一种新型电光源用电容器的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种新型电光源用电容器，它涉及电容器领域。它包括上层可动金属膜、下层可动金属膜、氮化物隔离层和硅基层，硅基层上设置有氮化物隔离层，氮化物隔离层上方依次设置有下层可动金属膜和上层可动金属膜，所述的下层可动金属膜上表面还设置有氮化物薄膜。本实用新型结构简单，反应速度快、受环境改变的影响比较小、消耗能量少、使用寿命长。
【专利说明】一种新型电光源用电容器
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及的是电容器领域，具体涉及一种新型电光源用电容器。
【背景技术】
[0002]电容量可在某一小范围内调整，并可在调整后固定于某个电容值的电容器称作可调电容器，也叫做半微调电容器。可调电容是没有极性的。传统的静电驱动金属膜式单极板可调电容器的可调范围小，驱动速度快不够快。
实用新型内容
[0003]针对现有技术上存在的不足，本实用新型目的是在于提供一种新型电光源用电容器，结构简单，反应速度快、受环境改变的影响比较小、消耗能量少、使用寿命长。
[0004]为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现:一种新型电光源用电容器，包括上层可动金属膜、下层可动金属膜、氮化物隔离层和硅基层，硅基层上设置有氮化物隔离层，氮化物隔离层上方依次设置有下层可动金属膜和上层可动金属膜，所述的下层可动金属膜上表面还设置有氮化物薄膜。
[0005]作为优选，所述的上层可动金属膜与氮化物薄膜之间设置有2μπι的空气层。
[0006]作为优选，所述的氮化物隔离层与下层可动金属膜之间设置有0.5 μ m的空气隙。
[0007]本实用新型结构简单，反应速度快、受环境改变的影响比较小、消耗能量少、使用寿命长。
【专利附图】
【附图说明】
[0008]下面结合附图和【具体实施方式】来详细说明本实用新型；
[0009]图1为本实用新型的结构示意图。
【具体实施方式】
[0010]为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合【具体实施方式】，进一步阐述本实用新型。
[0011]参照图1，本【具体实施方式】采用以下技术方案:一种新型电光源用电容器，包括上层可动金属膜1、下层可动金属膜2、氮化物隔离层3和硅基层4，硅基层4上设置有氮化物隔离层3，氮化物隔离层3上方依次设置有下层可动金属膜2和上层可动金属膜1，所述的下层可动金属膜2上表面还设置有氮化物薄膜21。
[0012]值得注意的是，所述的上层可动金属膜I与氮化物薄膜21之间设置有2μπι的空气层。
[0013]此外，所述的氮化物隔离层3与下层可动金属膜2之间设置有0.5 μ m的空气隙。
[0014]本【具体实施方式】的结构包括两层可动金属板，下层金属板上覆盖一层薄的绝缘层，防止两层金属膜发生接触粘连。上下两层可动板之间留有一定厚度的空气隙，金属板在这个区域内可以活动。
[0015]本【具体实施方式】结构简单，反应速度快、受环境改变的影响比较小、消耗能量少、使用寿命长。
[0016]以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
【权利要求】
1.一种新型电光源用电容器，其特征在于，包括上层可动金属膜(I)、下层可动金属膜(2)、氮化物隔离层(3)和硅基层(4)，硅基层(4)上设置有氮化物隔离层(3)，氮化物隔离层(3)上方依次设置有下层可动金属膜(2)和上层可动金属膜(I)，所述的下层可动金属膜(2)上表面还设置有氮化物薄膜(21)。
2.根据权利要求1所述的一种新型电光源用电容器，其特征在于，所述的上层可动金属膜(I)与氮化物薄膜(21)之间设置有2μπι的空气层。
3.根据权利要求1所述的一种新型电光源用电容器，其特征在于，所述的氮化物隔离层(3)与下层可动金属膜(2)之间设置有0.5μπι的空气隙。
【文档编号】H01G5/013GK203397913SQ201320498343
【公开日】2014年1月15日 申请日期:2013年8月15日 优先权日:2013年8月15日
【发明者】罗学民, 刘宇, 罗浩民 申请人:长兴友畅电子有限公司