一种短沟道半导体/石墨烯异质结光探测器的构筑方法与流程

文档序号:12479016阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种短沟道半导体/石墨烯异质结光探测器的构筑方法,其特征在于包括以下步骤:

(1) 石墨烯的生长和转移:利用CVD法在1050°C~1100°C环境下通入20 sccm CH4和100 sccmH2 40分钟,在铜箔表面生长单层连续石墨烯;随后使用PMMA作为载体将石墨烯转移至300纳米SiO2/Si基底上;再通过在350°C~450℃环境下通入10 sccm H2和20 sccm Ar低压退火1.5~2小时,除去用于石墨烯转移的PMMA载体,完成石墨烯的无缝转移;

(2) ZnS纳米线的生长:ZnS纳米线通过气-液-固机制生长机制,使用物理气相沉积法进行生长,具体为:将装有ZnS粉末的陶瓷舟放置在石英管的中心位置,将覆盖着很薄的Au薄膜的硅基底放置在位于石英管下游的另一陶瓷舟上,将炉加热至1050 ℃~1150°C,通入200sccm Ar并在该温度下保持90~100分钟;

(3) ZnS纳米线与石墨烯条带交叉结构的构筑:在将石墨烯薄膜转移到300纳米SiO2/Si基底上之后,利用O2等离子体蚀刻在通过光刻技术图案化的石墨烯上制备宽度为5微米的石墨烯条带阵列;之后,将ZnS纳米线以接近90°的角度转移到石墨烯条带上;

(4) 器件构筑:通过光刻技术选定所需区域,将厚度为18~20纳米Au薄膜镀在覆有单根ZnS纳米线与石墨烯条带交叉的区域上;在去除光刻胶之后,用稀H2SO4去除被Au薄膜覆盖着的ZnS纳米线;最后,在通过光刻技术固定该区域之后,将ZnSe薄膜镀在位于Au缝隙中的石墨烯条带上。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1