专利名称：玻璃基板保持用膜体及玻璃基板的研磨方法
技术领域：
本发明涉及用于在加工玻璃基板时保持玻璃基板的玻璃基板保持用膜体及玻璃基板的研磨方法。
背景技术：
对于应用于液晶显示器用途的玻璃基板而言，其表面的微小凹凸或起伏会导致图像产生变形，因此，使用研磨装置来除去该微小凹凸或起伏。作为这种研磨装置，本申请人在专利文献I中公开了一种研磨装置，其中，通过将保持在研磨头上的玻璃基板推压到粘贴在研磨平台上的研磨垫上并且使研磨平台和研磨头进行相对旋转而对玻璃基板进行研磨。
另外，专利文献I的研磨装置中，通过使玻璃基板吸附保持于安装在研磨头上的自吸附型保持用膜体上而将玻璃基板安装到研磨头上。另外，近来，随着液晶显示器用玻璃基板的大型化，用于使该玻璃基板吸附保持在研磨头上的保持用膜体的尺寸也正在大型化。该保持用膜体通过借助双面胶粘片将多孔性自吸附型片粘贴在背板上而构成，并且玻璃基板吸附保持在该自吸附型片上。但是，特别是在对称为GlO的尺寸(3130mmX 2880mm)的母玻璃基板进行研磨加工的情况下，在用于保持该尺寸的玻璃基板的保持用膜体的制造中，对于自吸附型片和背板而言，能够使用现有的制造设备来制造尺寸与其对应的产品，但用于将自吸附型片胶粘到背板上的双面胶粘片无法使用现有的制造设备来制造，制造时需要新型设备投资，因而存在制造成本增大的问题。因此，以往使用至少两片现有尺寸的双面胶粘片将自吸附型片胶粘保持于背板上。作为自吸附型片，如专利文献2所示，可以例示作为由聚氨酯树脂形成的软质塑料片的聚氨酯片。专利文献2的聚氨酯片是通过在其表面层上形成多微孔、并且在表面层中含有水等液体从而利用渗入到表面层的多微孔中的液体的表面张力将研磨垫胶粘到研磨平台上的聚氨酯片，但利用该聚氨酯片也能够使玻璃基板进行自吸附保持，因此，将其作为自吸附型片使用。现有技术文献专利文献专利文献I :日本特开2004-122351号公报专利文献2 :日本特开2007-7824号公报
发明内容
发明所要解决的问题但是，使用多片双面胶粘片的现有的保持用膜体中，难以将相邻的双面胶粘片的端部以无间隙的方式进行粘贴。
图9 (A)示出了借助两片双面胶粘片2、2将自吸附型片I贴合在背板3上且玻璃基板G吸附保持于自吸附型片I上的截面图。为了使相邻的双面胶粘片2、2的端部彼此以无间隙的方式进行粘贴，如图9 (A)所示使双面胶粘片2、2的端部以彼此稍稍重叠的方式进行胶粘时，该重叠的部分会形成凸状，该凸状经由自吸附型片I转印到玻璃基板G上而形成凸状部4。在转印有凸状部4的状态下对玻璃基板G进行研磨时，如图9(B)所示，研磨后的玻璃基板G的形成该凸状部4的部分会相反地表现为凹状部4A，因此，存在加工表面的平坦性受损、玻璃基板G的质量降低的问题。需要说明的是，图9(A)中示出的是上下颠倒的图，实际上在玻璃基板G处于下方位置的状态下进行研磨。本发明是鉴于上述情况而做出的，其目的在于提供能够提高研磨后的玻璃基板的质量的玻璃基板保持用膜体及玻璃基板的研磨方法。用于解决问题的手段为了达到上述目的，本发明提供一种玻璃基板保持用膜体，通过借助双面胶粘片 将自吸附型片粘贴在背板上而构成，并且玻璃基板吸附保持于上述自吸附型片上，其中，上述双面胶粘片包含配置在同一面内的多片双面胶粘片，该多片双面胶粘片以相邻的双面胶粘片各自隔开预定间隙的方式粘贴在上述自吸附型片和上述背板上。根据本发明，通过使用配置在同一面内的多片双面胶粘片将一片自吸附型片胶粘在背板上，此时，使相邻的双面胶粘片以隔开预定间隙的方式粘贴在自吸附型片和背板上。对于由这种保持用膜体保持而进行研磨后的玻璃基板而言，虽然由于在上述间隙被转印的状态下进行研磨而在其表面上形成凸状部，但与以往的凹状部的深度量相比，形成在玻璃基板的表面上的凸状部的高度量的绝对量减小，因此，不会损害玻璃基板的平坦性。由此，根据本发明的保持用膜体，能够提高研磨后的玻璃基板的质量。本发明以用于吸附保持大型玻璃基板的保持用膜体作为对象，因此，本发明中所述的一片自吸附型片为尺寸可以应对大型玻璃基板的自吸附型片。另外，多片双面胶粘片中的一片双面胶粘片为现有制造设备所能制造的最大尺寸的双面胶粘片或尺寸稍小于上述尺寸的双面胶粘片。为了达到上述目的，本发明提供一种玻璃基板保持用膜体，通过借助双面胶粘片将自吸附型片粘贴在背板上而构成，并且玻璃基板吸附保持于上述自吸附型片上，其中，上述自吸附型片和上述双面胶粘片各自包含设置在同一面内的多片上述自吸附型片和多片上述双面胶粘片，该多片自吸附型片和多片双面胶粘片以相邻的自吸附型片和双面胶粘片各自隔开预定间隙的方式粘贴在上述背板上。根据本发明，可以将配置在同一面内的多片自吸附型片使用贴合在各个多片自吸附型片上且配置在同一面内的双面胶粘片胶粘到背板上，此时，使相邻的自吸附型片和双面胶粘片以各自隔开预定间隙的方式粘贴在背板上。对于由这种保持用膜体保持而进行研磨后的玻璃基板而言，虽然由于在上述间隙被转印的状态下进行研磨而在其表面上形成凸状部，但与以往的凹状部的深度量相比，形成在玻璃基板的表面上的凸状部的高度量的绝对量减小，因此，不会损害玻璃基板的平坦性。由此，根据本发明的保持用膜体，能够提高研磨后的玻璃基板的质量。为了达到上述目的，本发明提供一种玻璃基板保持用膜体，通过借助双面胶粘片将自吸附型片粘贴在背板上而构成，并且玻璃基板吸附保持于上述自吸附型片上，其中，上述双面胶粘片包含配置在同一面内的多片双面胶粘片，该多片双面胶粘片以相邻的双面胶粘片各自隔开预定间隙的方式粘贴在上述自吸附型片和上述背板上。根据本发明，可以使用配置在同一面内的多片双面胶粘片将一片自吸附型片胶粘到背板上，此时，可以使至少两片双面胶粘片重叠贴合。而且，同一面内的多片双面胶粘片以各自隔开预定间隙的方式粘贴，并且以同一平面内的双面胶粘片之间的预定间隙与在双面胶粘片的层叠方向上相邻的双面胶粘片之间的预定间隙在双面胶粘片的层叠方向上不重合的方式粘贴。对于由这种保持用膜体保持而进行研磨后的玻璃基板而言，虽然由于在上述间隙被转印的状态下进行研磨而在其表面上形成凸状部，但由于在双面胶粘片的层叠方向上相邻的上述间隙在双面胶粘片的层叠方向上不重合(即，图中在左右方向上错开而在上下方向上不重合)，因此，能够抑制间隙所致的转印量。因此，根据本发明，能够将形成在玻璃基板的表面上的凸状部的高度抑制在较低水平，因此，能够更进一步地提高研磨后的玻璃基板的质量。
根据本发明，上述预定间隙优选设定为0. 5mm±0. 5mm。即，本发明中所说的预定间隙包括0mm，优选为0 I. 0mm。间隙为Omm时，不会在研磨后的玻璃基板上产生转印所致的凹状部、凸状部，另外，间隙为1.0mm以下时，因转印而形成在玻璃基板上的凸状部对显示器用玻璃基板的质量没有影响，因此优选。另外，根据本发明，优选上述玻璃基板的尺寸为3130 (mm) X2880 (mm)以上。S卩，本发明的保持用膜体能够保持尺寸为称为GlO尺寸的尺寸以上的玻璃基板，从而能够对该玻璃基板进行研磨。另外，根据本发明，优选上述保持用膜体的尺寸为3200(mm)X3000(mm)以上。为了保持上述GlO尺寸以上的玻璃基板，优选使用具有3200 (mm) X3000 (mm)以上的尺寸的保
持用膜体。为了达到上述目的，本发明提供一种玻璃基板的研磨方法，其特征在于，利用本发明的玻璃基板保持用膜体吸附保持玻璃基板，将该玻璃基板的被研磨面推压到研磨垫上，并将玻璃基板的被研磨面研磨至所需的平坦度。由此，根据本发明，能够提高研磨后的玻璃基板的质量。发明效果如上所述，根据本发明，通过使配置在同一面内的多片双面胶粘片的相邻的双面胶粘片以各自隔开预定间隙的方式粘贴在背板上，能够提高研磨后的玻璃基板的质量。
图I是应用实施方式的玻璃基板保持用膜体的玻璃基板的研磨装置的立体图。图2是表示图I所示的研磨装置的主要部分构造的放大剖面图。图3是第一实施方式的保持用膜体的立体图。图4是图3所示的保持用膜体的截面图。图5是在图3所示的保持用膜体上吸附保持有玻璃基板的截面图。图6(A)是利用以隔开间隙的方式贴合的两片双面胶粘片将自吸附型片贴合在背板上的截面图，图6(B)是形成在玻璃基板的表面上的凸状部的说明图。
图7是第二实施方式的保持用膜体的截面图。图8是第三实施方式的保持用膜体的截面图。图9(A)是通过将两片双面胶粘片的端部重叠而将自吸附型片贴合在背板上的截面图，图9(B)是形成在玻璃基板的表面上的凹状部的说明图。
具体实施例方式以下，根据附图对本发明的玻璃基板保持用膜体及玻璃基板的研磨方法的优选实施方式进行说明。图I示出了应用实施方式的玻璃基板保持用膜体的玻璃基板的研磨装置10的立体图。另外，图2中示出了表示研磨装置10的主要部分构造的放大剖面图。
该研磨装置10是用于将制造成矩形的母玻璃基板(例如，边长为3130mmX2880mm(G10尺寸)以上、厚度为0. 7mm)G的被研磨面A研磨至液晶显示器用玻璃基板所需的平坦度的研磨装置，作为其构成，由借助实施方式的保持用膜体12将玻璃基板G保持在其下表面的研磨头14和借助铝制平板16将研磨垫18保持在其上表面的研磨台20构成。母玻璃基板(以下称为玻璃基板)G由包含具有自吸附作用的背衬材料等的保持用膜体12保持，并且由研磨头14将被研磨面A推压到研磨垫18上，由此，将被研磨面A研磨至所需的平坦度。为了吸附保持上述尺寸的大型玻璃基板G，优选保持用膜体12具有3200 (mm) X 3000 (mm)以上的尺寸。另外，保持用膜体12的详细结构如后所述。如图2所示，在研磨中，由贯通形成于研磨台20和平板16的多个浆料供给孔22、22…自研磨垫18的下表面侧供给二氧化铈水溶液等研磨浆料。由此，形成研磨垫18被研磨浆料浸泡的状态，在该状态下对玻璃基板G进行研磨。浆料供给孔22、22…密集且均匀地形成在研磨台20和平板16上，因此，研磨浆料被均匀地供给至研磨垫18。需要说明的是，作为研磨垫18，可以使用例如发泡聚氨酯型或绒面革型研磨垫，将其贴合在平板16上。另夕卜，研磨垫18可以为一片，但由于其尺寸与玻璃基板G的尺寸相应地也较大，因此，也可以将多片分割垫组合成一片研磨垫18。而且，在研磨台20上贯通形成有多个抽吸孔24、24…，这些抽吸孔24、24…通过阀与未图示的抽吸泵连接。因此，通过打开上述阀，抽吸泵的吸引力传递到抽吸孔24、24…，因此，平板16被吸附保持于研磨台20的上表面。通过关闭上述阀，抽吸泵的吸引力被解除，因此，在研磨垫18的维护、更换时能够将研磨垫18和平板16一起从研磨台20上拆卸下来。如图I所示，在研磨头14的上部中央固定有主轴26，该主轴26上连接有旋转/升降装置28。旋转/升降装置28由统一控制整个研磨装置10的控制部30控制到适合玻璃基板G的研磨的转速和下降动作(推压力)。图3中示出了第一实施方式的保持用膜体12的立体图，图4中示出了保持用膜体12的截面图。另外，图5中示出了在保持用膜体12上吸附保持有玻璃基板G的截面图。需要说明的是，图3的保持用膜体12以上下颠倒的方式表示。如上述图中所示，保持用膜体12通过借助配置在同一面内的两片双面胶粘片34、34将一片自吸附型片32粘贴在铝制背板36上而构成，并且，如图5所示，玻璃基板G吸附保持于自吸附型片32上。需要说明的是，图3 图5中例示了使用两片双面胶粘片34、34将一片自吸附型片32胶粘到背板36上而得到的保持用膜体12，但也可以是使用配置在同一面内的3片以上的双面胶粘片34、34…将一片自吸附型片32胶粘到背板36上而得到的保持用膜体12。自吸附型片32为专利文献2中公开的由聚氨酯树脂形成的聚氨酯片，其厚度约为
0.8_。该聚氨酯片的表面层上形成有多微孔，通过使表面层中含有水等液体，能够利用渗入到表面层的多微孔中的液体的表面张力来吸附保持玻璃基板G。另外，双面胶粘片34通过在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)等的基材38的两面上涂布胶粘剂40、40而构成，其厚度约为0. 2_。图3 图5中所示的保持用膜体12中，在一片自吸附型片32上使用配置在同一面内的两片双面胶粘片34、34，并且两片双面胶粘片34、34以隔开预定间隙的方式粘贴在自吸附型片32和背板36上。根据以上述方式构成的保持用膜体12，使用两片双面胶粘片34、34将一片自吸附 型片32胶粘到背板36上，此时，使双面胶粘片34、34以隔开预定间隙的方式粘贴在自吸附型片32和背板36上。对于由这种保持用膜体12保持而进行研磨后的玻璃基板G而言，如图6 (A)所示，位于间隙s处的自吸附型片32的一部分32a因研磨时的推压力等进入间隙s中，因此，在与该间隙s对应的自吸附型片32的吸附面上产生凹状部32b。因此，吸附保持在该凹状部32b上的玻璃基板G的一部分G1变形为凸状，该凸状转印到玻璃基板G的被研磨面上而形成凹状部5。在转印有凹状部5的状态下对玻璃基板G进行研磨时，该凹状部5未被研磨，因此，如图6(B)所示，研磨后的玻璃基板G的形成该凹状部5的部分会相反地表现为凸状部5A。但是，与图9所示的以往的凹状部4A的深度量b相比，形成在玻璃基板G的表面上的凸状部5A的高度量a的绝对量减小，因此，并不会损害玻璃基板G的平坦性。由此，根据第一实施方式的保持用膜体12，能够提高研磨后的玻璃基板G的质量。另外，如图5所示，在保持用膜体12的背板36上安装有环形形状的弹性片材42，在该弹性片材42的外周固定有多个结合构件44、44…。保持用膜体12通过张紧设置弹性片材42并使这些结合构件44、44…结合在图I的研磨头14的钩部(未图示)而安装到研磨头14上。图7中示出了第二实施方式的保持用膜体112的截面图，对与图3所示的保持用膜体12同一类似的构件标注同一符号来进行说明。保持用膜体112使用各自配置在同一面内且各为两片的自吸附型片32A、32A和双面胶粘片34、34，并且，各为两片的自吸附型片32A、32A和双面胶粘片34、34以隔开预定间隙s的方式粘贴在背板36上。需要说明的是，图7中例示了将各为两片的自吸附型片32A、32A和双面胶粘片34、34胶粘到背板36上而得到的保持用膜体112，但也可以是将各为3片以上的自吸附型片32A、32A…和双面胶粘片34、34…胶粘到背板36上而得到的保持用膜体 112。根据以上述方式构成的保持用膜体112，使用两片各自贴合在自吸附型片32A、32A上的双面胶粘片34、34将两片自吸附型片32A、32A胶粘到背板36上，此时，使自吸附型片32A、32A和双面胶粘片34、34以隔开预定间隙s的方式粘贴在背板36上。如图6(A)、图6(B)所示，对于由这种保持用膜体112保持而进行研磨后的玻璃基板G而言，虽然由于在间隙s被转印的状态下进行研磨而在其表面上形成凸状部5A，但与图9(B)所示的凹状部4A的深度量b相比，凸状部5A的高度量a的绝对量减小，因此并不会损害玻璃基板G的平坦性。由此，根据第二实施方式的保持用膜体112，能够提高研磨后的玻璃基板G的质量。需要说明的是，优选使间隙s的形成方向与制造作为玻璃基板G的原材的平板玻璃的浮法制造装置中玻璃带的拉出方向相同。即，通过使因间隙s在玻璃基板G上产生的凹状槽的方向与因玻璃带拉出而在平板玻璃的表面上产生的痕纹的方向相同，可使凸状槽变得不太显眼，因此优选。 另外，预定间隙s优选设定为0. 5mm±0. 5mm。SP,实施例中规定的预定间隙s包括0mm，优选为0 I. 0mm。间隙为Omm时，不会在研磨后的玻璃基板G上产生转印所致的凹状部4A、凸状部5A，另外，间隙为I. Omm时，因转印而形成在玻璃基板G上的凸状部5A对显示器用玻璃基板G的质量没有影响。图8中示出了第三实施方式的保持用膜体212的截面图，对与图3所示的保持用膜体12同一类似的构件标注同一符号来进行说明。保持用膜体212中，在一片自吸附型片32上重叠贴合有两片双面胶粘片34A、34A、34B、34B。另外，直接粘贴在自吸附型片32上的同一面内的双面胶粘片34A、34A以隔开预定间隙Si的方式粘贴，粘贴在上述双面胶粘片34A、34A上的同一面内的双面胶粘片34B、34B也同样以隔开预定间隙s2的方式粘贴。而且，双面胶粘片34A、34A、34B、34B以两片重叠而贴合的各个双面胶粘片34A、34A、34B、34B之间的间隙sI、s2在双面胶粘片的层叠方向上不重合(即，图中在左右方向上错开而在上下方向上不重合)的方式贴合。需要说明的是，实施方式的保持用膜体212中，示出了使用4片双面胶粘片34A、34A、34B、34B并将这些双面胶粘片34A、34A、34B、34B以两片重叠的方式进行配置的示例，但也可以是使用6片以上的双面胶粘片并以3片以上重叠的方式进行配置的保持用膜体。根据以上述方式构成的保持用膜体212，使用4片双面胶粘片34A、34A、34B、34B将一片自吸附型片32胶粘到背板36上，此时，双面胶粘片34A、34A、34B、34B至少两片重叠贴合，而且，双面胶粘片34A、34A以隔开预定间隙Si的方式粘贴，粘贴在上述双面胶粘片34A、34A上的同一面内的双面胶粘片34B、34B也同样以隔开预定间隙s2的方式粘贴在背板36上，并且以两片重叠而贴合的各个双面胶粘片34A、34A、34B、34B之间的间隙si、s2在双面胶粘片的层叠方向上不重合(即，图中在左右方向上错开而在上下方向上不重合)的方式粘贴。对于由这种保持用膜体212保持而进行研磨后的玻璃基板G而言，虽然由于在间隙Si、s2被转印的状态下进行研磨而在其表面上形成两个凸状部5A、5A(参考图6)，但两个间隙Si、s2在双面胶粘片的层叠方向上不重合(即，图中在左右方向上错开而在上下方向上不重合)，因此，能够抑制间隙sl、s2所致的转印量。即，为了加固该间隙Si所致的自吸附型片32的变形，在双面胶粘片34A、34A的间隙si的下方配置有图中右侧的双面胶粘片34B以堵住间隙Si，另外，为了加固该间隙s2所致的自吸附型片32的变形，在双面胶粘片34B、34B的间隙s2的上方配置有图中左侧的双面胶粘片34A以堵住间隙s2。因此，根据实施方式的保持用膜体212，能够将形成在玻璃基板G的表面上的凸状部5A(参考图6)的高度抑制在较低水平，因此，能够更进一步地提高研磨后的玻璃基板G的质量。需要说明的是，优选间隙sl、s2与图3的间隙s相同。另外，优选使间隙sl、s2的形成方向与制造作为玻璃基板G的原材的平板玻璃的浮法制造装置中玻璃带的拉出方向相同。标号说明I自吸附型片2双面胶粘片
3 背板4凸状部4A凹状部5凹状部5A凸状部10研磨装置12、112、212 保持用膜体14研磨头16 平板18研磨垫20研磨台22浆料供给孔24抽吸孔26 主轴28旋转/升降装置30控制部32自吸附型片34.34A.34B 双面胶粘片36 背板38 基材40胶粘剂42弹性片材44结合构件G玻璃基板
权利要求
1.一种玻璃基板保持用膜体，通过借助双面胶粘片将自吸附型片粘贴在背板上而构成，并且玻璃基板吸附保持于所述自吸附型片上，其中， 所述双面胶粘片包含配置在同一面内的多片双面胶粘片，该多片双面胶粘片以相邻的双面胶粘片各自隔开预定间隙的方式粘贴在所述自吸附型片和所述背板上。
2.一种玻璃基板保持用膜体，通过借助双面胶粘片将自吸附型片粘贴在背板上而构成，并且玻璃基板吸附保持于所述自吸附型片上，其中， 所述自吸附型片和所述双面胶粘片各自包含设置在同一面内的多片所述自吸附型片和多片所述双面胶粘片，该多片自吸附型片和多片双面胶粘片以相邻的自吸附型片和双面胶粘片各自隔开预定间隙的方式粘贴在所述背板上。
3.一种玻璃基板保持用膜体，通过借助双面胶粘片将自吸附型片粘贴在背板上而构成，并且玻璃基板吸附保持于所述自吸附型片上，其中， 所述双面胶粘片包含配置在同一面内的多片双面胶粘片，且至少两片双面胶粘片重叠贴合，同一面内的多片双面胶粘片以各自隔开预定间隙的方式粘贴，并且，双面胶粘片之间的预定间隙与在双面胶粘片的层叠方向上相邻的双面胶粘片之间的预定间隙在双面胶粘片的层叠方向上不重合。
4.如权利要求I 3所述的玻璃基板保持用膜体，其中，所述预定的间隙为0. 5mm + 0. 5mm。
5.如权利要求I 4中任一项所述的玻璃基板保持用膜体，其中，所述玻璃基板的尺寸为 31 30mmX2880mm 以上。
6.如权利要求5所述的玻璃基板保持用膜体，其中，所述保持用膜体的尺寸为3200mmX3000mm 以上。
7.—种玻璃基板的研磨方法,其中,利用权利要求I 6中任一项所述的玻璃基板保持用膜体吸附保持玻璃基板，将该玻璃基板的被研磨面推压到研磨垫上，并将玻璃基板的被研磨面研磨至所需的平坦度。
全文摘要
本发明涉及一种玻璃基板保持用膜体，通过借助双面胶粘片将自吸附型片粘贴在背板上而构成，并且玻璃基板吸附保持于所述自吸附型片上，其中，所述双面胶粘片包含配置在同一面内的多片双面胶粘片，该多片双面胶粘片以相邻的双面胶粘片各自隔开预定间隙的方式粘贴在所述自吸附型片和所述背板上。
文档编号H01L21/304GK102811837SQ201080065758
公开日2012年12月5日 申请日期2010年3月25日 优先权日2010年3月25日
发明者横田稔, 古田充, 笹森孝 申请人:旭硝子株式会社, 富士纺控股株式会社