方向性可重构的微电子机械天线及其制备方法与流程

文档序号:12130523阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种方向性可重构的微电子机械天线及其制备方法,该微电子机械天线以砷化镓为衬底,在衬底上设有微带天线馈线、星型结构微带天线辐射元、MEMS悬臂梁、悬臂梁桥墩。通过对悬臂梁同侧下拉电极施加极性相同大小不同的电压,这样MEMS悬臂梁就会有不同程度的弯曲,从而实现对微波天线方向性的小重构;通过对悬臂梁左右两侧下拉电极施加极性相反的电压,这样MEMS悬臂梁两侧就会产生方向相反的弯曲,从而实现对微波天线方向性的大重构。

技术研发人员:王德波
受保护的技术使用者:南京邮电大学
文档号码:201611041699
技术研发日:2016.11.24
技术公布日:2017.03.22

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