块体无定形合金散热器的制作方法与工艺

文档序号:11733404阅读:来源:国知局
块体无定形合金散热器的制作方法与工艺

技术特征:
1.一种形成散热器的方法,包括:通过如下方式在块体凝固型无定形合金部件中浮凸纳米和/或微米级特征:将所述块体凝固型无定形合金在高于所述块体凝固型无定形合金的玻璃化转变温度(Tg)的温度下超塑性成形;以及在浮凸所述纳米和/或微米级特征之后,将至少一部分块体凝固型无定形合金部件从无定形相转化成结晶相;其中:所述块体凝固型无定形合金能够经受最高至1.5%或更高的应变,而没有任何永久性变形或破损;并且其中所述散热器被配置成通过空气的自然对流、空气的强制对流、流体的流体相变和/或液体的液体冷却将热量转移出所述散热器。2.根据权利要求1所述的方法,其中浮凸纳米和/或微米级特征的操作包括:用模具压印所述块体凝固型无定形合金的一部分。3.根据权利要求2所述的方法,其中模具限定所述纳米和/或微米级特征的阴像。4.根据权利要求1所述的方法,还包括:将所述块体凝固型无定形合金从低于Tg加热至介于Tg与所述块体凝固型无定形合金的熔融温度(Tm)之间的温度;将所述块体凝固型无定形合金插入到模具中;其中浮凸纳米和/或微米级特征的操作包括通过模具在所述块体凝固型无定形合金上施加力。5.根据权利要求1所述的方法,其中所述纳米和/或微米级特征包括通道,用于将流体输送穿过所述通道。6.根据权利要求1所述的方法,其中所述方法在不采用湿加工或蚀刻的情况下进行。7.根据权利要求1所述的方法,还包括加工金属合金以形成所述块体凝固型无定形合金,其中执行所述加工,使得所述加工期间的时间温度曲线不横向穿过界定所述金属合金的时间温度转变(TTT)图中的结晶区的区域。8.根据权利要求1所述的方法,还包括通过所述散热器的超塑性成形将所述散热器热粘结至物体。9.根据权利要求8所述的方法,其中所述物体为电子设备、冷却风扇和/或热电冷却设备。10.根据权利要求8所述的方法,还包括热粘结所述散热器与所述物体之间的块体凝固型无定形合金覆盖层。11.根据权利要求1所述的方法,其中将至少一部分块体凝固型无定形合金部件从无定形相转化成晶态相的操作包括使全部块体凝固型无定形合金部件结晶。12.一种包括块体凝固型无定形合金的散热器的装置:该散热器包括:具有基本无定形相的第一部分;具有基本结晶相的第二部分;和浮凸在该散热器上的纳米和/或微米级特征,其中所述散热器被配置成通过空气的自然对流、空气的强制对流、流体的流体相变和/或液体的液体冷却将热量进行转移。13.根据权利要求12所述的装置,还包括热连接到该散热器的电子设备和/或IC芯片。14.一种包括散热器的装置:该散热器包括:包含具有第一部分和第二部分的块体凝固型无定形合金且具有纳米和/或微米级特征的基底层,该第一部分具有基本无定形相,且第二部分具有基本结晶相;和在该纳米和/或微米级特征的至少一部分上方的传导表面层,该传导表面层具有高于该块体凝固型无定形合金的热导率。15.根据权利要求14所述的装置,还包括热连接到该散热器的电子设备和/或IC芯片。
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