新型非晶硅太阳能电池薄膜制备装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及太阳能电池生产设备技术领域，尤其是一种新型非晶硅太阳能电池薄膜制备装置。这种新型非晶硅太阳能电池薄膜制备装置，包括薄膜生成箱，薄膜生成箱侧壁上方安装有气体汇总管，薄膜生成箱侧壁下方设有排气管，所述薄膜生成箱内腔上部安装有阳极，阳极下方对应设有阴极，阳极下表面安装有衬底；所述薄膜生成箱内腔下部安装有加热板，阴极通过底座安装于加热板上表面，加热板通过电线连接有频射电源，加热板和频射电源之间的线路上安装有电容。本实用新型结构简单，设计合理，操作简便，薄膜生成稳定性能良好，薄膜质量良好，同时使用寿命长，不需要经常维修和更换零件，使用成本低。
【专利说明】
新型非晶硅太阳能电池薄膜制备装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及太阳能电池生产设备技术领域，尤其是一种新型非晶硅太阳能电池薄膜制备装置。
【背景技术】
[0002]随着经济的发展、社会的进步，人们对能源提出越来越高的要求，寻找新能源成为当前人类面临的迫切课题。太阳能是一种干净的可再生的新能源，越来越受到人们的青睐。太阳能发电已成为获取电力的一种重要手段，其不受地域、线路、气候等制约，具有其他发电手段不可替代的优势。晶硅太阳能电池在现阶段的大规模应用和工业生产中占据主导地位，但由于其成本过高，限制了其发展，因此慢慢地被非晶硅太阳能电池取代了。传统的非晶硅太阳能电池薄膜制备设备结构复杂，操作繁琐，成膜稳定性能差。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型要解决的技术问题是:克服现有技术中之不足，提供一种结构简单，成膜稳定的新型非晶硅太阳能电池薄膜制备装置。
[0004]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种新型非晶硅太阳能电池薄膜制备装置，包括薄膜生成箱，薄膜生成箱侧壁上方安装有气体汇总管，薄膜生成箱侧壁下方设有排气管，所述薄膜生成箱内腔上部安装有阳极，阳极下方对应设有阴极，阳极下表面安装有衬底;所述薄膜生成箱内腔下部安装有加热板，阴极通过底座安装于加热板上表面，加热板通过电线连接有频射电源，加热板和频射电源之间的线路上安装有电容;所述气体汇总管上并联连接有硅烷气体进气管、硼烷气体进气管和磷烷气体进气管。
[0005]进一步地，所述的硅烷气体进气管、硼烷气体进气管和磷烷气体进气管均安装有流量计和流量调节阀。
[0006]进一步地，其特征在于:所述的排气管上安装有抽气栗和排气阀，排气阀位于薄膜生成箱与抽气栗之间的管路上。
[0007]本实用新型的有益效果是:本实用新型结构简单，设计合理，操作简便，薄膜生成稳定性能良好，薄膜质量良好，同时使用寿命长，不需要经常维修和更换零件，使用成本低。
【附图说明】
[0008]下面结合附图和实施方式对本实用新型进一步说明。
[0009]图1是本实用新型的结构示意图。
[0010]图中1.硅烷气体进气管，2.硼烷气体进气管，3.磷烷气体进气管，4.流量计，5.流量调节阀，6.气体汇总管，7.衬底，8.阳极，9.阴极，10.薄膜生成箱，11.底座，12.加热板，13.电容，14.频射电源，15.排气管，16.抽气栗，17.排气阀。
【具体实施方式】
[0011]现在结合附图对本实用新型作进一步的说明。这些附图均为简化的示意图仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
[0012]如图1所示的新型非晶硅太阳能电池薄膜制备装置，包括薄膜生成箱10，薄膜生成箱10侧壁上方安装有气体汇总管6，薄膜生成箱10侧壁下方设有排气管15，薄膜生成箱10内腔上部安装有阳极8，阳极8下方对应设有阴极9，阳极8下表面安装有衬底7;薄膜生成箱10内腔下部安装有加热板12，阴极9通过底座11安装于加热板12上表面，加热板12通过电线连接有频射电源14，加热板12和频射电源14之间的线路上安装有电容13;气体汇总管6上并联连接有硅烷气体进气管1、硼烷气体进气管2和磷烷气体进气管3。薄膜生成箱10安装有检测薄膜生成箱10内压力的压力表。
[0013]硅烷气体进气管1、硼烷气体进气管2和磷烷气体进气管3均安装有流量计4和流量调节阀5;排气管15上安装有抽气栗16和排气阀17，排气阀17位于薄膜生成箱10与抽气栗16之间的管路上。
[0014]工作时，娃烧气体、硼烧气体以及磷烧气体进气管3分别从娃烧气体进气管1、从硼烷气体进气管2和磷烷气体进气管3进入气体汇总管6混合，混合气体进入薄膜生成箱10;与此同时，流量调节阀5调节气体流量，抽气栗16工作，使得薄膜生成箱10内的气压达到工艺要求的值。在阳极8和阴极9之间加上电压，由阴极9发射出的电子在电场被加速获得能量，通过与薄膜生成箱10中气体原子或分子碰撞，使得气体原子或分子分解、激发或电离，在薄膜生成箱10中形成很多电子、离子、活性基团以及亚稳的原子和分子等，这些粒子经过复杂的物理化学反应过程，就会沉积在衬底7上而形成薄膜。
[0015]这种新型非晶硅太阳能电池薄膜制备装置结构简单，设计合理，操作简便，薄膜生成稳定性能良好，薄膜质量良好，同时使用寿命长，不需要经常维修和更换零件，使用成本低。
[0016]上述实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。
【主权项】
1.一种新型非晶硅太阳能电池薄膜制备装置，其特征在于:包括薄膜生成箱(10)，薄膜生成箱(10)侧壁上方安装有气体汇总管(6)，薄膜生成箱(10)侧壁下方设有排气管(15)，所述薄膜生成箱(10)内腔上部安装有阳极(8)，阳极(8)下方对应设有阴极(9)，阳极(8)下表面安装有衬底(7);所述薄膜生成箱(10)内腔下部安装有加热板(12)，阴极(9)通过底座(11)安装于加热板(12)上表面，加热板(12)通过电线连接有频射电源(14)，加热板(12)和频射电源(I4)之间的线路上安装有电容(I3);所述气体汇总管(6)上并联连接有硅烷气体进气管(I)、硼烷气体进气管(2)和磷烷气体进气管(3)。2.根据权利要求1所述的新型非晶硅太阳能电池薄膜制备装置，其特征在于:所述的硅烷气体进气管(1)、硼烷气体进气管(2)和磷烷气体进气管(3)均安装有流量计(4)和流量调节阀(5)。3.根据权利要求1所述的新型非晶硅太阳能电池薄膜制备装置，其特征在于:所述的排气管(15)上安装有抽气栗(16)和排气阀(17)，排气阀(17)位于薄膜生成箱(10)与抽气栗(16)之间的管路上。
【文档编号】H01L31/20GK205576276SQ201620356219
【公开日】2016年9月14日
【申请日】2016年4月25日
【发明人】朱云
【申请人】泰州市恒晟新能源科技有限公司