1.一种检验光学光刻光罩的方法，所述方法包括：
使用检验工具来获得光罩上的一组相同裸片中的每一裸片的每一片块区的多个片块区图像；
确定每一片块区图像的积分强度值；
基于每一片块区图像的图案稀疏性度量及其与其它片块区图像的图案稀疏性度量的相对值来对此片块区图像的所述积分强度值应用增益；及
确定若干对所述裸片的每一片块的所述积分强度值之间的差以形成所述光罩的差强度图，每一对所述裸片包含测试裸片及参考裸片，其中所述差强度图与取决于所述光罩的特征边缘的特征特性变化相关。
2.根据权利要求1所述的方法，其中将每一裸片的片块区图像与所述裸片中的相同一者的所述片块区图像对准。
3.根据权利要求1所述的方法，其中每一片块区图像的所述积分强度值是所述片块区图像的多个子区的平均强度值。
4.根据权利要求1所述的方法，其中每一裸片的每一片块区图像的所述稀疏性度量是所述裸片的所述其它片块区图像的边缘像素的平均数目与此片块区图像的边缘像素的局部数目的比率。
5.根据权利要求4所述的方法，其中边缘像素的所述平均数目及所述局部数目受限于每一特征边缘的像素的预定义宽度。
6.根据权利要求1所述的方法，其中所述特征特性变化是临界尺寸CD变化。
7.根据权利要求6所述的方法，其进一步包括使用所述光罩的每一片块区的校准因子来将所述差强度图转换为差CD图。
8.根据权利要求7所述的方法，其中从具有每一片块区的用于制作所述光罩的已知CD值的设计数据库确定每一片块区的所述校准因子。
9.根据权利要求8所述的方法，其中通过以下操作确定每一片块区的所述校准因子：
基于所述设计数据库的对应于所述光罩的每一片块区的一或多个图案而再现此片块区的图像；
针对每一片块区的每一所再现图像，确定预期积分强度值；
(i)将对应于每一片块区的每一或多个图案偏置预定义CD改变且将所述一或多个经偏置图案再现到此片块区的经偏置图像中，或(ii)将每一片块区的所述所再现图像的一或多个图案偏置所述预定义CD改变以形成此片块区的经偏置图像；
针对每一片块区的每一经偏置图像，确定预期积分强度值；
针对每一片块区，确定所述所再现图像的积分强度值与所述经偏置图像的积分强度值之间的积分强度差；及
针对每一片块，通过将所述积分强度差除以所述预定义CD改变而确定所述校准因子。
10.根据权利要求8所述的方法，其中在于一或多个光学光刻工艺中使用所述光罩之后针对每一片块区存储所述校准因子以监测CD均匀性。
11.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括：
针对每一片块区图像，在确定所述积分强度值之前将所述片块区图像的定位于距任何特征边缘预定义距离处的任何平坦场区的强度值改变为预定义恒定值。
12.根据权利要求11所述的方法，其中选择所述预定义距离使得特征边缘不影响来自邻近平坦场区的经测量强度值。
13.根据权利要求1所述的方法，其中应用于每一片块区图像的所述积分强度值的所述增益受限于预定义量。
14.一种用于检验光学光刻光罩的检验系统，所述系统包括经配置以执行以下操作的至少一个存储器及至少一个处理器：
获得光罩上的一组相同裸片中的每一裸片的每一片块区的多个片块区图像；
确定每一片块区图像的积分强度值；
基于每一片块区图像的图案稀疏性度量及其与其它片块区图像的图案稀疏性度量的相对值来对此片块区图像的所述积分强度值应用增益；及
确定若干对所述裸片的每一片块的所述积分强度值之间的差以形成所述光罩的差强度图，每一对所述裸片包含测试裸片及参考裸片，其中所述差强度图与取决于所述光罩的特征边缘的特征特性变化相关。
15.根据权利要求14所述的系统，其中将每一裸片的片块区图像与所述裸片中的相同一者的所述片块区图像对准。
16.根据权利要求14所述的系统，其中每一片块区图像的所述积分强度值是所述片块区图像的多个子区的平均强度值。
17.根据权利要求14所述的系统，其中每一裸片的每一片块区图像的所述稀疏性度量是所述裸片的所述其它片块区图像的边缘像素的平均数目与此片块区图像的边缘像素的局部数目的比率。
18.根据权利要求17所述的系统，其中边缘像素的所述平均数目及所述局部数目受限于每一特征边缘的像素的预定义宽度。
19.根据权利要求14所述的系统，其中所述特征特性变化是临界尺寸CD变化。
20.根据权利要求19所述的系统，其中所述至少一个存储器及至少一个处理器进一步经配置用于使用所述光罩的每一片块区的校准因子来将所述差强度图转换为差CD图。
21.根据权利要求20所述的系统，其中从具有每一片块区的用于制作所述光罩的已知CD值的设计数据库确定每一片块区的所述校准因子。
22.根据权利要求21所述的系统，其中通过以下操作确定每一片块区的所述校准因子：
基于所述设计数据库的对应于所述光罩的每一片块区的一或多个图案而再现此片块区的图像；
针对每一片块区的每一所再现图像，确定预期积分强度值；
(i)将对应于每一片块区的每一或多个图案偏置预定义CD改变且将所述一或多个经偏置图案再现到此片块区的经偏置图像中，或(ii)将每一片块区的所述所再现图像的一或多个图案偏置所述预定义CD改变以形成此片块区的经偏置图像；
针对每一片块区的每一经偏置图像，确定预期积分强度值；
针对每一片块区，确定所述所再现图像的积分强度值与所述经偏置图像的积分强度值之间的积分强度差；及
针对每一片块，通过将所述积分强度差除以所述预定义CD改变而确定所述校准因子。
23.根据权利要求21所述的系统，其中在于一或多个光学光刻工艺中使用所述光罩之后针对每一片块区存储所述校准因子以监测CD均匀性。
24.根据权利要求14所述的系统，其中所述至少一个存储器及至少一个处理器进一步经配置用于：
针对每一片块区图像，在确定所述积分强度值之前将所述片块区图像的定位于距任何特征边缘预定义距离处的任何平坦场区的强度值改变为预定义恒定值。
25.根据权利要求24所述的系统，其中所述预定义距离经选择使得特征边缘不影响来自邻近平坦场区的经测量强度值。
26.根据权利要求14所述的系统，其中应用于每一片块区图像的所述积分强度值的所述增益受限于预定义量。
27.一种上面存储有用于执行以下操作的指令的计算机可读媒体：
使用检验工具来获得光罩上的一组相同裸片中的每一裸片的每一片块区的多个片块区图像；
确定每一片块区图像的积分强度值；
基于每一片块区图像的图案稀疏性度量及其与其它片块区图像的图案稀疏性度量的相对值来对此片块区图像的所述积分强度值应用增益；及
确定若干对所述裸片的每一片块的所述积分强度值之间的差以形成所述光罩的差强度图，每一对所述裸片包含测试裸片及参考裸片，其中所述差强度图与取决于所述光罩的特征边缘的特征特性变化相关。