发光二极管转移装置和发光二极管的转移方法与流程

技术领域

一个或更多个示例性实施例涉及一种设备，更具体地讲，涉及发光二极管转移装置和发光二极管的转移方法。

背景技术：

发光二极管(“LED”)是当正向电压施加到PN结二极管时注入空穴和电子并且由空穴和电子的复合产生的能量转换为光能的半导体器件。

近来，使用无机化合物发光的无机LED已经广泛用于液晶显示器(“LCD”)、电视机(“TV”)、电灯、电子显示板等的背光，通过使用有机化合物发光的有机LED已经用于诸如移动电话的微型电子设备和大型TV。

技术实现要素：

传统的发光二极管转移装置通常具有低的生产率以及长的制造时间。

一个或更多个示例性实施例包括具有改善的生产效率的发光二极管转移装置。

根据一个或更多个示例性实施例，发光二极管转移装置包括：平台；移动部，设置在平台上并在平台上执行线性运动；第二线性驱动部，安装在移动部上并在移动部上执行线性运动；头部，可转动地设置在第二线性驱动部上并拾取发光二极管。

在示例性实施例中，头部可以包括：头主体部，可转动地连接到第二线性驱动部；拾取部，连接到头主体部并拾取发光二极管。

在示例性实施例中，头主体部可以在与头主体部的长度方向垂直的方向上具有多边形的横截面或圆形的横截面。

在示例性实施例中，拾取部可以包括多个拾取部，所述多个拾取部可以沿横截面的周缘彼此分隔开。

在示例性实施例中，拾取部可以包括多个拾取部，所述多个拾取部可以在头主体部的长度方向上彼此分隔开。

在示例性实施例中，头部还可以包括连接到头主体部和第二线性驱动部中的至少一个的转动驱动部，其中，转动驱动部使头主体部转动。

在示例性实施例中，第二线性驱动部可以包括：位置变化部，连接到移动部；固定支架，连接到位置变化部并且头主体部可转动地连接到固定支架。

在示例性实施例中，固定支架围绕作为其转动轴的施加负载的方向可以是可转动的。

在示例性实施例中，头主体部可以按以下方式连接到第二线性驱动部：使头主体部围绕作为其转动轴的头主体部的长度方向是可转动的。

在示例性实施例中，头部可以按如下方式连接到第二线性驱动部：使头部围绕施加负载的方向是可转动的。

在示例性实施例中，头部可以包括连接到移动部的多个头部，所述多个头部可以彼此分隔开。

在示例性实施例中，发光二极管转移装置还可以包括：另一线性驱动部，连接到移动部并使移动部在平台上执行线性运动。

在示例性实施例中，发光二极管可以具有微米尺寸。

在示例性实施例中，发光二极管转移装置还可以包括：室，在室中容纳平台、移动部、第二线性驱动部和头部。

根据一个或更多个示例性实施例，在支撑体的上方放置第一基底；在转动头部的同时将设置在第一基底的上方的多个发光二极管附于头部；通过使头部执行线性运动来将头部设置在第二基底的上方；在转动头部的同时将所述多个发光二极管的一部分从第一基底转移到第二基底。

在示例性实施例中，其中，在转动头部的同时将所述多个发光二极管的所述一部分从第一基底转移到第二基底的步骤包括：使头部执行线性运动。

在示例性实施例中，其中，在真空状态下执行转移发光二极管的步骤。

在示例性实施例中，还包括：使头部与第一基底对准。

在示例性实施例中，还包括：使头部与第二基底对准。

在示例性实施例中，其中，第一基底包括基体基底或载体基底，第二基底包括载体基底或显示基底。

这样的实施例可以通过使用系统、方法、计算机程序或者系统、方法和计算机程序的特定组合来实现。

在这里阐述的示例性实施例中，发光二极管转移装置可以通过同时转移多个发光二极管来提高生产率。在这样的实施例中，发光二极管转移装置可以通过顺序地拾取并转移多个发光二极管来减少消耗的时间。

发光二极管转移装置的这样的实施例可以拾取各种形状的发光二极管并且将拾取的发光二极管设置在各种位置处。

附图说明

通过下面结合附图对示例性实施例的描述，这些和/或其他特征将变得清楚和更容易理解，在附图中：

图1是示出根据示例性实施例的发光二极管(“LED”)转移装置的主剖视图；

图2是示出图1中示出的LED转移装置的侧剖视图；

图3是示出图2中示出的LED转移装置的线性驱动部的剖视图；

图4是示出图2中示出的头部的透视图；

图5是沿图4的线V-V截取的剖视图；

图6是沿图4的线VI-VI截取的剖视图；

图7是示出根据示例性实施例的图2中示出的头部的侧视图；

图8是示出根据可选择的示例性实施例的图2中示出的头部的侧视图；

图9是示出根据另一可选择的示例性实施例的图2中示出的头部的侧视图；

图10是示出根据又一可选择的示例性实施例的图2中示出的头部的侧视图；

图11是示出根据示例性实施例的图2中示出的头主体部的布置的侧视图；

图12是示出通过使用图1示出的LED转移装置制造有机发光显示装置的工艺的示例性实施例的示图；

图13是示出通过图12中示出的制造工艺的示例性实施例制造的显示装置的示意性平面图；

图14是示出根据示例性实施例的沿线A-A截取的图13的显示装置的示意性剖视图；

图15是示出根据另一可选择的示例性实施例的LED转移装置的侧剖视图；

图16是示出图15中示出的LED转移装置的第一线性驱动部的剖视图；

图17是示出从第一基底经由图15中示出的LED转移装置转移到第二基底的LED的布置的示意性平面图；

图18是示出根据另一可选择的示例性实施例的LED转移装置的侧剖视图；

图19是示出图18中示出的LED转移装置的第一线性驱动部的剖视图。

具体实施方式

现在将在下文中参照附图更充分地描述本发明，在附图中示出了各种实施例。然而，可以以许多不同形式来实施本发明，本发明不应该被解释为局限于在这里阐明的实施例。相反，提供这些实施例使得本公开将是彻底的和完整的，并将本发明的范围充分地传达给本领域技术人员。同样的附图标记始终表示同样的元件。

将理解的是，当元件被称为“在”另一元件“上”时，该元件可以直接在其他元件上或者可以在它们之间存在中间元件。相反，当元件被称为“直接在”另一元件“上”时，不存在中间元件。

将理解的是，尽管在这里可以使用术语“第一”、“第二”、“第三”等来描述各种元件、组件、区域、层和/或部分，但是这些元件、组件、区域、层和/或部分不应该受这些术语限制。这些术语仅用来将一个元件、组件、区域、层或部分与另一元件、组件、区域、层或部分区分开。因此，在不脱离这里的教导的情况下，下面讨论的“第一元件”、“组件”、“区域”、“层”或“部分”可被称作第二元件、组件、区域、层或部分。

当诸如“……中的至少一个(种)、(者)”的表述在一列元件(要素)之后时，修饰整列的元件(要素)，而不是修饰该列中的个别元件(要素)。

这里使用的术语仅为了描述具体实施例的目的，而不意图成为限制。如这里使用的，除非上下文清楚地另有指示，否则单数形式“一种”、“一个”“该”和“所述”意图包括复数形式(包含“至少一个(种)”)。“或”意为“和/或”。如这里所使用的，术语“和/或”包括一个或更多个相关所列项的任意和所有组合。还将理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包含……的”或“包括”和/或“包括……的”时，指定存在所述特征、区域、整体、步骤、操作、元件和/或组件，但并不排除存在或添加一个或更多个其他特征、区域、整体、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组。

此外，在这里可以使用诸如“下面的”或“底部”和“上面的”或“顶部”的相对术语来描述附图中示出的一个元件与另一元件的关系。将理解的是，相对术语意在包含装置的除附图中描绘的方位之外的不同方位。例如，如果附图之一中的装置被翻转，则被描述为在其他元件的“下”侧上的元件将随后被定位为在其他元件的“上”侧上。因此，根据附图的具体方位，示例性术语“下面的”可以包含“下面的”和“上面的”两种方位。同样地，如果附图之一中的装置被翻转，则被描述为“在”其他元件“下方”或“之下”的元件将随后被定位为“在”其他元件的“上方”。因此，示例性术语“在……下方”或“在……之下”可以包含上方和下方两种方位。

在此参照作为理想实施例的示意图的剖视图来描述示例性实施例。如此，预计会出现例如由制造技术和/或公差引起的图示的形状的变化。因此，这里描述的实施例不应该被解释为局限于在此示出的区域的具体形状，而将包括由例如制造导致的形状的偏差。例如，示出或描述为平坦的区域通常可具有粗糙和/或非线性的特征。此外，示出的锐角可以被倒圆。因此，附图中示出的区域本质上是示意性的，它们的形状并不意在示出区域的精确形状，也并不意在限制本权利要求的范围。

在这里，x轴、y轴和z轴不限于直角坐标系的三个轴，并可以以更广泛的意义来解释。例如，x轴、y轴和z轴可以彼此垂直，或者可以表示互不垂直的不同的方向。

当可以不同地实现特定的实施例时，可以与所描述的顺序不同地执行特定的工艺顺序。例如，连续描述的两个工艺可以基本上同时地执行，或者按照与所描述的顺序相反的顺序执行。

在下文中，将参照附图描述发明的示例性实施例。

图1是示出根据示例性实施例的发光二极管(“LED”)转移装置100的正剖视图。图2是示出图1中所示的LED转移装置100的侧剖视图。图3是示出图2中示出的LED转移装置的线性驱动部的剖视图。

参照图1至图3，LED转移装置100的示例性实施例可以包括室110、平台120(stage)、移动部130、第一线性驱动部140、第二线性驱动部150、头部160、视觉部170和压力调整器180。在这里，LED转移装置意为LED转移设备或将LED从一个地方转移到另一地方(例如，将位于基底的表面上的LED转移到另一基底的表面)的设备。

在这样的实施例中，室110可以在其内部限定空间，并且开口部分可以限定在室110中。在这样的实施例中，闸阀111可以设置在室110的开口部分中或者安装到室110的开口部分并且使开口部分打开/关闭。

室110可以具有各种内部压力。在一个示例性实施例中，例如，当在室110的内部执行下面将要描述的工艺时，室110可以具有与大气压力相同或相似的内部压力。在这样的实施例中，可以省略压力调整器180。

根据另一示例性实施例，当在室110的内部执行下面将要描述的工艺时，室110可以具有与真空相同或相似的内部压力。在这样的实施例中，压力调整器180可以连接到室110并调整室110的内部压力。在这样的实施例中，当闸阀111打开时，压力调整器180可以保持室110的内部压力与大气压力相同或相似。在这样的实施例中，当在室110的内部执行下面将要描述的工艺时，闸阀111可以关闭并且压力调整器180可以保持室110的内部压力与真空相同或相似。

为了描述的方便，在下文中，将主要描述压力调整器180连接到室110并且室110的内部压力从大气压力改变为真空的示例性实施例。

平台120可以固定在室110的内部。在一个示例性实施例中，例如，平台120可以固定到室110的内壁表面。根据另一示例性实施例，平台120可以被单独的支撑框架121支撑，所述单独的支撑框架121连接到室110的下表面并从室110的下表面竖直延伸。为了描述的方便，在下文中，将主要描述平台120被支撑框架121支撑的示例性实施例。

在示例性实施例中，平台120可以呈板形形状。在这样的实施例中，第二基底200和第一基底1可以设置或放置在平台120的一侧或表面(例如，上侧或上表面)上。在这样的实施例中，第二基底200和第一基底1嵌入的凹进可以限定或形成在平台120的一侧中。根据可选择的示例性实施例，平台120的一侧可以是平坦的，并且第二基底200和第一基底1可以放置在平台120上。根据另一可选择的示例性实施例，平台120可以具有从平台120的一侧突出的突起(未示出)，突起可以通过与第二基底200的外表面和第一基底1的外表面接触来保持或限定第二基底200的位置和第一基底1的位置。

在这种情况下，第一基底1可以包括基体基底和载体基底中的一种。另外，第二基底200可以包括载体基底和显示基底中的一种。

可以制造多个LED并将其设置在基体基底的上方。在这种情况下，多个LED可以在基体基底的上方彼此分隔开。另外，可以转移设置在基体基底的上方的多个LED并将其设置在载体基底的上方。多个LED的位置通过使用粘合层等暂时地附于载体基底或固定在载体基底上。可以将多个LED从基体基底和载体基底中的一个转移到载体基底和显示基底中的一个。在示例性实施例中，可以通过使用已知的物理或化学方法将多个LED与基体基底和载体基底中的一个分开。根据示例性实施例，可以通过使用激光剥离(“LLO”)方法将多个LED与基体基底和载体基底中的一个分开。根据另一示例性实施例，在将多个LED形成在第一基底1上之后，可以将多个LED直接转移到第二基底200。

在下文中，为了描述的方便，主要描述第一基底1包括基体基底，第二基底200包括显示基底的情况。

移动部130可以结合到平台120并且可以在平台120上滑动。在示例性实施例中，移动部130可以连接或安装到平台120的表面的侧部并且在平台120上线性地移动。

第一线性驱动部140可以与平台120和移动部130中的至少一个连接，以使移动部130能够线性地移动。在这样的实施例中，第一线性驱动部140可以呈各种形状，这将在后面进行更详细的描述。

第二线性驱动部150可以包括连接或安装到移动部130的位置变化部151以及连接或安装到位置变化部151的固定支架152。在示例性实施例中，位置变化部151可以固定到移动部130并改变头部160的位置。在这样的实施例中，位置变化部151可以使头部160相对于移动部130执行线性运动。在一个示例性实施例中，例如，位置变化部151可以使头部160在施加负载的方向(或图1的z轴方向)上执行线性运动。

在示例性实施例中，位置变化部151可以与第一线性驱动部140相似。位置变化部151可以呈各种形状。在一个示例性实施例中，例如，位置变化部151可以包括具有位置可变的轴的气缸。根据可选择的示例性实施例，位置变化部151可以包括以磁悬浮的方式形成的磁悬浮驱动部。根据另一可选择的示例性实施例，位置变化部151可以包括连接在头部160与移动部130之间的线性马达。根据另一可选择的示例性实施例，位置变化部151可以包括连接或安装到移动部130的马达、连接到马达的第一齿轮单元以及连接到第一齿轮单元的第二齿轮单元。在这样的实施例中，位置变化部151不限于此，并且可以包括可使头部160执行线性运动或使头部160线性地移动的任何单元或结构。然而，为了描述的方便，在下文中，将主要描述位置变化部151包括气缸(未示出)的示例性实施例。

固定支架152的一部分可以是弯曲的，固定支架152的弯曲部分可以与头部160连接。

可以按照使头部160可以相对于移动部130执行线性运动的方式，将头部160设置在移动部130上或安装到移动部130。在这样的实施例中，头部160可以相对于移动部130在施加负载的方向上执行线性运动。将在后面更详细地描述头部160。

视觉部170可以安装在各种位置处。在一个示例性实施例中，例如，视觉部170可以被安装为穿过室110的内壁。根据可选择的示例性实施例，视觉部170可以连接或安装到移动部130。根据另一可选择的示例性实施例，视觉部170可以设置或安装在室110的内部。然而，为了描述的方便，在下文中，将主要描述视觉部170连接或安装到移动部130的示例性实施例。

视觉部170可以呈各种形状。在一个示例性实施例中，例如，视觉部170可以包括高分辨率照相机。根据可选择的示例性实施例，视觉部170可以包括电荷耦合器件(“CCD”)照相机。

视觉部170可以捕获头部160、第一基底1和第二基底200中的至少一个的位置。在示例性实施例中，可以基于由视觉部170捕获的图像来调整头部160的位置。

压力调整器180可以包括连接到室110的连接管181以及连接或安装到连接管181的泵182。在示例性实施例中，连接管181的内部的气体根据泵182的操作流动，使得可以调整室110的内部压力。

在下文中，将参照图3更详细地描述第一线性驱动部140和移动部130。

参照图3，第一线性驱动部140可以包括各种器件和结构。在一个示例性实施例中，例如，第一线性驱动部140可以包括气缸。根据可选择的示例性实施例，第一线性驱动部140可以包括线性马达。根据另一可选择的示例性实施例，第一线性驱动部140可以包括马达和与马达连接的滚珠螺杆。根据另一可选择的示例性实施例，第一线性驱动部140可以以磁悬浮的结构操作。根据另一可选择的示例性实施例，第一线性驱动部140可以包括马达和与马达连接的齿轮单元。然而，第一线性驱动部140不限于此，并且可以包括安装在移动部130与平台120之间以使移动部130在平台120的预定方向上执行线性运动的任何器件或结构。在下文中，为了描述的方便，将主要描述第一线性驱动部140以磁悬浮的结构操作的示例性实施例。

在示例性实施例中，移动部130的端部可以设置在平台120中或者插入到平台120中。根据可选择的示例性实施例，平台120的一部分可以突出并且可以插入到移动部130的端部中。然而，为了描述的方便，在下文中，将主要描述移动部130的端部插入到平台120中的示例性实施例。

在这样的实施例中，如上所述，第一线性驱动部140可以安装在移动部130与平台120之间。在示例性实施例中，第一线性驱动部140可以包括设置在移动部130与平台120之间的间隔调整器141。在这样的实施例中，第一线性驱动部140可以包括设置在移动部130与平台120之间的施力部142。

间隔调整器141可以通过使用电磁力使移动部130与平台120隔开。在示例性实施例中，间隔调整器141可以包括在移动部130与平台120之间设置为彼此面对的第一间隔调整器141-1和第二间隔调整器141-2。

在示例性实施例中，第一间隔调整器141-1和第二间隔调整器141-2中的一个可以设置在移动部130和平台120中的一个上或者安装到移动部130和平台120中的一个。在这样的实施例中，第一间隔调整器141-1和第二间隔调整器141-2中的另一个可以设置在移动部130和平台120中的另一个上或者安装到移动部130和平台120中的另一个。为了描述的方便，在下文中，将主要描述第一间隔调整器141-1安装到移动部130并且第二间隔调整器141-2安装到平台120的示例性实施例。

在这样的实施例中，第一间隔调整器141-1和第二间隔调整器141-2可以产生具有相同极性的磁力。在示例性实施例中，第一间隔调整器141-1和第二间隔调整器141-2可以包括永久磁铁和电磁铁中的至少一种。

当移动部130移动时，第一间隔调整器141-1和第二间隔调整器141-2可以通过使移动部130与平台120分开或保持移动部130和平台120彼此分隔开来减小移动部130与平台120之间的摩擦力。

施力部142可以包括设置为彼此面对的第一施力部142-1和第二施力部142-2。在示例性实施例中，第一施力部142-1和第二施力部142-2中的一个可以安装到移动部130和平台120中的一个。在这样的实施例中，第一施力部142-1和第二施力部142-2中的另一个可以安装到移动部130和平台120中的另一个。为了描述的方便，在下文中，将主要描述第一施力部142-1安装到移动部130并且第二施力部142-2安装到平台120的示例性实施例。

第一施力部142-1和第二施力部142-2可以包括永久磁铁和电磁铁中的至少一种。在示例性实施例中，第一施力部142-1和第二施力部142-2可以在移动部130的移动方向(或图3的x轴方向)上以多个设置。第一施力部142-1和第二施力部142-2可以通过产生彼此不同的极性来使移动部130在期望的方向上移动。

图4是示出图2中示出的头部160的透视图。图5是沿图4的线V-V截取的剖视图。图6是沿图4的线VI-VI截取的剖视图。

参照图4至图6，头部160可以包括头主体部161、转动驱动部163和拾取部162。

头主体部161可以具有三维形状。在示例性实施例中，头主体部161可以具有各种形状。在一个示例性实施例中，例如，头主体部161可以具有多边形棱柱形状或圆柱形形状。

转动驱动部163可以与头主体部161连接并使头主体部161转动。在示例性实施例中，转动驱动部163可以连接或固定到固定支架152。转动驱动部163可以使头主体部161围绕作为转动轴的头主体部161的长度方向(图4的y轴)转动。

转动驱动部163可以包括设置在头主体部161的内部或安装成穿过头主体部161的转动轴163-2以及连接到转动轴163-2的转动马达163-1。在示例性实施例中，使转动马达163-1与转动轴163-2连接的方法可以是变化的。在一个示例性实施例中，例如，转动马达163-1和转动轴163-2可以通过使用分别安装到转动轴163-2和转动马达163-1的滑轮以及连接滑轮的带来彼此连接。根据可选择的示例性实施例，齿轮单元可以分别安装到转动马达163-1和转动轴163-2，并且齿轮单元可以彼此连接。根据另一可选择的示例性实施例，转动马达163-1和转动轴163-2可以彼此直接连接。然而，为了描述的方便，在下文中，将主要描述转动马达163-1和转动轴163-2彼此直接连接的示例性实施例。

拾取部162可以使LED 230与第一基底1分开，并使LED 230移动或转移到第二基底200。在示例性实施例中，拾取部162可以通过利用静电力或粘合力来将LED 230附于拾取部162上。然而，拾取部162不限于此，并且可以包括使LED 230附于拾取部162上的任何单元或结构。

LED 230可以具有精细的尺寸。在一个示例性实施例中，例如，LED 230可以具有微米尺寸。

在示例性实施例中，拾取部162可以按多个设置。多个拾取部162可以在头主体部161的长度方向(或图6的y轴方向)上彼此分隔开。在这样的实施例中，多个拾取部162可以沿与头主体部161的长度方向垂直的横截面的圆周彼此分隔开。在头主体部161的横截面为多边形的示例性实施例中，拾取部162可以在多边形的每侧上以直线布置。

图7是示出根据示例性实施例的图2中示出的头部的侧视图。图8是示出根据可选择的示例性实施例的图2中示出的头部的侧视图。图9是示出根据另一可选择的示例性实施例的图2中示出的头部的侧视图。图10是示出根据又一可选择的示例性实施例的图2中示出的头部的侧视图。

参照图7至图10，如上所述，头主体部161可以具有各种形状。在一个示例性实施例中，例如，头主体部161可以具有三棱柱形状。在示例性实施例中，如图7中所示，与头主体部161的长度方向垂直的横截面可以是三角形。在示例性实施例中，拾取部162可以安装到头主体部161，使得拾取部162在三棱柱的长度方向上彼此分隔开。可以布置拾取部162使得多个拾取部162在沿三棱柱的长度方向形成的三侧上以直线彼此分隔开。

根据可选择的示例性实施例，如图8中所示，头主体部161可以具有五棱柱形状。在这样的实施例中，如上所述，多个拾取部162可以分别在头主体部161的侧面上彼此分隔开。

根据另一可选择的示例性实施例，如图9中所示，头主体部161可以具有六棱柱形状。在这样的实施例中，拾取部162可以安装在头主体部161的每侧上。

根据另一可选择的示例性实施例，如图10中所示，头主体部161可以具有圆柱形形状。在这样的实施例中，拾取部162可以在头主体部161的表面上以恒定的间隔彼此隔开。

图11是示出根据示例性实施例的图2中示出的头主体部的布置的侧视图。

参照图11，头部160和固定支架152可以按多个设置。在示例性实施例中，多个头部160可以在移动部130上彼此分隔开(例如，多个头部160可以在图11的x轴方向上彼此分隔开)。在这样的实施例中，各自的固定支架152可以与各自的头部160对应地安装。

在头部160以多个设置的这样的实施例中，头主体部161可以与一个转动马达163-1连接并同时地转动。根据可选择的示例性实施例，各自的转动马达163-1可以连接到各自的头主体部161，并且头主体部161中的每个可以单独地转动或彼此独立地转动。

在下文中，将参照图12至图14描述通过使用LED转移装置100来制造有机发光显示装置的工艺的示例性实施例。

图12是示出通过使用图1示出的LED转移装置100制造有机发光显示装置的工艺的示例性实施例的示图。图13是示出根据图12中示出的制造工艺制造的显示装置10的示意性平面图。图14是示出根据示例性实施例的沿线A-A截取的图13的显示装置的示意性剖视图。在下面的描述中，同样的附图标号表示同样的元件。

参照图12至图14，在示例性实施例中，LED转移装置100可以将第一基底1上的LED 230转移到第二基底200。在示例性实施例中，可以将其上设置有LED 230的第一基底1引入到室110中，然后可以将第一基底1放置在平台120上。在这样的实施例中，可以经由设置在室110的内部或外部的单独的机器臂、梭子等来将第一基底1移动到室110中。

与第一基底1相似，可以将第二基底200转移到室110中。在示例性实施例中，LED转移装置100可以通过将第一基底1的LED 230转移到第二基底200上来制造显示装置10。

在示例性实施例中，LED转移装置100可以拾取位于第一基底1上的LED 230。在这样的实施例中，第一线性驱动部140可以将移动部130设置在第一基底1上。

第二线性驱动部150可以通过使头部160朝向第一基底1下降来将头主体部161设置在第一基底1上的预定位置处。在示例性实施例中，可以基于由视觉部170捕获的图像来检测头主体部161和第一基底1的位置并且可以改变头主体部161的位置。在一个示例性实施例中，例如，在第一基底1上设置或形成对准标记，并且可以通过基于由视觉部170捕获的图像检测头主体部161和第一基底1的位置并调整第一线性驱动部140和第二线性驱动部150来调整头主体部161的位置。根据可选择的示例性实施例，可以通过捕获平台120上的对准标记来调整头主体部161的位置。根据另一可选择的示例性实施例，可以通过经由使用视觉部170测量第一基底1和头主体部161的形状来调整头主体部161的位置。在示例性实施例中，通过使用视觉部170来调整头主体部161的位置的方法不限于上述方法，并且可以包括通过检测头主体部161和第一基底1的位置来调整头主体部161的位置的任何方法。

当头主体部161设置在预定位置处时，通过第二线性驱动部150使头主体部161降低，然后拾取部162可以将LED 230附于其上。在示例性实施例中，LED 230可以同时附于在头主体部161的长度方向上布置的多个拾取部162上。

第二线性驱动部150可以使头主体部161上升，转动驱动部163可以操作以使头主体部161转动预定角度。由于头主体部161的转动，所以其上未附有LED 230的拾取部162可以设置为再次面对第一基底1。

当上述工艺完成时，第一线性驱动部140可以操作并将头部160设置在基体基底1上方的LED的上方。在这种情况下，如上所述，第二线性驱动部150可以操作。

当第一线性驱动部140和第二线性驱动部150再次操作时，头主体部161可以下降，并且拾取部162可以将LED 230附于其上。可以重复地执行此操作直到LED 230分别附于头部160的所有拾取部162上为止。

当LED 230分别附于头主体部161的所有拾取部162上时，第一线性驱动部140可以操作并且将移动部130从第一基底1移动到第二基底200(图12的x轴方向)。在示例性实施例中，视觉部170捕获第二基底200和头主体部161的位置，并且可以基于捕获的结果来调整头主体部161的位置。调整头主体部161的位置的方法与上述这样的方法基本相同，将省略对其任何重复的详细描述。

当头主体部161的位置到达预定位置时，第二线性驱动部150可以操作并且使头主体部161下降，以将LED 230转移到第二基底200。

在示例性实施例中，当第二线性驱动部150操作时，可以将分别附于线性地布置在头主体部161的一侧上的多个拾取部162上的LED 230转移到第二基底200。在这样的实施例中，当第二线性驱动部150反向地操作并使头主体部161上升时，转动驱动部163可以操作以使在头主体部161的另一侧上以直线布置的拾取部162面对第二基底200。在示例性实施例中，第一线性驱动部140可以使移动部130在图12的x轴方向上少量移动。第二线性驱动部150可以使头主体部161下降并将线性地布置在头主体部161的另一侧上的拾取部162的LED 230转移到第二基底200。可以重复地执行此操作直到将所有拾取部162的LED 230转移到第二基底200为止。

当完成头主体部161的所有拾取部162的LED 230的转移时，第一线性驱动部140可以将移动部130设置到第一基底1并重复地执行上述操作。

当完成上述操作时，将LED 230已经转移到其的第二基底200转移到外部，并且可以通过执行下一工艺来制造显示装置10。

上述制造的显示装置10可以包括第二基底200和位于第二基底200上的发射层210。

在示例性实施例中，第二基底200可以包括基底201、位于基底201上的薄膜晶体管(“TFT”)和位于TFT上的平坦化层205。通过通孔与TFT连接的第一电极211可以设置或形成在平坦化层205上。在这样的实施例中，第二基底200可以包括设置为覆盖第一电极211的一部分的堤层206。

显示区域DA和位于显示区域DA的外部的非显示区域可以限定在基底201上。发射层210可以设置在显示区域DA中，电源线(未示出)等可以设置在非显示区域中。在这样的实施例中，焊盘部250可以提供或设置在非显示区域中。

基底201可以包括各种材料。在一个示例性实施例中，例如，基底201可以包括具有SiO₂作为主要成分的透明玻璃材料。然而，基底201不限于此，并且可以包括透明塑料材料并由此是柔性的。塑料材料可以包括从聚醚砜(“PES”)、聚丙烯酸酯(“PAR”)、聚醚酰亚胺(“PEI”)、聚萘二甲酸乙二醇酯(“PEN”)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(“PET”)、聚苯硫醚(“PPS”)、聚酰亚胺、聚碳酸酯(“PC”)、三乙酸纤维素(“TAC”)和乙酸丙酸纤维素(“CAP”)中选择的至少一种绝缘有机材料。

在基底201是用于在基底201的方向上产生图像的底发射型显示装置的基底的示例性实施例中，基底201可以包括透明材料。在基底201是用于在基底201的相反方向上产生图像的顶发射型显示装置的基底的可选择的示例性实施例中，基底201可以不仅仅包括透明材料。在示例性实施例中，基底201可以包括金属。

在基底201包括金属的示例性实施例中，基底201可以包括从F、Cr、Mn、Ni、Ti、Mo、钢用不锈钢(“SUS”)、因瓦合金(Invar alloy)、因科镍合金(Inconel alloy)和可伐合金(Kovar alloy)中选择的至少一种，但不限于此。

缓冲层202可以设置或形成在基底201上。缓冲层202可以在基底201的上方提供平坦的表面，并有效地防止外来杂质或湿气经由基底201的渗透。在一个示例性实施例中，例如，缓冲层202可以包括诸如氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、氧化铝、氮化铝、氧化钛或氮化钛的无机材料或者诸如以聚酰亚胺、聚酯和压克力为例的有机材料。缓冲层202可以具有多层结构，在所述多层结构中每层可以包括上述材料中的至少一种。

TFT可以包括有源层207、栅电极208、源电极209a和漏电极209b。

在下文中，将描述TFT为顶栅型TFT的示例性实施例，其中，有源层207、栅电极208、源电极209a和漏电极209b顺序地形成，但示例性实施例不限于此，并且可以采用诸如底栅型TFT的各种类型的TFT。

在这样的实施例中，有源层207可以包括半导体材料，例如，非晶硅或多晶硅。然而，示例性实施例不限于此，有源层207可以包括各种材料。根据示例性实施例，有源层207可以包括有机半导体材料。

根据可选择的示例性实施例，有源层207可以包括氧化物半导体材料。在一个示例性实施例中，例如，有源层207可以包括诸如Zn、In、Ga、Sn、Cd、Ge的12族金属元素、13族金属元素和14族金属元素以及它们组合的氧化物。

栅极绝缘层203设置或形成在有源层207上。栅极绝缘层203使栅电极208与有源层207绝缘。栅极绝缘层203可以包括具有诸如氧化硅和/或氮化硅的无机材料的单层或多层。

栅电极208设置或形成在栅极绝缘层203的上方。栅电极208可以与向TFT施加导通/截止信号的栅极线(未示出)连接。

栅电极208可以包括低电阻金属材料。考虑到与相邻层的粘着力、堆叠层的表面平坦化特性、加工特性等，栅电极208可以包括具有Al、Pt、Pd、Ag、Mg、Au、Ni、Nd、Ir、Cr、Li、Ca、Mo、Ti、W和Cu中的至少一种的单层或多层。

层间绝缘层204设置或形成在栅电极208上。层间绝缘层204使源电极209a和漏电极209b与栅电极208绝缘。层间绝缘层204可以包括具有无机材料的单层或多层。在示例性实施例中，无机材料可以是金属氧化物或金属氮化物。在一个示例性实施例中，例如，无机材料可以包括氧化硅(SiO₂)、氮化硅(SiN_x)、氮氧化硅(SiON)、氧化铝(Al₂O₃)、氧化钛(TiO₂)、氧化钽(Ta₂O₅)、氧化铪(HfO₂)、氧化锌(ZrO₂)等。

源电极209a和漏电极209b形成在层间绝缘层204上。源电极209a和漏电极209b可以包括具有Al、Pt、Pd、Ag、Mg、Au、Ni、Nd、Ir、Cr、Li、Ca、Mo、Ti、W和Cu中的至少一种的单层或多层。源电极209a和漏电极209b与有源层207的区域接触。

平坦化层205形成在TFT上。平坦化层205覆盖TFT以解决由TFT引起的阶差，从而通过使TFT的上表面平坦化来防止由于下面的不规则而导致的有缺陷的发射层210的形成。

平坦化层205可以包括具有有机材料的单层或多层。有机材料可以包括诸如聚甲基丙烯酸甲脂(“PMMA”)或聚苯乙烯(“PS”)的通用聚合物、具有酚类基团的聚合物衍生物、丙烯酰类聚合物、酰亚胺类聚合物、芳基醚类聚合物、酰胺类聚合物、氟类聚合物、对二甲苯类聚合物、乙烯醇类聚合物及它们的混合物。在这样的实施例中，平坦化层205可以包括具有无机绝缘层和有机绝缘层的复合堆叠层。

第一电极211和堤层206可以设置在平坦化层205上。

第一电极211可以与TFT电连接。具体地讲，第一电极211可以经由形成在平坦化层205中的接触孔与漏电极209b电连接。第一电极211可以具有各种形状，例如，可以以岛的形状被图案化。

堤层206可以设置在第一电极211和平坦化层205上并限定像素区域。堤层206可以限定设置有LED 230的空间。在示例性实施例中，堤层206可以包括热塑性树脂(诸如聚碳酸酯(PC)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚醚砜(PES)、聚乙烯醇缩丁醛(PVB)、聚亚苯基醚(PPE)、聚酰胺、聚醚酰亚胺(PEI)、降冰片烯类树脂、甲基丙烯酸树脂、环状聚烯烃类树脂等)、热固性树脂(诸如环氧树脂、酚醛树脂、聚氨酯树脂、丙烯酸树脂、乙烯基酯树脂、酰亚胺类树脂、聚氨酯类树脂、脲醛树脂、三聚氰胺树脂等)或有机绝缘材料(诸如聚苯乙烯、聚丙烯腈、聚碳酸酯等)，但不限于此。在可选择的示例性实施例中，堤层206可以包括具有诸如SiO_x、SiN_x、SiN_xO_y、AlO_x、TiO_x、TaO_x、ZnO_x等的无机氧化物和无机氮化物的无机绝缘材料，但不限于此。根据另一可选择的示例性实施例，堤层206可以包括诸如黑矩阵材料的不透明材料。在示例性实施例中，绝缘黑矩阵材料可以包括有机树脂、玻璃膏、包含黑色颜料或膏的树脂、金属颗粒(例如，Ni、Al、Mo及其合金)、金属氧化物颗粒(例如，氧化铬)或金属氮化物颗粒(例如，氮化铬)。堤层206不限于上述材料，并且可以根据LED 230的结构、LED 230的连接和电极等来包括各种材料。

钝化层213可以设置在堤层206之间的空间中。在示例性实施例中，钝化层213可以设置在LED 230与堤层206之间，并有效地防止第二电极212与第一电极211接触。

钝化层213相对于可见光波长可以是透明的或半透明的，因此可以基本不使完整的系统的光提取效率劣化。钝化层213可以包括各种材料，例如，环氧树脂、PMMA、苯并环丁烯(“BCB”)、聚酰亚胺和聚酯，但不限于此。根据示例性实施例，钝化层213通过喷墨方法形成在LED 230的周围。

LED 230发射红光、绿光或蓝光，并且可以通过使用荧光材料或使颜色结合来产生白光。LED 230可以包括第一半导体层231、第二半导体层232和位于第一半导体层231与第二半导体层232之间的中间层233。

第一半导体层231可以实现为例如p型半导体层。p型半导体层可以包括具有In_xAl_yGa_1-x-yN(0≤x≤1，0≤y≤1，0≤x+y≤1)的组分式的半导体材料，并且可以包括例如GaN、AlN、AlGaN、InGaN、InN、InAlGaN、AlInN等。第一半导体层231可以掺杂有诸如Mg、Zn、Ca、Sr和Ba的p型掺杂剂。

第二半导体层232可以包括例如n型半导体层。n型半导体层可以包括具有In_xAl_yGa_1-x-yN(0≤x≤1，0≤y≤1，0≤x+y≤1)的组分式的半导体材料，并且可以包括例如GaN、AlN、AlGaN、InGaN、InN、InAlGaN、AlInN等。第二半导体层232可以掺杂有诸如Si、Ge和Sn的n型掺杂剂。

然而，示例性实施例不限于此，可选择地，第一半导体层231可以包括n型半导体层，第二半导体层232可以包括p型半导体层。

中间层233是电子和空穴复合的区域。当电子和空穴复合时，它们可以变迁到较低能级并且发射具有相应波长的光。中间层233可以包括具有In_xAl_yGa_1-x-yN(0≤x≤1，0≤y≤1，0≤x+y≤1)的组分式的半导体材料，并且可以包括单量子阱结构或多量子阱(“MQW”)结构。在这样的实施例中，中间层233可以包括量子线结构或量子点结构。

第一电极焊盘235可以设置或形成在第一半导体层231上，第二电极焊盘237可以设置或形成在第二半导体层232上。第一电极焊盘235可以结合到第一电极211。在LED 230具有竖直结构的示例性实施例中，第二电极焊盘237可以位于第一电极焊盘235的相对侧上，并且与第二电极焊盘237接触的第二电极212可以设置在发射层210上。

第一电极211可以包括反射层(包括Ag、Mg、Al、Pt、Pd、Au、Ni、Nd、Ir、Cr及它们的混合物)以及位于反射层上的透明或半透明电极层。透明或半透明电极层可以包括从氧化铟锡(“ITO”)、氧化铟锌(“IZO”)、氧化锌(ZnO)、氧化铟(In₂O₃)、氧化铟镓(“IGO”)和氧化铝锌(“AZO”)中选择的至少一种。

第二电极212可以设置或形成在发射层210的整个表面上。第二电极212可以是透明或半透明电极，并且包括具有小的逸出功并包含Li、Ca、LiF/Ca、LiF/Al、Al、Ag、Mg及它们的化合物的金属薄膜。在示例性实施例中，包括用于形成透明电极的材料(诸如ITO、IZO、ZnO或In₂O₃)的辅助电极层或汇流电极可以形成在金属薄膜上。因此，第二电极212可以透射从LED 230发射的光。

然而，显示装置的示例性实施例不限于顶发射型显示装置，并且可以是从LED 230发射的光朝向基底201发射的底发射型显示装置。在示例性实施例中，第一电极211可以包括透明或半透明电极，第二电极212可以包括反射电极。在可选择的示例性实施例中，显示装置10可以是在包括前侧和底侧的两个方向上发光的双发射型显示装置。

尽管图14示出了包括第一电极焊盘235和第二电极焊盘237彼此相对设置的竖直型LED 230的示例性实施例，但示例性实施例不限于此。在可选择的示例性实施例中，LED 230可以是第一电极焊盘235和第二电极焊盘237被设置为面向同一方向的水平型LED或倒装型LED(未示出)。

水平型LED包括第一半导体层(未示出)、第二半导体层(未示出)和位于第一半导体层与第二半导体层之间的中间层(未示出)。第一电极焊盘(未示出)设置或形成在第一半导体层上，第二电极焊盘(未示出)设置或形成在第二半导体层上。在这样的实施例中，第一电极焊盘和第二电极焊盘二者可以设置为面向同一方向。

在这样的实施例中，去除中间层和第一半导体层的一部分以暴露第二半导体层的一部分。第二电极焊盘可以设置或形成在第二半导体层的暴露的部分上。在这样的实施例中，第二半导体层的面积比第一半导体层和中间层的面积大，第二电极焊盘可以设置在第二半导体层的突出到第一半导体层和中间层的外部的部分上。

在这样的实施例中，与第二电极焊盘接触的第二电极可以设置或形成在平坦化层(未示出)上。第二电极可以设置或形成在与第一电极分隔开的位置上，并且形成在形成有第一电极的层中。在可选择的示例性实施例中，绝缘层可以设置在第二电极和第一电极之间，暴露第一电极或第二电极的开口可以形成在绝缘层中。

多个LED 230可以设置或形成在第一基底1上。第一基底1可以包括导电基底或绝缘基底，并且可以包括例如从Al₂O₃、SiC、Si、GaAs、GaN、ZnO、Si、GaP、InP、Ge和Ga₂O₃中选择的至少一种。

多个LED 230中的每个可以包括第一半导体层231、第二半导体层232和位于第一半导体层231与第二半导体层232之间的中间层233。第一半导体层231、中间层233和第二半导体层232可以通过使用诸如金属有机化学气相沉积(“MOCVD”)、化学气相沉积(“CVD”)、等离子体增强化学气相沉积(“PECVD”)、分子束外延(“MBE”)或氢化物气相外延(“HVPE”)的方法来形成。第一电极焊盘235可以形成在第一半导体层231上，第二电极焊盘237可以形成在第二半导体层232上。

在将多个LED 230转移到第二基底200上之后，与第二电极焊盘237接触的第二电极212可以形成在发射层210上。第二电极212可以形成在例如发射层210的整个表面上。

在示例性实施例中，如上所述，显示装置10的制造方法可以包括转移第一电极焊盘235和第二电极焊盘237彼此相对设置的竖直型LED 230的方法或工艺，但不限于此。显示装置10的制造方法的可选择的示例性实施例可以包括将水平型LED 230或倒装型LED 230转移到第二基底200上的方法或工艺。

水平型LED 230或倒装型LED 230中的每个可以包括第一半导体层(未示出)、第二半导体层(未示出)和位于第一半导体层与第二半导体层之间的中间层(未示出)。第一电极焊盘(未示出)形成在第一半导体层上，第二电极焊盘(未示出)形成在第二半导体层上。第一电极焊盘和第二电极焊盘二者可以设置为面向同一方向。

在这样的实施例中，在形成多个LED 230时，可以通过使用反应离子蚀刻(“RIE”)等对从第一半导体层到第二半导体层的一部分范围的区域执行台面蚀刻，使得可以暴露第二半导体层的一部分，然后可以在第二半导体层上形成第二电极焊盘。

在这样的实施例中，第一电极焊盘和第二电极焊盘同时设置在第二基底200上或一起形成在第二基底200上。第二电极形成在与第一电极分隔开的位置上。第二电极可以形成在形成有第一电极的层中，或者可以在第二电极与第一电极之间设置绝缘层，并且暴露第一电极或第二电极的开口可以形成在绝缘层中。

可以通过使用与上面描述的方法相同的方法来将水平型LED 230或倒装型LED 230转移到第二基底200上。在示例性实施例中，第一电极焊盘可以结合到第一电极，第二电极焊盘可以结合到第二电极。在下文中，为了描述的方便，将主要描述针对竖直型LED 230的示例性实施例。

单独的包封部214可以设置或安装在第二电极212上以保护LED 230免受氧气和湿气的损害。在示例性实施例中，包封部214可以包括具有与基底201的材料相同或相似的材料的包封基底(未示出)或者包括有机层和无机层中的至少一种的薄膜(未示出)。为了描述的方便，在下文中，将主要描述包封部214包括薄膜的示例性实施例。

因此，LED转移装置100可以通过同时转移多个LED来提高生产率。在这样的实施例中，LED转移装置100可以通过顺序地拾取并转移多个LED230来减少消耗的时间。

LED转移装置100可以拾取各种形状的LED并将LED设置在各种位置上。

图15是示出根据可选择的示例性实施例的LED转移装置100A的侧剖视图。图16是示出图15中示出的LED转移装置100A的第一线性驱动部的剖视图。图17是示出从第一基底经由图15中示出的LED转移装置100A转移到第二基底的LED的布置的示意性平面图。

参照图15至图17，LED转移装置100A的示例性实施例可以包括室110A、平台120A、移动部130A、第一线性驱动部140A、第二线性驱动部150A、头部160A和视觉部170A。在这样的实施例中，室110A、平台120A、移动部130A和视觉部170A与上面描述的元件相同或相似，将省略对其任何重复的详细描述。

在这样的实施例中，第一线性驱动部140A可以以上面描述的各种形状形成。在下文中，将参照图16详细地描述第一线性驱动部140A的示例性实施例。

第一线性驱动部140A的示例性实施例可以包括第一驱动马达141A、第一滚珠螺杆142A和第一引导部143A。在这样的实施例中，第一驱动马达141A可以固定到平台120A。在这样的实施例中，第一滚珠螺杆142A可以安装为穿过移动部130A并与第一驱动马达141A连接。

第一滚珠螺杆142A可以包括结合到移动部130A的第一连接部142A-2和插入到第一连接部142A-2中并转动的第一螺杆部142A-1。在示例性实施例中，第一螺杆部142A-1可以与第一驱动马达141A连接并在第一驱动马达141A转动时转动。在这样的实施例中，第一连接部142A-2可以在第一螺杆部142A-1转动时沿第一螺杆部142A-1线性地移动。

第一引导部143A可以设置在移动部130A与平台120A之间并且可以减小移动部130A与平台120A之间的摩擦力。在示例性实施例中，第一引导部143A可以具有诸如线性运动引导件的各种形状和润滑剂。在一个示例性实施例中，例如，第一引导部143A可以由设置在用于执行相对运动并减小摩擦力的物件之间的任何单元、结构和材料限定。为了描述的方便，在下文中，将主要描述第一引导部143A包括线性运动引导件的示例性实施例。

如上所述，第二线性驱动部150A可以呈各种形状。在下文中，将在下面参照图15详细地描述第二线性驱动部150A的示例性实施例。

与第一线性驱动部140A相似，第二线性驱动部150A可以包括第二驱动马达151A和第二滚珠螺杆153A。在示例性实施例中，第二滚珠螺杆153A可以包括第二连接部153A-2和第二螺杆部153A-1。第二连接部153A-2可以插入到头部160A中并固定到头部160A。在这样的实施例中，第二螺杆部153A-1可以安装为穿过头部160A并且可以具有与第二驱动马达151A连接的端部。

头部160A可以包括头主体部161A、拾取部162A和转动驱动部163A。在示例性实施例中，第二螺杆部153A-1可以安装在转动驱动部163A的内部以穿过转动驱动部163A。

头主体部161A可以呈各种形状。在一个示例性实施例中，例如，头主体部161A可以呈板形形状。根据可选择的示例性实施例，头主体部161A可以呈棒状形状。然而，头主体部161A不限于此，并且可以修改为呈各种形状。

拾取部162A可以设置在头主体部161A上。在示例性实施例中，拾取部162A可以按多个设置，并可以设置在头主体部161A的表面上，从而拾取部162A可以按预定的间隔彼此分隔开。

转动驱动部163A可以使头主体部161A转动。在示例性实施例中，转动驱动部163A可以使头主体部161A围绕作为转动轴的头主体部161A的施加负载的方向转动。转动驱动部163A可以包括马达。

LED转移装置100A可以将LED 230A从第一基底1转移到第二基底200。

在示例性实施例中，在将移动部130A定位在第一基底1上之后，经由视觉部170A检测头部160A与第一基底1之间的位置，并且可以通过使用第一线性驱动部140A和第二线性驱动部150A来将头部160A的位置调整到预定位置。在将头部160A定位在预定位置上的这样的实施例中，当第二线性驱动部150A操作时，头主体部161A可以下降，并且LED 230可以附于拾取部162A上。在这样的实施例中，当第二线性驱动部150A反向操作时，头主体部161A可以上升，并且LED 230与拾取部162A一起可以与第一基底1分开。在示例性实施例中，由于使LED 230与第一基底1分开的方法与上述方法相同或相似，因此将省略对其任何重复的详细描述。

如上所述，拾取LED 230，并且第一线性驱动部140A可以操作以将头部160A设置到第二基底200。在这样的实施例中，视觉部170A可以捕获头部160A与第二基底200之间的位置关系，并且第一线性驱动部140A和第二线性驱动部150A可以调整头部160A的位置，从而头部160A可以与第二基底200对应。

在执行头部160A的位置调整之后，转动驱动部163A可以操作以使头主体部161A倾斜。在示例性实施例中，当转动驱动部163A操作时，头主体部161A可以围绕作为转动轴的图15的z轴转动。在从平面图观察时LED 230具有四边形形状的示例性实施例中，LED 230可以根据第二基底200的结构以菱形形状布置。在示例性实施例中，在头主体部161A不转动的同时利用头主体部161A将从第一基底1拾取的LED 230直接转移到第二基底200上时，第二基底200的放置有LED 230的部分的形状和LED 230的形状可以彼此不对应。在这样的实施例中，转动驱动部163A使头部160A围绕作为转动轴的图15的z轴倾斜，使得四边形的LED 230可以呈菱形形状布置。

可以通过使头主体部161A倾斜并操作第二线性驱动部150A以使头主体部161A下降来将位于拾取部162A上的LED 230转移到第二基底200上。

在这样的实施例中，可以重复地执行上述操作直到所有LED 230转移到第二基底200上为止。

因此，LED转移装置100A可以通过同时转移多个LED 230来提高生产率。在这样的实施例中，LED转移装置100A可以通过顺序地拾取和转移多个LED 230来减少消耗的时间。

LED转移装置100A可以拾取各种形状的LED并将LED设置在各种位置上。在这样的实施例中，LED转移装置100A使具有预定形状的LED 230倾斜预定角度并转移LED 230，从而可以有效地转移各种布置的LED 230。

图18是示出根据另一示例性实施例的LED转移装置100B的侧剖视图。图19是示出图18中示出的LED转移装置100B的第一线性驱动部的剖视图。

参照图18和图19，LED转移装置100B的示例性实施例可以包括室110B、平台120B、移动部130B、第一线性驱动部140B、第二线性驱动部150B、头部160B和视觉部170B。在示例性实施例中，室110B、平台120B、移动部130B和视觉部170B与上面描述的元件相同或相似，将省略对其任何重复的详细描述。

如上所述，第一线性驱动部140B可以呈各种形状。在下文中，将参照图18详细地描述第一线性驱动部140B的示例性实施例。

在示例性实施例中，第一线性驱动部140B可以包括第一驱动马达141B、第一滑轮142B-1、第二滑轮(未示出)、第一线144B和第一引导部143B。在这样的实施例中，第一线144B可以穿过移动部130B，并且可以卷绕在第一滑轮142B-1和第二滑轮中的一个上，或者从第一滑轮142B-1和第二滑轮中的另一个释放。在这样的实施例中，第一驱动马达141B可以连接到第一滑轮142B-1和第二滑轮中的至少一个并使第一滑轮142B-1和第二滑轮中的至少一个转动。

第一线144B可以固定在移动部130B的内部。在这样的实施例中，第一滑轮142B-1和第二滑轮可以安装成在平台120B的长度方向(图18的x轴方向)上彼此面对。

第一引导部143B可以安装在移动部130B与平台120B之间。在示例性实施例中，第一引导部143B可以包括安装到移动部130B和平台120B中的一个的第一轨道部143B-1、放置在第一轨道部143B-1上并在第一轨道部143B-1上移动的第一滑动部143B-2、以及设置在第一轨道部143B-1与第一滑动部143B-2之间的第一轴承部143B-3。为了描述的方便，在下文中，将主要描述第一轨道部143B-1设置在平台120B上的示例性实施例。

如上所述，第二线性驱动部150B可以呈各种形状。然而，为了描述的方便，在下文中，将主要描述第二线性驱动部150B包括气缸的示例性实施例。

在这样的实施例中，第二线性驱动部150B可以包括位置变化部151B和固定支架152B。头部160B可以包括头主体部161B、拾取部162B以及转动驱动部163B和164B。在这样的实施例中，头主体部161B和拾取部162B与上面描述的元件相同或相似，将省略对其任何重复的详细描述。

转动驱动部可以包括设置在固定支架152B与位置变化部151B之间并使固定支架152B与位置变化部151B连接的第一转动驱动部164B。在这样的实施例中，转动驱动部可以包括安装到固定支架152B并连接到头主体部161B的第二转动驱动部163B。

在示例性实施例中，第一转动驱动部164B可以包括上述的通用马达。第二转动驱动部163B可以包括转动马达163B-1和转动轴163B-2。转动马达163B-1可以安装到固定支架152B，并连接到被安装为穿过头主体部161B的转动轴163B-2。

LED转移装置100B的操作可以与上面描述的操作相同或相似。LED转移装置100B可以通过使用拾取部162B来拾取第一基底(未示出)的LED 230并将LED 230转移到第二基底200上。

在示例性实施例中，视觉部170B可以捕获第一基底与头部160B之间的位置关系以及第二基底200与头部160B之间的位置关系，并为调整头部160B的位置提供基础。

在这样的实施例中，第一线性驱动部140B可以通过使移动部130B移动来将头部160B设置在第一基底和第二基底200上。第二线性驱动部150B可以通过使头部160B上升/下降使拾取部162B能够拾取第一基底的LED 230，并将拾取部162B上的LED 230转移到第二基底200上。

第一转动驱动部164B可以使固定支架152B和头主体部161B围绕作为转动轴的头主体部161B的施加负载的方向(或图18的z轴)转动。在示例性实施例中，如上所述，具有四边形形状的LED 230可以以菱形形状转移到第二基底200上。

在示例性实施例中，第二转动驱动部163B可以使头主体部161B围绕作为转动轴的头主体部161B的长度方向(或图18的y轴)转动。在这样的实施例中，能够通过使用在头主体部161B的表面上形成多条线的多个拾取部162B一次拾取多个LED 230，并顺序地将多个LED 230转移到第二基底200上。

在这里描述的示例性实施例中，LED转移装置100B可以通过同时转移多个LED 230来提高生产率。在这样的实施例中，LED转移装置100B可以通过顺序地拾取并转移多个LED 230来减少消耗的时间。

在示例性实施例中，LED转移装置100B可以拾取各种形状的LED并将LED设置在各种位置上。在这样的实施例中，LED转移装置100B使具有预定形状的LED 230倾斜预定角度并转移LED 230，从而可以转移各种布置的LED 230。

尽管已经参照附图中示出的示例性实施例对发明构思进行了描述，但提供这些实施例仅为了示例性的目的，本领域普通技术人员将理解的是，在这里可以做出各种修改和其他等同实施例。因此，发明构思的精神和范围应该由权利要求限定。