专利名称：一种非晶微晶硅叠层薄膜太阳能电池的制作方法
技术领域：
本实用新型属于非晶/微晶硅叠层薄膜太阳能电池领域，涉及非晶/微晶硅叠层薄膜太阳能电池的组成结构。
背景技术：
世界能源的需求使太阳电池技术得到了迅猛的发展，特别是今天，薄膜太阳能电池应用越来越广泛，人们为了增加企业的竞争力，在太阳能电池领域开发了很多新的产品，如非晶/微晶硅叠层薄膜太阳能电池，人们对非晶/微晶硅叠层薄膜太阳能电池的背电极的制作工艺一直在摸索中前行，传统的氧化锌和金属复合而成的背电极层的原材料成本还有待降低、且导电性和热传导性还有待提高。
发明内容本实用新型为了在现有技术的基础上降低背电极层的原料成本、及提高背电极的导电性和热传导性，设计了一种非晶微晶硅叠层薄膜太阳能电池，本实用新型提供的背电极具有良好的导电性和热传导性，且达到了降低原材料的成本的目的。本实用新型采用的技术方案是一种非晶微晶硅叠层薄膜太阳能电池，结构中包括TCO玻璃、非晶硅/微晶硅叠层、背电极层、及背板玻璃，关键在于所述的背电极层是由4层金属膜层组成的复合结构。所述的4层金属膜层由里到外依次为钛层、镍层、银层、及镍钒合金层。本实用新型的关键在于1)钛层，由于钛Ti这种金属具有好的粘附性，所以用此金属可起到好的粘附作用，有效地防止膜层脱落；2)镍层，镍Ni为过渡金属；3)银层，起到增加光的反射；4)镍钒合金层，主要起到防止银层被氧化的作用。本实用新型的有益效果是其一、本实用新型中的背电极较传统的氧化锌和金属复合而成的背电极层的原材料成本降低；其二、本实用新型的背电极具有良好的导电性和热传导性。
图I是本实用新型的结构示意图。附图中，I是TCO玻璃，2是非晶硅/微晶硅叠层，3是钛层，4是镍层、5是银层，6是镍f凡合金层。
具体实施方式
一种非晶微晶硅叠层薄膜太阳能电池，结构中包括TCO玻璃I、非晶硅/微晶硅叠层2、背电极层、及背板玻璃，重要的是所述的背电极层是由4层金属膜层组成的复合结构。所述的4层金属膜层由里到外依次为钛层3、镍层4、银层5、及镍钒合金层6。[0012]所述的钛层3的膜层厚度为95— 120nm。所述的镍层4的膜层厚度为80 — lOOnm。所述的银层5的膜层厚度为280— 300nm。所述的镍钥;合金层6的膜层厚度为50—60nm。在具体实施时，如图I所示，在TCO玻璃I上沉积非晶硅/微晶硅叠层2后，再在非晶硅/微晶硅叠层2上依次沉积钛层3、镍层4、银层5、及镍钒合金层6。其中，沉积钛层3时的沉积速率15 — 20A/S，膜层厚度为95— 120nm ;之后在钛层3上沉积镍层4，沉积速率为5 — 10A/S，膜层厚度为80 — IOOnm ;然后在镍层4上沉积银层5，沉积速率为15 — 20A/S，膜层厚度为280— 300nm ;最后在银层5上沉积一层镍钒合金层6，沉积速率为5 — 9A/S，膜层厚度为50— 60nm。本实用新型中的背电极镀膜工艺采用蒸发 的方法进行，可以大大地降低原材料的成本；且该背电极具有良好的导电性和热传导性。
权利要求1.一种非晶微晶硅叠层薄膜太阳能电池，结构中包括TCO玻璃(I)、非晶硅/微晶硅叠层(2)、背电极层、及背板玻璃，其特征在于所述的背电极层是由4层金属膜层组成的复合结构。
2.根据权利要求I所述的一种非晶微晶硅叠层薄膜太阳能电池，其特征在于所述的4层金属膜层由里到外依次为钛层(3)、镍层(4)、银层(5)、及镍钒合金层(6)。
3.根据权利要求2所述的一种非晶微晶硅叠层薄膜太阳能电池，其特征在于所述的钛层(3)的膜层厚度为95— 120nm。
4.根据权利要求2所述的一种非晶微晶硅叠层薄膜太阳能电池，其特征在于所述的镍层(4)的膜层厚度为80 — lOOnm。
5.根据权利要求2所述的一种非晶微晶硅叠层薄膜太阳能电池，其特征在于所述的银层(5)的膜层厚度为280— 300nm。
6.根据权利要求2所述的一种非晶微晶硅叠层薄膜太阳能电池，其特征在于所述的镍钒合金层(6)的膜层厚度为50— 60nm。
专利摘要一种非晶微晶硅叠层薄膜太阳能电池，结构中包括TCO玻璃、非晶硅/微晶硅叠层、背电极层、及背板玻璃，关键在于所述的背电极层是由4层金属膜层组成的复合结构。本实用新型的有益效果是其一、本实用新型中的背电极较传统的氧化锌和金属复合而成的背电极层的原材料成本降低；其二、本实用新型的背电极具有良好的导电性和热传导性。
文档编号H01L31/0224GK202487592SQ20122013632
公开日2012年10月10日 申请日期2012年4月1日 优先权日2012年4月1日
发明者刘秀, 李兆廷, 王小军, 邢丽芬, 陈志维 申请人:东旭集团有限公司, 成都泰轶斯太阳能科技有限公司