隔离式搬运盒的抵持构件的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开一种隔离式搬运盒的抵持构件，包含至少一第一抵持件及数个第二抵持件，所述第一抵持件包含一第一底座、二第一弹性挡片及一第一抵持环，所述第一抵持环的顶面形成有二第一凸块，每一第二抵持件包含一第二底座、一第二弹性挡片及一第二抵持环，所述第二抵持环的顶面形成有一第二凸块。利用所述第一、二弹性挡片及第一、二凸块抵靠被承载件，可有效地固定被承载件，并减少形成尘粒而避免良率受到影响。
【专利说明】隔离式搬运盒的抵持构件
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种抵持构件，特别是有关于一种隔离式搬运盒的抵持构件。
【背景技术】
[0002]目前的晶圆(wafer)代工厂或半导体制造厂在制造晶圆的过程中，产品良率可以决定一间半导体工厂获利与否。因此，如何减少半导体晶圆制造过程在储存及运送过程中所受的微粒过量，并致力于提高产品的良率是经营者最重要的课题。
[0003]为解决上述课题，现今半导体制造过程中常使用自动化物料搬运系统(AutomatedMaterial Handling System, AMHS)与隔离进出料标准机械介面(Standard MechanicalInterface, SMIF)设备,其通过隔离式搬运盒进行晶圆与光掩模(photomask)于非使用期间的维护与运送，不但能取代传统人工搬运、降低无尘室设备的建置与维护成本，还能提升晶圆与光掩模的洁净度，达到超高生产良率，故近年来，隔离式搬运盒已成为半导体厂无尘室中不可或缺的搬运工具。
[0004]如图1所示，为一般现有的隔离式搬运盒10，其具有一上盖11及一下盖12，所述上盖11及下盖12可组合在一起，其中所述下盖12的两侧设置相对二限位件13，两相对的限位件13的其中一相邻侧边更配置一限制件14。因此，当放入一片光掩模于所述下盖12时，可通过所述限位件13及限制件14固定支撑所述光掩模。
[0005]然而，当隔离式搬运盒10的上盖11及下盖12盖合一光掩模时，所述限位件13及限制件14会支撑光掩模的边缘，但由于上盖11及下盖12盖合时会产生间隙，使光掩模在运送的过程中会在未设有限制装置的一侧方向上产生位移，不仅使光掩模产生磨损而降低的光掩模的使用寿命，也会因为磨擦而形成尘粒，影响良率。
[0006]故，有必要提供一种改良的隔离式搬运盒的抵持构件，以解决现有技术所存在的问题。
实用新型内容
[0007]有鉴于此，本实用新型提供一种隔离式搬运盒的抵持构件，其利用第一、二弹性挡片及第一、二凸块抵靠被承载件，可有效地固定被承载件，减少形成尘粒而避免良率受到影响。
[0008]本实用新型的主要目的在于提供一种隔离式搬运盒的抵持构件，其设置在一隔离式搬运盒的一上盖，所述抵持构件包含至少一第一抵持件及数个第二抵持件，所述第一抵持件包含一第一底座、二第一弹性挡片及一第一抵持环，所述第一弹性挡片自所述第一底座顶面延伸且相间隔，所述第一抵持环自所述第一底座侧面延伸且环绕在所述第一弹性挡片外，其中所述第一抵持环的顶面形成有二第一凸块，每一第二抵持件包含一第二底座、一第二弹性挡片及一第二抵持环，所述第二弹性挡片自所述第二底座顶面延伸，所述第二抵持环自所述第二底座侧面延伸且环绕在所述第二弹性挡片外，其中所述第二抵持环的顶面形成有一第二凸块。[0009]在本实用新型的一实施例中，所述第一抵持件设置在所述上盖的一内表面的一第一侧缘上。
[0010]在本实用新型的一实施例中，所述第二抵持件分别设置在所述上盖的内表面的相对二第二侧缘上，所述第二侧缘分别自所述第一侧缘的二端延伸。
[0011]在本实用新型的一实施例中，所述两第二侧缘上的第二抵持件相对位。
[0012]在本实用新型的一实施例中，所述第一弹性挡片呈弧曲状，且其中一个所述第一弹性挡片的前后二端分别连接另一个所述第一弹性挡片的前后二端。
[0013]在本实用新型的一实施例中，每一所述第一弹性挡片具有一第一凸条，所述第一弹性挡片的所述第一凸条分别与所述第一凸块相对位。
[0014]在本实用新型的一实施例中，每一所述第二抵持件的第二弹性挡片呈弧曲状。
[0015]在本实用新型的一实施例中，每一所述第二抵持件的第二弹性挡片具有一第二凸条，所述第二凸条与所述第二凸块相对位。
[0016]在本实用新型的一实施例中，所述第一底座具有二第一固定部，所述第一弹性挡片及第一抵持环位于所述两第一固定部之间。
[0017]在本实用新型的一实施例中，每一所述第二抵持件的第二底座具有二第二固定部，所述第二弹性挡片及第二抵持环位于所述两第二固定部之间。
[0018]如上所述，通过所述第二抵持件限位被承载件(晶圆或光掩模)的垂直方向，以及所述第一抵持件限位被承载件的水平方向，同时利用所述第一凸块及第二凸块抵靠在所述被承载件的顶面，能够有效地固定被承载件，使得被承载件寿命得以提高，并使得所述被承载件磨擦降低，以减少形成尘粒而避免良率受到影响。
【专利附图】
【附图说明】
[0019]图1是一现有的隔离式搬运盒的立体图。
[0020]图2是本实用新型一实施例的隔离式搬运盒的抵持构件的俯视图。
[0021]图3是本实用新型一实施例的隔离式搬运盒的抵持构件的立体图。
[0022]图4是图3隔离式搬运盒的抵持构件的侧视图。
[0023]图5是本实用新型一实施例的隔离式搬运盒的抵持构件的另一立体图。
[0024]图6是图5隔离式搬运盒的抵持构件的侧视图。
【具体实施方式】
[0025]为让本实用新型上述目的、特征及优点更明显易懂，下文特举本实用新型较佳实施例，并配合附图，作详细说明如下。再者，本实用新型所提到的方向用语，例如上、下、顶、底、前、后、左、右、内、外、侧面、周围、中央、TK平、横向、垂直、纵向、轴向、径向、最上层或最下层等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本实用新型，而非用以限制本实用新型。
[0026]请参照图2至6所示，本实用新型一实施例的隔离式搬运盒的抵持构件100，其设置在一隔离式搬运盒的一上盖2，所述抵持构件100包含一第一抵持件3及数个第二抵持件4，其中所述上盖2也可设置有数个第一抵持件3，并不以本实施例所局限，本实用新型将于下文详细说明各元件的细部构造、组装关系及其运作原理。[0027]请参照图2、3、4所示，所述第一抵持件3设置在所述上盖2的一内表面的一第一侧缘21上，且所述第一抵持件3由具弹性且耐高温、耐磨损的塑料材质制成，例如由耐高温、耐磨损的工程塑胶制成，例如具有酮类及酚的官能基的半结晶型工程塑胶(PEEK)经塑胶射出机加工而呈一体成形。所述第一抵持件3包含一第一底座31、二第一弹性挡片32及一第一抵持环33，其中所述第一底座31具有二第一固定部311，且所述第一弹性挡片32及第一抵持环33位于所述两第一固定部311之间，在本实施例中，通过螺丝锁合穿过所述第一固定部311，使所述第一抵持件3固定在所述上盖2。
[0028]另外，所述两第一弹性挡片32呈弧曲状且自所述第一底座31顶面延伸且相间隔，且每一所述第一弹性挡片32具有一第一凸条321，其中一个所述第一弹性挡片32的前后二端分别连接另一个所述第一弹性挡片32的前后二端，所述第一抵持环33自所述第一底座31侧面延伸且环绕在所述第一弹性挡片32外，所述第一抵持环33的顶面形成有二第一凸块331，且所述第一弹性挡片32的所述第一凸条321分别与所述第一凸块331相对位。
[0029]请参照图2、5、6所示，所述第二抵持件4分别设置在所述上盖2的内表面的相对二第二侧缘22上，所述第二侧缘22分别自所述第一侧缘21的二端延伸，而且所述两第二侧缘22上的第二抵持件相对位，在本实施例中，每一第二侧缘22皆设置有二个第二抵持件
4,每一第二抵持件4由具弹性且耐高温、耐磨损的塑料材质制成，例如由耐高温、耐磨损的工程塑胶制成，例如具有酮类及酚的官能基的半结晶型工程塑胶(PEEK)经塑胶射出机加工而呈一体成形。所述第二抵持件4各包含一第二底座41、一第二弹性挡片42及一第二抵持环43，每一所述第二抵持件4的第二底座41具有二第二固定部411，且所述第二弹性挡片42及第二抵持环43位于所述两第二固定部411之间。在本实施例中，通过螺丝锁合穿过所述第二固定部411，使所述第二抵持件4固定在所述上盖2。
[0030]另外，每一所述第二抵持件4的第二弹性挡片42呈弧曲状且具有一第二凸条421，且所述第二弹性挡片42自所述第二底座41顶面延伸，所述第二抵持环43自所述第二底座41侧面延伸且环绕在所述第二弹性挡片42外，其中所述第二抵持环43的顶面形成有一第二凸块431，所述第二凸条421与所述第二凸块431相对位。
[0031]请参照图2至6所示，依据上述的结构，当所述隔离式搬运盒的上盖2盖合的同时，所述第一抵持件3及所述第二抵持件4会抵靠所述隔离式搬运盒内的被承载件5 (例如为晶圆或光掩模)的边缘，如图4所示，所述被承载件5的边缘先接触所述第一抵持件3的所述第一凸条321，所述第一弹性挡片32被挤压受力而内缩，使所述被承载件5往接近所述上盖2的方向移动而抵靠在所述第一凸块331上，又如图6所示，所述被承载件5的边缘先接触所述第二抵持件4的所述第二凸条421，所述第二弹性挡片42被挤压受力而内缩，使所述被承载件5往接近所述上盖2的方向移动而抵靠在所述第二凸块431上，最后，如图2所示，所述被承载件5被所述第二抵持件4限位在垂直方向，同时被所述第一抵持件3限位在水平方向，而且所述第一凸块331及第二凸块431又抵靠在所述被承载件5的顶面，因此，可有效地固定所述被承载件5。
[0032]请参照图2至6所示，通过上述的设计，利用所述第二弹性挡片42限位被承载件的垂直方向，以及所述第一弹性挡片32限位被承载件的水平方向，同时利用所述第一凸块331及第二凸块431抵靠在所述被承载件5的顶面，以有效地固定被承载件，使得被承载件寿命得以提高，并使得被承载件的磨擦降低，减少形成尘粒而避免良率受到影响。[0033]本实用新型已由上述相关实施例加以描述，然而上述实施例仅为实施本实用新型的范例。必需指出的是，已公开的实施例并未限制本实用新型的范围。相反地，包含于权利要求书的精神及范围的修改及均等设置均包括于本实用新型的范围内。
【权利要求】
1.一种隔离式搬运盒的抵持构件，设置在一隔离式搬运盒的一上盖，其特征在于:所述抵持构件包含: 至少一第一抵持件，包含:一第一底座；二第一弹性挡片，自所述第一底座顶面延伸且相间隔；及一第一抵持环，自所述第一底座侧面延伸且环绕在所述第一弹性挡片外，其中所述第一抵持环的顶面形成有二第一凸块；及 数个第二抵持件，每一第二抵持件包含:一第二底座；一第二弹性挡片，自所述第二底座顶面延伸；及一第二抵持环，自所述第二底座侧面延伸且环绕在所述第二弹性挡片外，其中所述第二抵持环的顶面形成有一第二凸块。
2.如权利要求1所述的隔离式搬运盒的抵持构件，其特征在于:所述第一抵持件设置在所述上盖的一内表面的一第一侧缘上。
3.如权利要求2所述的隔离式搬运盒的抵持构件，其特征在于:所述第二抵持件分别设置在所述上盖的内表面的相对二第二侧缘上，所述第二侧缘分别自所述第一侧缘的二端延伸。
4.如权利要求3所述的隔离式搬运盒的抵持构件，其特征在于:所述两第二侧缘上的第二抵持件相对位。
5.如权利要求1所述的隔离式搬运盒的抵持构件，其特征在于:所述第一弹性挡片呈弧曲状，且其中一个所述第一弹性挡片的前后二端分别连接另一个所述第一弹性挡片的前后~.端。
6.如权利要求1或5所述的隔离式搬运盒的抵持构件，其特征在于:每一所述第一弹性挡片具有一第一凸条，所述第一弹性挡片的第一凸条分别与所述第一凸块相对位。
7.如权利要求1所述的隔离式搬运盒的抵持构件，其特征在于:每一所述第二抵持件的第二弹性挡片呈弧曲状。
8.如权利要求1或7所述的隔离式搬运盒的抵持构件，其特征在于:每一所述第二抵持件的第二弹性挡片具有一第二凸条，所述第二凸条与所述第二凸块相对位。
9.如权利要求1所述的隔离式搬运盒的抵持构件，其特征在于:所述第一底座具有二第一固定部，所述第一弹性挡片及第一抵持环位于所述两第一固定部之间。
10.如权利要求1所述的隔离式搬运盒的抵持构件，其特征在于:每一所述第二抵持件的第二底座具有二第二固定部，所述第二弹性挡片及第二抵持环位于所述两第二固定部之间。
【文档编号】H01L21/687GK203707099SQ201420084951
【公开日】2014年7月9日 申请日期:2014年2月27日 优先权日:2014年2月27日
【发明者】翁连波, 张耀中 申请人:耀连科技有限公司