高带宽有机基板天线结构和制作方法与流程

文档序号:17955256发布日期:2019-06-19 00:24阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种高带宽有机基板天线结构的制作方法,其特征在于,包括下述步骤:

步骤S1,提供上层有机基板(1)和下层有机基板(2);

上层有机基板(1)包括第一内芯板(101),以及分别通过第一PP层(102)和第二PP层(103)压合在第一内芯板(101)上下两个表面的第一铜层(104)和第二铜层(105);

下层有机基板(2)包括第二内芯板(201),以及分别通过第三PP层(202)和第四PP层(203)压合在第二内芯板(201)上下两个表面的第三铜层(204)和第四铜层(205);

步骤S2,在上层有机基板(1)上利用第一铜层(104)刻蚀出微带天线结构(106);

步骤S3,在上层有机基板(1)上制作第一通孔,并在第一通孔中电镀填充导电金属,形成连接微带天线结构(106)的馈线(107);

步骤S4,在上层有机基板(1)背离微带天线结构(106)的另一面,制作出空腔结构(108);空腔结构(108)深入第一内芯板(101),但并不穿透第一内芯板(101);

步骤S5,去除下层有机基板(2)上表面的第三铜层(204);

步骤S6,在下层有机基板(2)上制作第二通孔,并在第二通孔中电镀填充导电金属,形成与上层有机基板中馈线(107)位置对应的相连端(206);

步骤S7,在下层有机基板(2)上制作第三通孔(207),形成通气结构;

步骤S8,将上层有机基板(1)和下层有机基板(2)对准、键合在一起,形成高带宽有机基板天线结构;键合时,上层有机基板(1)的下表面第二铜层(105)与下层有机基板(2)上表面去除第三铜层(204)后的第三PP层(202)贴合;

其中,第三通孔(207)连通上层有机基板(1)的空腔结构(108);下层有机基板(2)的相连端(206)连接上层有机基板(1)中的馈线(107);

所述PP层指预浸材料层。

2.如权利要求1所述的高带宽有机基板天线结构的制作方法,其特征在于,

步骤S3中,采用激光打孔的方法制作第一通孔。

3.如权利要求1所述的高带宽有机基板天线结构的制作方法,其特征在于,

步骤S4中,空腔结构(108)具体利用铣加工工艺制作。

4.如权利要求1所述的高带宽有机基板天线结构的制作方法,其特征在于,

步骤S5中,利用蚀刻工艺去除第三铜层(204)。

5.如权利要求1所述的高带宽有机基板天线结构的制作方法,其特征在于,

步骤S6中,采用激光打孔工艺制作第二通孔。

6.如权利要求1所述的高带宽有机基板天线结构的制作方法,其特征在于,

步骤S7中,采用激光打孔工艺制作第三通孔(207)。

7.一种高带宽有机基板天线结构,其特征在于,包括上层有机基板(1)和下层有机基板(2);

上层有机基板(1)包括第一内芯板(101),以及分别通过第一PP层(102)和第二PP层(103)压合在第一内芯板(101)上下两个表面的第一铜层(104)和第二铜层(105);

在上层有机基板(1)上利用第一铜层(104)刻蚀出微带天线结构(106);在上层有机基板(1)中设有贯通上层有机基板(1)的馈线(107),馈线(107)的一端连接微带天线结构(106);在上层有机基板(1)背离微带天线结构(106)的另一面设有空腔结构(108);空腔结构(108)深入第一内芯板(101),但并不穿透第一内芯板(101);

下层有机基板(2)包括第二内芯板(201),以及在第二内芯板(201)上表面的第三PP层(202),和通过第四PP层(203)压合在第二内芯板(201)下表面的第四铜层(205);

下层有机基板(2)中设有与上层有机基板中馈线(107)位置对应的相连端(206);还设有第三通孔(207),用以形成通气结构;

上层有机基板(1)和下层有机基板(2)对准键合在一起;上层有机基板(1)的下表面第二铜层(105)与下层有机基板(2)上表面的第三PP层(202)贴合;其中,下层有机基板(2)的第三通孔(207)连通上层有机基板(1)的空腔结构(108);下层有机基板(2)的相连端(206)连接上层有机基板(1)中的馈线(107);

所述PP层指预浸材料层。

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