技术总结
本发明实施例提供了一种刻蚀设备及结束其自动任务的处理方法和处理装置，结束刻蚀设备自动任务的处理方法包括：接收用户发出的结束当前自动任务请求；判断当前自动任务需要加工的任务托盘是否离开CM；当任务托盘离开CM时，判断当前自动任务的剩余动作序列中是否包括为CM充大气的动作；当包括为CM充大气的动作时，将为CM充大气的动作从剩余动作序列中移除；判断CM是否处于真空状态；当CM不处于真空状态时，在剩余动作序列中创建为CM抽真空的动作；在剩余动作序列的队尾创建卸载CM的动作；顺序执行剩余动作序列。本发明避免了在结束刻蚀设备自动任务过程中需要人为手动处理情况，降低了设备的使用难度，提高了智能化水平。
技术研发人员：潘宇涵
受保护的技术使用者：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
文档号码：201510703326
技术研发日：2015.10.26
技术公布日：2017.05.03