1.一种加热器供电机构，用多个加热器将载置基板的载置台分区化，并且能够在每个分区进行温度控制，所述加热器供电机构的特征在于，包括：
多组加热器用端子，将一组加热器用端子作为一区段，而以区段单位与所述多个加热器的任一者连接；
加热器配线；和
配线结构，使用所述加热器配线将所述多组加热器用端子间的至少任一者以区段单位连接。
2.如权利要求1所述的加热器供电机构，其特征在于：
能够以区段单位改变使用所述配线结构内的所述加热器配线的所述多组加热器用端子间的连接。
3.如权利要求1所述的加热器供电机构，其特征在于：
所述配线结构使用所述加热器配线连结多组加热器用端子间的至少任一者，所述多组加热器用端子在构成为环状、环状的一部分开口的形状或者扇形的部件隔开间隔地设置。
4.如权利要求1所述的加热器供电机构，其特征在于：
所述配线结构设置在保持所述载置台的静电吸盘的保持板下的空间。
5.一种使用加热器供电机构的载置台的温度控制方法，所述加热器供电机构使用多个加热器将载置基板的载置台分区化，能够在每个分区进行温度控制，所述载置台的温度控制方法的特征在于：
所述加热器供电机构具有多组加热器用端子，所述多组加热器用端子将一组的加热器用端子作为一区段，而以区段单位与所述多个加热器的任一者连接，
所述载置台的温度控制方法包括：
决定所述多组加热器用端子间的连接部位的步骤；和
使用加热器配线将所述决定了的所述多组加热器用端子间的连接部位以区段单位连结，来控制所述载置台的分区结构的步骤。
6.如权利要求5所述的载置台的温度控制方法，其特征在于：
决定所述连接部位的步骤中，基于预先存储在存储部的、与基板被等离子体处理的条件相应的分区结构，决定所述多组加热器用端子间的连接部位，
控制所述分区结构的步骤中，通过使用加热器配线以区段单位改变所述决定了的多组加热器用端子间的连接部位，可变地控制所述载置台的分区结构。