端口门。单臂以及与输送机的槽的交接可以通过其它工具来使用，该工具为例如存放器或者需要直接接触输送机的工具，该输送机用于输送容器(例如，晶片等等)到制造设备的位置/工具。
文档编号H01L21/677GK102067300SQ200980123167
公开日2011年5月18日 申请日期2009年6月19日 优先权日2008年6月20日
发明者伊藤浩士, 安东尼·C·伯诺拉, 弗鲁芒·I·杰亚诺夫, 约瑟夫·约翰·法图拉三世, 罗杰·G·海因 申请人:村田自动化机械有限公司