技术总结
本发明揭示用于检验光学光刻光罩的方法及设备。使用检验工具来获得光罩上的一组相同裸片中的每一裸片的每一片块区的多个片块区图像。确定每一片块区图像的积分强度值。基于每一片块区图像的图案稀疏性度量及其与其它片块区图像的图案稀疏性度量的相对值来对此片块区图像的所述积分强度值应用增益。确定若干对所述裸片的每一片块的所述积分强度值之间的差以形成所述光罩的差强度图，每一对所述裸片包含测试裸片及参考裸片。所述差强度图与取决于所述光罩的特征边缘的特征特性变化相关。
技术研发人员：C·E·赫斯;刘燕维;熊亚林
受保护的技术使用者：科磊股份有限公司
文档号码：201580015883
技术研发日：2015.03.24
技术公布日：2016.11.23