一种目标回光能力值校准新型光源发射系统的制作方法

文档序号:11106991阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种目标回光能力值校准新型光源发射系统,其特征在于,包括:光纤激光器(1)、反射准直器(2)、衰减器(3)、偏振控制器(4)、偏振分光镜(5)同轴布置;偏振分光镜(5)的全反射侧布置同轴的第一λ/4波片(6)和波前控制器(7);与第一λ/4波片(6)和波前控制器(7)相对的另一侧同轴布置变倍扩束器(11)、光束整形器(12)、二级扩束器(13);与光纤激光器(1)、反射准直器(2)、衰减器(3)和偏振控制器(4)相对的另一侧布置同轴的第二λ/4波片(8)、透反射镜(9)、波前探测器(10)。

2.如权利要求1所述的目标回光能力值校准新型光源发射系统,其特征在于,所述光纤激光器(1)放置于一个端口上,出射多波长激光,光束质量M2优于1.4、功率100mW、波长0.632um、1.06um和0.808um,功率的稳定性优于0.5%,波长的半带宽优于5nm。

3.如权利要求2所述的目标回光能力值校准新型光源发射系统,其特征在于,所述光纤激光器(1)出射的光束通过发射准直器(2)进行扩束压缩发散角,准直后的光束进入衰减器(3)进行光强衰减,衰减器(3)采用可更换式中性衰减片,衰减倍率0dB~100dB变化。

4.如权利要求3所述的目标回光能力值校准新型光源发射系统,其特征在于,所述衰减后的光束经过偏振控制器(4)进行偏振选择,经选择的偏振光进入偏振分光镜(5)后被全反射,反射光束通过第一λ/4波片(6)后入射到波前控制器(7)。

5.如权利要求4所述的目标回光能力值校准新型光源发射系统,其特征在于,所述波前控制器(7)包括液晶调制器和控制系统,液晶调制器采用高精度纯相位空间光调制器。

6.如权利要求5所述的目标回光能力值校准新型光源发射系统,其特征在于,光束通过波前控制器(7)调制新的光束波前后被反射,反射光再次经过第一λ/4波片(6)后通过偏振分光镜(5),透射后的光束经过第二λ/4波片(8)后被透反射镜(9)部分反射,部分透射。

7.如权利要求6所述的目标回光能力值校准新型光源发射系统,其特征在于,所述透反射镜(9)前表面镀反射率α1为90%的反射膜,后表面镀α2为99.8%的增透膜,透过光束经过波前探测器(10)进行波前探测。

8.如权利要求7所述的目标回光能力值校准新型光源发射系统,其特征在于,所述波前探测器(10)的前端光学系统包括双胶合透镜(16)和单透镜,后端光学系统包括目镜(18)和哈特曼传感器(19);当测量波长为0.632um的光束时,前端光学系统和后端光学系统之间放入补偿板(17)。

9.如权利要求7所述的目标回光能力值校准新型光源发射系统,其特征在于,所述透反射镜(9)的反射光束再次经过第二λ/4波片(8)后改变偏振方向,经过偏振分光镜(5)反射进入变倍扩束器(11)进行光束的扩展,经过变倍率扩展的光束进入光束整形器(12)进行光强匀化处理,经过整形的光束进入二级扩束器(13),实现多波长下工作。

10.如权利要求9所述的目标回光能力值校准新型光源发射系统,其特征在于,所述变倍扩束器(11)包括同轴设置的变倍组透镜(20)、固定组透镜(21)和补偿组透镜(22);光束整形器(12)采用开普勒型非球面镜组整形原理,包括第一非球面透镜(14)和第二非球面透镜(15);二级扩束器(13)放大倍率为6×,主镜为双分离透镜,次镜为单负透镜,次镜将固定在电动步进位移台上,以实现精确控制次镜与主镜间距离。

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