技术总结
本发明公开了一种短沟道半导体/石墨烯异质结光探测器的构筑方法,首先,将平均直径为100纳米的ZnS纳米线以接近90°的角度转移到石墨烯条带上,构建由石墨烯条带与单根ZnS纳米线交叉的结构;之后,使用光刻技术,在与单根ZnS纳米线交叉的石墨烯条带上镀Au薄膜并随后除去ZnS纳米线掩膜来制作有着低于100纳米间隙的Au电极;最后,将ZnSe薄膜镀在位于Au电极间隙中的石墨烯条带上,短沟道半导体/石墨烯异质结光探测器就构筑完成了。本发明工艺简单,成本低廉,具有较好的实用价值。
技术研发人员:王敏;许智豪;吴从军;蔡曹元;马杨
受保护的技术使用者:合肥工业大学
文档号码:201611164999
技术研发日:2016.12.16
技术公布日:2017.05.31