周期性对称米字结构太赫兹波吸收器的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种周期性对称米字结构太赫兹波吸收器。它包括信号输入端、对称米字结构传输层、基体、金属层结构；对称米字结构传输层与基体相连，对称米字结构传输层包括50×50个对称米字结构周期单元，对称米字结构周期单元包括四个等腰三角形金属结构，两个矩形金属机构；信号从信号输入端输入，依次经过对称米字结构传输层、基体之后到达金属层结构，对称米字结构传输层实现对吸收频率的选择，金属层结构实现对太赫兹波的吸收作用。本实用新型具有尺寸小、体积小、重量轻、节约材料、结构简单、便于制作及等优点。
【专利说明】 周期性对称米字结构太赫兹波吸收器
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及吸收器，尤其涉及一种周期性对称米字结构太赫兹波吸收器。
【背景技术】
[0002]太赫兹技术是二十世纪80年代末发展起来的一种新技术。太赫兹频域是指频率在0.1THz?ΙΟΤΗζ，处于微波的高频端和远红外光的低频端之间的电磁波段。它处于电子学向光子学过渡的领域，集成了微波通信与光通信的优点。太赫兹脉冲光源与传统光源相比具有很多独特的性质，如:瞬态性、宽带性、相干性、低能性等。这些特点决定了太赫兹技术存在的价值。在工业应用领域、医学领域、通信领域以及生物领域中有相当重要的应用前景。
[0003]近年来国内外对于太赫兹波功能器件的研宄已经逐渐展开，太赫兹波吸收器是一种非常重要的太赫兹波器件，用于筛选控制太赫兹波系统中的太赫兹波，目前，太赫兹波段的吸收器器件还十分有限，现有的太赫兹波吸收器往往结构复杂、体积庞大、难以制作并且价格昂贵，因此有必要设计一种结构简单紧凑、尺寸小、质量轻、便于加工制作的太赫兹波吸收器来满足未来太赫兹波技术应用需要。太赫兹波吸收器研宄对促进太赫兹波功能器件的研宄具有不可或缺的重要意义。
【发明内容】
[0004]本实用新型提供一种周期性对称米字结构太赫兹波吸收器，技术方案如下:
[0005]周期性对称米字结构太赫兹波吸收器包括信号输入端、对称米字结构传输层、基体、金属层结构；对称米字结构传输层与基体相连，对称米字结构传输层上包括50X50个对称米字结构周期单元，对称米字结构周期单元包括四个等腰三角形金属结构，两个矩形金属机构；信号从信号输入端输入，依次经过对称米字结构传输层、基体之后到达金属层结构，对称米字结构传输层实现对吸收频率的选择，金属层结构实现对太赫兹波的吸收作用。
[0006]所述的对称米字结构传输层的厚度为I?2ym。所述的基体的厚度为500?520 μπι。所述的金属层结构的厚度为I?2 μπι。所述的两个相邻的对称米字结构周期单元间距为10?15 μπι。所述的等腰三角形金属结构的腰长为10?15 μm，两腰之间的夹角为20度。所述的矩形金属机构的长度为28?30 μπι，宽度为4?5 μπι。所述的基体的材料为高阻硅材料，对称米字结构传输层的材料为铜，金属层结构的材料为铜。
[0007]本实用新型具有尺寸小、体积小、重量轻、节约材料、结构简单、便于制作及等优点。
【专利附图】
【附图说明】
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[0008]图1是周期性对称米字结构太赫兹波吸收器的结构示意图；
[0009]图2是本实用新型的对称米字结构传输层的结构示意图；
[0010]图3是本实用新型的对称米字结构周期单元的结构示意图；
[0011]图4是周期性对称米字结构太赫兹波吸收器的太赫兹波吸收器性能曲线。
【具体实施方式】
[0012]如图1?3所示，周期性对称米字结构太赫兹波吸收器包括信号输入端1、对称米字结构传输层2、基体3、金属层结构4 ;对称米字结构传输层2与基体3相连，对称米字结构传输层2上包括50X50个对称米字结构周期单元5，对称米字结构周期单元5包括四个等腰三角形金属结构6，两个矩形金属机构7 ;信号从信号输入端I输入，依次经过对称米字结构传输层2、基体3之后到达金属层结构4，对称米字结构传输层2实现对吸收频率的选择，金属层结构4实现对太赫兹波的吸收作用。
[0013]所述的对称米字结构传输层2的厚度为I?2 μ m。所述的基体3的厚度为500?520 μπι。所述的金属层结构4的厚度为I?2 μπι。所述的两个相邻的对称米字结构周期单元5间距为10?15 μπι。所述的等腰三角形金属结构6的腰长为10?15 μm，两腰之间的夹角为20度。所述的矩形金属机构7的长度为28?30 μπι，宽度为4?5 μπι。所述的基体3的材料为高阻硅材料，对称米字结构传输层2的材料为铜，金属层结构4的材料为铜。
[0014]实施例1
[0015]周期性对称米字结构太赫兹波吸收器的对称米字结构传输层的厚度为Iym。基体的厚度为500 μπι。金属层结构的厚度为I μπι。两个相邻的对称米字结构周期单元间距为1ym0等腰三角形金属结构的腰长为ΙΟμπι，两腰之间的夹角为20度。矩形金属机构的长度为28 μ m，宽度为4 μ m。基体的材料为高阻硅材料，对称米字结构传输层的材料为铜，金属层结构的材料为铜。吸收系数公式A= 1-R-T (A为吸收率，R为反射率，T为透过率)用THz-TDS测得该吸收器在中心频率点为1.967THz时吸收率接近于0.94，表明具有良好的吸收性。
【权利要求】
1.一种周期性对称米字结构太赫兹波吸收器，其特征在于包括信号输入端(I)、对称米字结构传输层(2)、基体(3)、金属层结构(4);对称米字结构传输层(2)与基体(3)相连，对称米字结构传输层(2)上包括50 X 50个对称米字结构周期单元(5)，对称米字结构周期单元(5)包括四个等腰三角形金属结构(6)，两个矩形金属机构(7);信号从信号输入端(I)输入，依次经过对称米字结构传输层(2)、基体(3)之后到达金属层结构(4)，对称米字结构传输层(2)实现对吸收频率的选择，金属层结构(4)实现对太赫兹波的吸收作用。
2.根据权利要求1所述的一种周期性对称米字结构太赫兹波吸收器，其特征在于所述的对称米字结构传输层(2)的厚度为I?2 μπι。
3.根据权利要求1所述的一种周期性对称米字结构太赫兹波吸收器，其特征在于所述的基体⑶的厚度为500?520 μπι。
4.根据权利要求1所述的一种周期性对称米字结构太赫兹波吸收器，其特征在于所述的金属层结构(4)的厚度为I?2 μπι。
5.根据权利要求1所述的一种周期性对称米字结构太赫兹波吸收器，其特征在于所述的两个相邻的对称米字结构周期单元(5)间距为10?15 μπι
6.根据权利要求1所述的一种周期性对称米字结构太赫兹波吸收器，其特征在于所述的等腰三角形金属结构(6)的腰长为10?15 μπι，两腰之间的夹角为20度。
7.根据权利要求1所述的一种周期性对称米字结构太赫兹波吸收器，其特征在于所述的矩形金属机构⑵的长度为28?30 μ m，宽度为4?5 μ m。
8.根据权利要求1所述的一种周期性对称米字结构太赫兹波吸收器，其特征在于所述的基体(3)的材料为高阻硅材料，对称米字结构传输层(2)的材料为铜，金属层结构(4)的材料为铜。
【文档编号】H01P1/20GK204216186SQ201420751988
【公开日】2015年3月18日 申请日期:2014年12月3日 优先权日:2014年12月3日
【发明者】何梦瑶 申请人:中国计量学院