专利名称：用于湿式制程的可调整基材定位孔径式输送载板的制作方法
技术领域：
本实用新型是关于一种输送载板，尤指一种用于承载如玻璃...等基材，使基材可透过自动化输送装置输送进行蚀刻、清洗...等湿式制程，并能适用于不同基材尺寸的基材输送载板。
背景技术：
如触控面板的玻璃基板...等基材于加工制程中，通常必须经过蚀刻设备进行图案化的蚀刻步骤，及清洗设备进行表面清洗步骤....等湿式制程。于玻璃基板进行蚀刻及清洗等湿式制程前，玻璃基板均已切割成预定尺寸的单元面积，因玻璃基板于切割后，其侧边均会产生锐利的毛边，故当具有毛边的玻璃基板经过蚀刻设备或清洗设备的输送轮输送时，玻璃基板的毛边因与输送轮上的挡边接触摩擦，易自毛边产生严重的破裂情形。此外，前述作为触控面板用途的基材是厚度约为0. 5 0. 8mm的薄板，其厚度薄且易碎，在进行蚀刻或清洗等湿式制程中，既有的蚀刻设备或清洗设备等对该些玻璃基板并未提供良好的防护机制，于玻璃基板的输送过程，玻璃基板切割产生毛边常与输送轮挡边接触摩擦造成毛边受损，并易于伤及玻璃基板的输出入电极的完整性，致使玻璃基板成品良率偏低。为解决上述问题，本实用新型申请人先后曾提出如中国台湾专利证书第M372534 号的「用于湿式制程的基板用输送载板」以及中国台湾专利证书第M372347号的「用于湿式制程的基板输送装置」，其中所述的输送载板是于其板体中形成复数个基板定位孔，于各基板定位孔周边孔壁下段形成复数个止挡凸部，用以提供基板置入基板定位孔中，藉由该复数个止挡凸部于基板下方支撑定位，藉此，利用该输送载板作为基板进行蚀刻、清洗等湿式制程输送时的载具，使基板藉由该输送载板于输送轮组上移动，而避免基板与输送轮直接接触磨擦而受损的情事。前述输送载板或输送装置于实施时，确可达成前述的功效，惟本案申请人进一步发现前述输送载板中的基材定位孔为固定式的孔径设计，仅能适用于提供单一种尺寸规格的基材承载功能，故而，不同尺寸规格的基材皆须使用专用的输送载板来承载，才能进行湿式制程，以致使用者必须针对每一种尺寸规格的基材制造专用的输送载板，有耗费成本高以及储放管理不便等缺点。
发明内容本实用新型要解决的技术问题是解决现有输送载板仅适用于单一种型式的基材，无法通用于多种不同尺寸规格的基材的缺点。本实用新型的技术解决方案是提供一种用于湿式制程的可调整基材定位孔径式输送载板，其特征在于，其包含一载板本体，是形成至少一镂空状的基材定位空间，于基材定位空间周边分布形成一固定边以及三侧边，载板本体于所述侧边处各形成一下凹的容置槽，于容置槽底部形成槽底承载部，载板本体的固定边邻接基材定位空间的边缘下段形成复数个第一承载凸部；三调整板体，是分别可调整定位的装设于载板本体相应的容置槽中，并为容置槽底部的槽底承载部所承载，所述调整板体邻接基材定位空间的边缘下段形成复数个第二承载凸部，所述第二承载凸部顶缘与第一承载凸部顶缘等高。所述的用于湿式制程的可调整基材定位孔径式输送载板中，所述三调整板体上各设有至少一组定位孔群，所述定位孔群包含数个定位孔，所述数个定位孔的孔中心至调整板体邻接基材定位空间边缘的长度皆不相等；所述容置槽底部的槽底承载部各设有至少一组固定孔群，所述固定孔群包含数个固定孔，该数个固定孔呈一直线排列，且所述数个固定孔的孔中心至基材定位空间邻边边缘的长度相等，藉以利用复数螺接元件分别穿设于相应的定位孔与固定孔中，使所述调整板体分别固定于载板本体的容置槽中。所述的用于湿式制程的可调整基材定位孔径式输送载板中，所述输送载板进一步包含三固定板体，所述固定板体的长度足以跨越载板本体的容置槽，并压抵于载板本体及调整板体顶面。所述的用于湿式制程的可调整基材定位孔径式输送载板中，所述调整板体两侧边与载板本体的容置槽两侧的槽侧缘间藉由相应的锯齿状第一卡合部与第二卡合部凹凸啮合而能调整定位。所述的用于湿式制程的可调整基材定位孔径式输送载板中，所述输送载板进一步包含三固定板体，所述固定板体的长度足以跨越载板本体的邻边容置槽，且压抵于载板本体及调整板体顶面，并以螺接元件予以固定。所述的用于湿式制程的可调整基材定位孔径式输送载板中，载板本体的固定边邻接基材定位空间的边缘上段形成复数限位凸部，限位凸部与第一承载凸部上下相应，且限位凸部底缘与第一承载凸部顶缘间具有一间距，所述间距用以提供基材一侧边置入其中。本实用新型的优点是借由前述输送载板的组合构造设计，其中利用载板本体周边的容置槽分别可调整定位的组设调整板体，使该输送载板可因应不同尺寸规格的基材而调整相应的基材定位空间的孔径，扩大输送载板的适用多种基材尺寸范围，进而改善现有专用型输送载板设计，必须针对每一种尺寸规格的基材制造专用的输送载板的成本高以及储放管理不便等缺点。此外，本实用新型尚可进一步令输送载板固定边相对于承载凸部上方设置限位凸部，用以提供基材一侧置入承载凸部与限位凸部之间，并利用限位凸部于基材一侧顶面予以限位，进而在输送载板承载基材进行蚀刻、清洗...等湿式制程输送时，如清洗后的吹风干燥或喷洒冲洗等步骤中，防止基材于输送载板中移位。
图1是本实用新型用于湿式制程的可调整基材定位孔径式输送载板的一较佳实施例的立体分解示意图。图2是图1所示输送载板较佳实施例增设三固定板体的立体分解示意图。图3是图1、图2所示输送载板较佳实施例中的调整板体的立体示意图。图4是图2所示输送载板较佳实施例的组合后俯视平面示意图。[0021]图5是图2所示输送载板较佳实施例于调整基材定位孔径的俯视平面示意图。图6是本实用新型用于湿式制程的可调整基材定位孔径式输送载板的另一较佳实施例俯视平面示意图。图7是图6所示输送载板较佳实施例的组合俯视平面示意图。图8是图6所示输送载板较佳实施例于调整基材定位孔径的俯视平面示意图。图9是图2输送载板较佳实施例承载基材后，藉由输送装置输送的实施状态参考图。附图标号说明1输送载板3输送轮10载板本体Ila固定边12第一承载凸部14 间距15容置槽152固定孔群17 第一"^合部20调整板体22定位孔群23第二卡合部30、30a固定板体32、32a 固定孔
具体实施方式
以下配合图式及本实用新型的较佳实施例，进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术手段。如图1或图2所示，是揭示本实用新型用于湿式制程的可调整基材定位孔径式输送载板的一较佳实施例，由图中可以见及所述的输送载板是包含一载板本体10以及三调整板体20，其中所述的载板本体10中形成至少一镂空状的基材定位空间11，所述基材定位空间 11是依据各式同类型待承载基材而设定，以矩形基材为例，所述基材定位空间11可设计矩形，并依据同类型基材的各种不同尺寸规格而设计基材定位空间11的孔径，于图1或图2 所示的较佳实例中，是揭示载板本体10具有复数个的基材定位空间11，所述的载板本体10 于基材定位空间11周边分布形成一固定边Ila以及三侧边11b，其中所述的三侧边lib中的二侧边lib位于固定边Ila两邻侧且相对应作为邻边，余一侧边lib则位于固定边Ila 的对侧作为对边，载板本体10于所述侧边各形成一下凹的容置槽15，所述容置槽15底部各形成一槽底承载部151。如图1及图2所示，载板本体10于固定边Ila邻接基材定位空间11的边缘下段形成复数个第一承载凸部12，或进一步于固定边Ila邻接基材定位空间11的边缘上段形成
2基材
11基材定位空间 lib侧边 13限位凸部
151槽底承载部 153,153a固定孔
21第二承载凸部 221、221a定位孔
31固定孔群复数限位凸部13，限位凸部13与第一承载凸部12上下相应，且限位凸部13底缘与第一承载凸部12顶缘间具有一间距14，用以提供基材一侧边置入其中。所述三调整板体20是分别可调整定位的装设于载板本体10相应的容置槽15中， 且为容置槽15底部的槽底承载部151所承载，所述调整板体20于邻接基材定位空间11的边缘下段形成复数个第二承载凸部21，所述第二承载凸部21的顶缘与第一承载凸部12顶
缘等高。所述三调整板体20上各设有至少一组定位孔群22，所述定位孔群22包含数个定位孔221，所述数个定位孔221的孔中心至调整板体20邻接基材定位空间11边缘的距离 (dl，d2. . .，dn)皆不等；所述容置槽15底部的槽底承载部151上设有至少一组固定孔群 152，与所述调整板体20上的定位孔群22相应，所述固定孔群152包含数个固定孔153，该数个固定孔153呈一直线排列，所述数个固定孔153的孔中心至基材定位空间11邻边边缘的长度相等，藉此，所述调整板体20分别调整定位于载板本体10的二邻边容置槽15后，藉由数个如螺丝...等螺接元件分别穿设于相应的定位孔221与固定孔153中，使调整板体 20固定于载板本体10上，并可藉由所述二调整板体20调整变更载板本体10的基材定位空间11两邻边的间距，于图1及图2所示较佳实施例中，是于调整板体20上设置三组定位孔群22，槽底承载部151上设有三组固定孔群152分别与所述三组定位孔群22 —对一相应。如图2以及图4、5所示，本实用新型输送载板1尚可进一步包含三固定板体30，所述固定板体30的长度足以跨越载板本体10的容置槽15，并压抵于载板本体10及调整板体 20顶面，所述固定板体30上设有至少一固定孔群31，所述固定孔群31包含多个固定孔32， 所述的固定孔32分别相应于容置槽15底部的槽底承载部151上的固定孔153，藉此，提供数个如螺丝...等螺接元件分别穿设于相应的定位孔221与固定孔153、32中，将固定板体 30、调整板体20以及载板本体10的槽底承载部151三者固结一起；又如图6所示的另一较佳实施例，所述调整板体20两侧边与载板本体10的容置槽15两侧的槽侧缘间可藉由彼此相应的锯齿状第一卡合部17与第二卡合部23的凹凸配合而固定，如图7、8所示，并维持其可调整基材定位孔径的功能。此外，本实用新型输送载板1尚可进一步包含三固定板体30a，所述固定板体30a 的长度足以跨越载板本体10的邻边容置槽15，并压抵于载板本体10及调整板体20顶面， 并藉由螺接元件穿设于固定板体30a的固定孔32a、调整板体20的长形定位孔221a以及载板本体10的槽底承载部151中相应的固定孔予以固定。本实用新型输送载板于使用时，如图9所示，是令切割单元尺寸的基材2放置于该输送载板1的基材定位空间11中定位，于基材2放置于输送载板1前，是依据基材的形状尺寸，先令输送载板1的三调整板体20调整至适当位置固定，使输送载板1的基材定位空间11与基材2外形相符。的后，是令基材2 —侧边先倾斜置入于输送载板1固定边Ila的限位凸部13与第一承载凸部12之间距14中，再平置于基材定位空间11中，使基材2为基材定位空间11周边的第一、第二承载凸部12、21共同承载而定位。其次，是将置放有基材2的输送载板1移置蚀刻或清洗......等湿式制程设备
中，由所述蚀刻或清洗......等湿式制程设备中的输送轮输送至设备内，进行基材2表面
的蚀刻或清洗......等湿式制程步骤。在前述蚀刻或清洗...等湿式制程步骤时，基材2因是藉由输送载板1于输送装置的输送轮3上被输送，故可有效避免基材2与输送轮3直接接触磨擦而损坏，并在湿式制程设备对基材2喷洒蚀刻液或清洗液...等的过程中，如由下向上喷洒蚀刻液或清洗液于基材2底面，或是进行清洗后的吹风干燥处理步骤时，因基材输送载板1固定边Ila尚设有限位凸部13于基材2顶面一侧予以限位，可减少基材2于基材输送载板1中浮动的现象。 以上所述仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型做任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案的范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。
权利要求1.一种用于湿式制程的可调整基材定位孔径式输送载板，其特征在于，其包含一载板本体，是形成至少一镂空状的基材定位空间，于基材定位空间周边分布形成一固定边以及三侧边，载板本体于所述侧边处各形成一下凹的容置槽，于容置槽底部形成槽底承载部，载板本体的固定边邻接基材定位空间的边缘下段形成复数个第一承载凸部；三调整板体，是分别可调整定位的装设于载板本体相应的容置槽中，并为容置槽底部的槽底承载部所承载，所述调整板体邻接基材定位空间的边缘下段形成复数个第二承载凸部，所述第二承载凸部顶缘与第一承载凸部顶缘等高。
2.根据权利要求1所述的用于湿式制程的可调整基材定位孔径式输送载板，其特征在于，所述三调整板体上各设有至少一组定位孔群，所述定位孔群包含数个定位孔，所述数个定位孔的孔中心至调整板体邻接基材定位空间边缘的长度皆不相等；所述容置槽底部的槽底承载部各设有至少一组固定孔群，所述固定孔群包含数个固定孔，该数个固定孔呈一直线排列，且所述数个固定孔的孔中心至基材定位空间邻边边缘的长度相等，藉以利用复数螺接元件分别穿设于相应的定位孔与固定孔中，使所述调整板体分别固定于载板本体的容置槽中。
3.根据权利要求1所述的用于湿式制程的可调整基材定位孔径式输送载板，其特征在于，所述输送载板进一步包含三固定板体，所述固定板体的长度足以跨越载板本体的容置槽，并压抵于载板本体及调整板体顶面。
4.根据权利要求2所述的用于湿式制程的可调整基材定位孔径式输送载板，其特征在于，所述输送载板进一步包含三固定板体，所述固定板体的长度足以跨越载板本体的容置槽，并压抵于载板本体及调整板体顶面。
5.根据权利要求1所述的用于湿式制程的可调整基材定位孔径式输送载板，其特征在于，所述调整板体两侧边与载板本体的容置槽两侧的槽侧缘间藉由相应的锯齿状第一卡合部与第二卡合部凹凸啮合而能调整定位。
6.根据权利要求5所述的用于湿式制程的可调整基材定位孔径式输送载板，其特征在于，所述输送载板进一步包含三固定板体，所述固定板体的长度足以跨越载板本体的邻边容置槽，且压抵于载板本体及调整板体顶面，并以螺接元件予以固定。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的用于湿式制程的可调整基材定位孔径式输送载板，其特征在于，载板本体的固定边邻接基材定位空间的边缘上段形成复数限位凸部，限位凸部与第一承载凸部上下相应，且限位凸部底缘与第一承载凸部顶缘间具有一间距，所述间距用以提供基材一侧边置入其中。
专利摘要本实用新型是关于一种用于湿式制程的可调整基材定位孔径式输送载板，主要具有一载板本体，于载板本体的基材定位空间的固定边设有第一承载凸部，基材定位空间周边的容置槽分别组设一可调整定位的调整板体，调整板体邻近基材定位空间的边缘分别设有第二承载凸部，并以第一、第二承载凸部用以共同承载基材，藉此，使该输送载板可因应不同尺寸规格的基材而调整相应的基材定位空间的孔径，扩大输送载板的适用范围。
文档编号H01L21/677GK201936862SQ201020683569
公开日2011年8月17日 申请日期2010年12月28日 优先权日2010年12月28日
发明者杨延鸿, 钟添达 申请人:扬博科技股份有限公司