专利名称：浸泡桶的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种容器，尤其涉及一种浸泡桶。
背景技术：
在半导体工艺中，通常采用晶圆清洗刷对晶圆进行清洗，用以去除晶圆表面上的颗粒物质。为了保持晶圆清洗刷的清洁和柔软，需要对晶圆清洗刷进行定期的浸泡清洗。对晶圆清洗刷进行浸泡清洗，不仅可以对其起到清洁作用，还可以起到保持其刷毛柔软的目的，这样能够避免晶圆清洗刷在清洗晶圆的时候刮伤晶圆。所以，在对晶圆清洗刷进行浸泡的时候，最好是将其完全浸没，不然可能会使晶圆清洗刷部分暴露于空气中，使其软硬不均或者沾到空气中的颗粒物质。目前，通常采用浸泡桶对晶圆清洗刷进行浸泡和清洗。然而，在使用过程中发现， 当晶圆清洗刷浸在浸泡桶时，由于受到浮力的作用，晶圆清洗刷会浮上来，使得晶圆清洗刷的一部分刷毛暴露到空气中，不但造成其刷毛软硬不均或者沾到空气中的颗粒物质。因此，如何提供一种可以防止晶圆清洗刷浮起以避免其刷毛暴露于空气中的浸泡桶是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种浸泡桶，通过桶盖的凸出部将晶圆清洗刷压在浸泡桶，阻止晶圆清洗刷浮起，进而避免其刷毛暴露于空气中。为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案—种浸泡桶，包括桶身和桶盖，所述桶盖设在所述桶身上，所述桶盖具有向所述桶身内部突出的凸出部。可选的，在所述浸泡桶中，所述凸出部的顶部位于所述桶盖的中心部位。可选的，在所述浸泡桶中，所述桶盖的竖向截面是半圆形。可选的，在所述浸泡桶中，所述桶盖上还设有漏气孔。可选的，在所述浸泡桶中，所述漏气孔设置在所述桶盖的中心部位。可选的，在所述浸泡桶中，所述浸泡桶内放置有待清洗的晶圆清洗刷，所述晶圆清洗刷包括带有刷毛的刷桶和刷柄，所述刷桶和所述刷柄固定连接，所述漏气孔的直径小于所述刷柄的直径。本实用新型的有益效果如下本实用新型结构简单、使用方便，通过将普通的桶盖设计成具有向桶身内部突出的凸出部的桶盖，当桶盖盖在桶身上时，该凸出部会将晶圆清洗刷压在浸泡桶内，从而阻止晶圆清洗刷浮起，使得晶圆清洗刷的刷毛全部浸没在浸泡桶的清洗液中，避免了晶圆清洗刷出现部分刷毛暴露于空气中的现象，可以避免刷毛出现软硬不均的现象，保证晶圆清洗刷在刷洗晶圆时不会划伤晶圆；而且还可以避免刷毛被空气的颗粒物质污染，从而避免晶圆清洗刷污染晶圆，保证晶圆清洗工艺的稳定性和安全性。
本实用新型的浸泡桶由以下的实施例及附图给出。图1为本实用新型浸泡桶的实施例的结构示意图；图2为本实用新型浸泡桶的实施例的桶盖的结构示意图；图3为图2的俯视图。图中，1-桶身、2-桶盖、21-凸出部、211-漏气孔、3-刷柄、4-刷桶。
具体实施方式
以下将对本实用新型的浸泡桶作进一步的详细描述。下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率， 仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。请参阅图1 图3，其中，图1所示为本实用新型浸泡桶的实施例的结构示意图； 图2所示为本实用新型浸泡桶的实施例的桶盖的结构示意图；图3所示为图2的俯视图。这种浸泡桶，包括桶身1和桶盖2，所述桶盖2设在(即盖在)所述桶身1上，所述桶盖2具有向桶身1内部突出的凸出部21。本实施例中，所述浸泡桶内部放置有待清洗浸泡的晶圆清洗刷并充满清洗剂。所述晶圆清洗刷包括带有刷毛的刷桶3和刷柄4，所述刷桶3和所述刷柄4固定连接。优选的，所述桶盖2上还设有漏气孔211。本实施例中，所述漏气孔211设置在所述桶盖2的中心部位。所述漏气孔211具有排放空气的作用。如果桶盖2和桶身1是密封安装的，则漏气孔211是必须的。如果桶盖2和桶身1不是密封安装的，则增设漏气孔 211，可以使得桶盖2更加顺利地压住晶圆清洗刷，阻止晶圆清洗刷浮起，使得晶圆清洗刷的刷毛全部浸没在浸泡桶的清洗液中，避免了晶圆清洗刷出现部分刷毛暴露于空气中的现象，从而，不但可以避免刷毛出现软硬不均的现象，保证晶圆清洗刷在刷洗晶圆时不会划伤晶圆；而且，还可以避免刷毛被空气的颗粒物质污染，从而避免晶圆清洗刷污染晶圆，保证晶圆清洗工艺的稳定性和安全性较佳的，所述漏气孔211的直径小于所述刷柄4的直径。由于所述漏气孔211的直径小于所述刷柄4的直径且所述凸出部21的顶部(即最突出部分)位于所述桶盖2的中心部位。因此，使用桶盖2压住晶圆清洗刷的时候，所述凸出部21只和刷柄4接触，而不会接触到晶圆清洗刷的刷毛，从而避免晶圆清洗刷的刷毛被桶盖2的凸出部21污染。本实施例中，所述桶盖2的竖向截面是半圆形，这种结构形式的桶盖2加工比较方便，而且由于表面光滑，清洗也比较方便。当然，所述桶盖也可以是其他形状。本实用新型结构简单、使用方便，通过将普通的桶盖设计成具有向桶身内部突出的凸出部的桶盖，当桶盖盖在桶身上时，该凸出部会将晶圆清洗刷压在浸泡桶内，从而阻止晶圆清洗刷浮起，使得晶圆清洗刷的刷毛全部浸没在浸泡桶的清洗液中，避免了晶圆清洗刷出现部分刷毛暴露于空气中的现象，从而不但可以避免刷毛出现软硬不均的现象，从而保证晶圆清洗刷在刷洗晶圆时不会划伤晶圆；而且还可以避免刷毛被空气的颗粒物质污染，从而避免晶圆清洗刷污染晶圆，保证晶圆清洗工艺的稳定性和安全性。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求1.一种浸泡桶，包括桶身和桶盖，所述桶盖设在所述桶身上，其特征在于，所述桶盖具有向所述桶身内部突出的凸出部。
2.根据权利要求1所述的浸泡桶，其特征在于，所述凸出部的顶部位于所述桶盖的中心部位。
3.根据权利要求1所述的浸泡桶，其特征在于，所述桶盖的竖向截面是半圆形。
4.根据权利要求1所述的浸泡桶，其特征在于，所述桶盖上还设有漏气孔。
5.根据权利要求1 4中任意一项所述的浸泡桶，其特征在于，所述漏气孔设置在所述桶盖的中心部位。
6.根据权利要求5所述的浸泡桶，其特征在于，所述浸泡桶内放置有待清洗的晶圆清洗刷，所述晶圆清洗刷包括带有刷毛的刷桶和刷柄，所述刷桶和所述刷柄固定连接，所述漏气孔的直径小于所述刷柄的直径。
专利摘要本实用新型涉及一种容器，尤其涉及一种浸泡桶。这种浸泡桶，包括桶身和桶盖，所述桶盖设在所述桶身上，其特征在于，所述桶盖具有向所述桶身内部突出的凸出部。本实用新型结构简单、使用方便，通过将普通的桶盖设计成具有向桶身内部突出的凸出部的桶盖，当桶盖盖在桶身上时，该凸出部会将晶圆清洗刷压在浸泡桶内，从而阻止晶圆清洗刷浮起，使得晶圆清洗刷的刷毛全部浸没在浸泡桶的清洗液中，避免了晶圆清洗刷出现部分刷毛暴露于空气中的现象，从而不但可以避免刷毛出现软硬不均的现象，从而保证晶圆清洗刷在刷洗晶圆时不会划伤晶圆；而且还可以避免刷毛被空气的颗粒物质污染，从而避免晶圆清洗刷污染晶圆，保证晶圆清洗工艺的稳定性和安全性。
文档编号H01L21/00GK202094102SQ20112020008
公开日2011年12月28日 申请日期2011年6月14日 优先权日2011年6月14日
发明者余文军, 张方鹏 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司, 武汉新芯集成电路制造有限公司