专利名称：用于置放储存匣的电子货架的制作方法
专利说明本实用新型关于一种电子货架(E-Rack)，尤指一种于制造工厂中，用来置放储存 匣的电子货架。
背景技术：
随着半导体技术的演进，许多产业，诸如显示器制造厂、半导体制造厂、太阳能设 备制造厂等，皆会进行半导体相关组件的处理或制造，而于制造过程中需要将半导体相关 组件，如半导体晶圆、光罩等，于不同的位置间移动，因此，于该等半导体相关组件移动或 存放时，皆会将之置放在一特制的储存匣中以避免被杂质污染。此外，当不需要使用这些半 导体相关组件时，该等储存匣会被存放在特定的货架上以待下一次的取用使用。传统上，储存匣会被置放在一经过标示的特定位置上，并于每次使用完毕放回此 特定位置，虽然此种储物系统的建置成本低廉，但对于动则上万片光罩或芯片的晶圆厂来 说，此种储物方式将耗费相当高的人事成本，且易出差错。现有技术如中国台湾公开第200821241号的“被搬送物储存系统”专利案，公开一 种全自动化控制的储存系统，借由轨道、天车(0ΗΤ)、及仓储柜(stocker)的组合，每一储存 匣皆可被安排在该仓储柜的专属位置中，当生产在线需要使用某一储存匣内的晶圆或光罩 等组件时，通过系统的操作即可令该天车依循轨道自动地至该仓储柜中取出该储存匣，再 透过轨道将该储存匣运送至生产在线。此系统全由计算机所监控，其好处在于任何储存匣 皆能被正确地放置到其各自专属的位置上，而不会错放至其它的存放位置。然而，此种系统 的建置成本相当高昂且相当占空间，举例来说，一个晶圆厂的运作可能就需要上千上万片 的光罩或芯片，该些光罩或芯片皆需要有独立的储存匣，若将所有的储存匣皆以该现有技 术的储存系统来存放时，系统的建置成本势必大幅提高，再者，一个厂房运作时需要运送 储存匣的次数相当多，运送时的等待时间亦会造成产能的降低。发明内容本实用新型的一目的在于提供一种低成本、高效率的电子货架。本实用新型的另一目的在于提供一种相较于现有技术较不占空间且空间安排弹 性大的电子货架。本实用新型的再一目的在于提供一种可供在线操作人员对于置放的储存匣，可放 了即走(put & go)的电子货架。为达上述目的及其它目的，本实用新型提供一种用于置放储存匣的电子货架，应 用于将该电子货架上储存匣的数据传送予一远程服务器，该电子货架包含复数个置放区， 每一置放区用于置放一储存匣；及复数个无线射频感应器，设置于每一置放区中，用以感应 该置放区中储存匣上的无线射频标签，并取得该储存匣的数据。于一实施例中，该电子货架更可包含复数个动作传感器，设置于每一置放区中， 并电性连接对应的无线射频感应器，用以感测该储存匣的置放状态，并据以致能该无线射 频感应器。其中，该动作传感器可为一红外线传感器。于另一实施例中，该电子货架更可包含复数个显示器，设置于每一置放区中，并电性连接对应的无线射频感应器，用以显示该储存匣的数据。于再一实施例中，该电子货架更可包含复数个显示器，设置于每一置放区中，并电 性连接对应的无线射频感应器，用以显示该储存匣的数据，以及显示该远程服务器下达的 指示；及复数个LED灯指示模块，设置于每一置放区中，并电性连接对应的无线射频感应 器，用以指示该置放区的状态以及指示出该远程服务器下达的指示。于再一实施例中，该些储存匣用于存放半导体芯片或光罩。于再一实施例中，该电子货架的底部设有复数个轮子，以便于移动。借此，本实用新型气体循环式电子货架结构相较于现有技术可节省成本且日后 维护 成本低廉，再者，本实用新型于每一置放区中皆设置一无线射频感应器，使得在线操作 人员可直接将储存匣置放在电子货架上的任意置放区中，该无线射频感应器即会感应储存 匣上的无线射频标签并取得储存匣的数据，如识别数据(ID)，达到放了即走(put & go) 的功效；而不若传统技术于置放储存匣时，需根据架上的指示位置来置放。
图1为本实用新型于一实施例中电子仓储系统的架构图。图2为本实用新型于一实施例中电子货架的立体图。图3为本实用新型于另一实施例中电子货架的立体图。图4为本实用新型于再一实施例中电子货架的立体图。图5为本实用新型于再一实施例中电子货架的立体图。图6为本实用新型于再一实施例中电子货架的立体图。主要组件符号说明100电子仓储系统101远程服务器103集线器110电子货架IlOa e电子货架112置放区114无线射频感应器116显示器117LED灯指示模块118动作传感器119 轮子120储存匣122无线射频标签130网关器
具体实施方式
为充分了解本实用新型之目的、特征及功效，现借由下述具体的实施例，并配合所 附之图式，对本实用新型做一详细说明，说明如后[0039]于半导体厂、其它需对半导体芯片或光罩进行存放之厂房、或其它仓储厂房皆可 使用本实用新型。本实用新型是应用于一种电子仓储系统中。请参阅图1，本实用新型于一实施例中 电子仓储系统的架构图，该电子仓储系统100包含一远程服务器101、至少一集线器103、及 复数个电子货架llOa-e，该等电子货架llOa-e会回传目前存放于架上的货品资料，如识 别数据(ID)，而该等电子货架llOa-e与该远程服务器101间的连接则可通过现有的网络架 设技术来完成，以图1所示，将每一电子货架联机至一集线器103，再连接至该远程服务器 101，该远程服务器101可通过无线或有线之方式来建立此连接，再者，该集线器103亦可再 并联多个集线器以完成不同区之间的网络架构，前述架设技巧与网络阶层的建置皆为现有 架设技术的不同变化，于此不再赘述。接着请参阅图2，本实用新型于一实施例中电子货架的立体图。该电子货架110于 此实施例中通过一网关130与该集线器103 (请参阅图1)连接，以将数据传送予该远程服 务器101(请参阅图1)，如同前述，其网络接线的各种变化是现有技术，于此不再赘述。该电 子货架110用来存放复数个储存匣120，举例来说，该储存匣120于半导体组件或光罩上的 应用时，为一种前开式综合储存匣(Front-Opening Unified Pod，F0UP)，其符合SEMI标准 E47. 1所规定。该储存匣为一运送用的储存盒或容器。本实用新型中的置放区的数量可依 实际情况作改变，本实施例中提供的九个置放区仅为一种示例而非为一种限制。请继续参阅图2，该电子货架110包含有复数个置放区112及复数个无线射频感应 器114，其中，每一置放区112是用来存放一储存匣120，该等无线射频感应器114是用来 感应该储存匣120上的无线射频标签122，该无线射频标签122内储存有该储存匣120的 数据，如识别数据(ID)。因此，当操作员欲放回该储存匣120时，可直接找一空的置放区 112置放该储存匣120，达到放了即走(put & go)的功效，该电子货架110会通过对应的无 线射频感应器114取得该储存匣120的数据，如识别数据(ID)，并将此数据回传至该远程 服务器101 (请参阅图1)。如此，该远程服务器101即会有目前位于架上之储存匣120的资 料，在线操作者可根据该远程服务器101的数据找到其欲找寻的储存匣位于厂房中的哪一 位置，只要该储存匣未处于生产在线的使用中状态。如此电子货架将可使操作者不用为了 将储存匣放入专属位置而耗费时间在寻找位置，而可放了即走(put & go)，也不需担心储 存匣是否会放错，因为它现在被置放的位置会回传至该远程服务器101，于下一次使用时仍 可被轻易地找出其置放的位置。接着请参阅图3，是本实用新型于另一实施例中电子货架的立体图。所述的电子货 架110更可包含复数个显示器116，每一置放区112设置有一显示器116，该显示器116电 性连接对应的无线射频感应器114，用以显示该储存匣120的数据，其中，该数据系储存于 该储存匣120的无线射频标签122中。接着请参阅图4，本实用新型于再一实施例中电子货架的之立体图。所述的电子货 架110更可包含复数个动作传感器118，每一置放区112是设置有一动作传感器118，该动 作传感器118电性连接对应的无线射频感应器114，用以感测该储存匣120的置放状态，并 据以致能该无线射频感应器114。即，当该储存匣120被置放入该置放区112时，对应的动 作传感器118会感测到动作的变化，并致能与其电性连接的无线射频感应器114，该无线射 频感应器114始进行感应，如此可节省电力的消耗。其中，该动作传感器118可为红外线传感器(IR sensor)或其它可达成相同功效的传感器。接着请参阅图5，是本实用新型于再一实施例中电子货架的立体图。如前所述，该 电子货架110更可包含复数个显示器116，每一置放区112设置有一显示器116，该显示器 116电性连接对应的无线射频感应器114，用以显示该储存匣120的资料，而可供操作人员 直接检视。再者，该电子货架110为便于移动，更可于底部增设复数个轮子119，以便于机 动使用，前述的实施例皆可增设该等轮子119。接着请参阅图6，是本实用新型于再一实施例中电子货架的立体图。除了前述增 加的显示器116外，更可于每一置放区中设置一 LED灯指示模块117，其电性连接对应的无 线射频感应器114，用以指示该置放区112的状态以及指示出该远程服务器101(请参阅的 图1)下达的指示。举例来说，一种情况为当该置放区112被正确置放储存匣120时，可透 过该LED灯指示模块117来指示出目前的正常置放状态，如亮一绿灯灯号；而另一种情况 为当该远程服务器101指示目前应取用的储存匣120位于哪一置放区112时，可通过该 LED灯指示模块117来指示，如亮一红灯灯号让现场的操作人员清楚且快速地得知欲取用 的储存匣120是位于哪一置放区112。再者，该显示器116可显示来自该远程服务器101下 达的指示，例如引导操作人员储存匣该如何处理等事项。借此可快速且清楚地显示与指示 出置放区与储存匣的状态，并可供远程服务器101下达欲交办的指示。此外，如前所述，本 实施例中亦可增加动作传感器(图未示)。本实用 新型的所有实施例中，显示器116、LED灯指示模块117、动作传感器118、及 轮子119皆可视需求于该电子货架上进行不同的搭配组合。综上所述，本实用新型具体提供了一种低成本、高效率且机动性高、空间安排弹性 大的电子货架，在线操作者对于置放的储存匣，可放了即走(put& go)，而不若传统技术于 置放储存匣时，需根据架上的指示位置来置放。本实用新型在上文中已以较佳实施例公开，然本领域技术人员应理解的是，该实 施例仅用于描绘本实用新型，而不应解读为限制本实用新型的范围。应注意的是，举凡与该 实施例等效的变化与置换，均应设为涵盖于本实用新型的范畴内。因此，本实用新型的保护 范围当以所附的权利要求为准。
权利要求一种用于置放储存匣的电子货架，应用于将该电子货架上储存匣的数据传送予一远程服务器，其特征在于该电子货架包含复数个置放区，每一置放区用于置放一储存匣；及复数个无线射频感应器，设置于每一置放区中，用以感应该置放区中储存匣上的无线射频标签，并取得该储存匣的数据。
2.如权利要求1所述的电子货架，其特征在于更包含复数个显示器，设置于每一置放区中，并电性连接对应的无线射频感应器，用以显示该 储存匣的数据。
3.如权利要求1所述的电子货架，其特征在于更包含 复数个动作传感器，设置于每一置放区中，并电性连接对应的无线射频感应器，用以感 测该储存匣的置放状态，并据以致能该无线射频感应器。
4.如权利要求3所述的电子货架，其特征在于该动作传感器为一红外线传感器。
5.如权利要求3所述的电子货架，其特征在于更包含复数个显示器，设置于每一置放区中，并电性连接对应的无线射频感应器，用以显示该 储存匣的数据。
6.如权利要求1所述的电子货架，其特征在于更包含复数个显示器，设置于每一置放区中，并电性连接对应的无线射频感应器，用以显示该 储存匣的数据，以及显示该远程服务器下达的指示；及复数个LED灯指示模块，设置于每一置放区中，并电性连接对应的无线射频感应器，用 以指示该置放区的状态以及指示出该远程服务器下达的指示。
7.如权利要求6所述的电子货架，其特征在于更包含复数个动作传感器，设置于每一置放区中，并电性连接对应的无线射频感应器，用以感 测该储存匣的置放状态，并据以致能该无线射频感应器。
8.如权利要求1至7中任一项所述的电子货架，其特征在于该些储存匣用于存放半导 体芯片或光罩。
9.如权利要求8所述的电子货架，其特征在于该电子货架的底部设有复数个轮子。
专利摘要本实用新型提供一种用于置放储存匣的电子货架，应用于将该电子货架上储存匣的数据传送予一远程服务器，该电子货架包含复数个置放区及复数个无线射频感应器，其中，每一置放区中皆设置一无线射频感应器，使得在线操作人员可直接将储存匣置放在电子货架上的任意置放区中，该无线射频感应器即会感应储存匣上的无线射频标签并取得储存匣的数据，如识别数据(ID)，达到放了即走(put & go)的功效。
文档编号H01L21/673GK201717248SQ20102010859
公开日2011年1月19日 申请日期2010年1月28日 优先权日2010年1月28日
发明者叶秀珢, 陈荣华 申请人:华景电通股份有限公司