一种高效背照明ZnO基FPA阵列紫外线探测器的制作方法

文档序号:11859266阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种高效背照明ZnO基FPA阵列紫外线探测器,包括衬底(1),其特征在于:所述的衬底(1)的上方铺设有ITO透明导电层(2),衬底(1)上且邻近边缘处均匀设有ZnO台柱安装槽(3),ZnO台柱安装槽(3)内竖直安装有ZnO台柱(5),ZnO台柱(5)穿过ITO透明导电层(2),所述ITO透明导电层(2)上表面的中心部留有平滑反光面(4),所述ZnO台柱(5)的顶端焊接有竖直的AI电极(6),AI电极(6)的顶端为插指电极(7)。

2.根据权利要求1所述的一种高效背照明ZnO基FPA阵列紫外线探测器,其特征在于:所述衬底(1)为石英石衬底。

3.根据权利要求1所述的一种高效背照明ZnO基FPA阵列紫外线探测器,其特征在于:所述ZnO台柱(5)和AI电极(6)的侧壁均设有MgZn4O5薄膜(8)。

4.根据权利要求3所述的一种高效背照明ZnO基FPA阵列紫外线探测器,其特征在于:所述MgZn4O5薄膜(8)的厚度在300纳米至360纳米之间。

5.根据权利要求1所述的一种高效背照明ZnO基FPA阵列紫外线探测器,其特征在于:所述插指电极(7)上设有至少十对插指(9)。

6.根据权利要求1所述的一种高效背照明ZnO基FPA阵列紫外线探测器,其特征在于:所述ZnO台柱(5)和AI电极(6)的横切面均为圆形。

7.根据权利要求1所述的一种高效背照明ZnO基FPA阵列紫外线探测器,其特征在于:所述ZnO台柱(5)的横切面的面积为2500π平方微米,所述AI电极(6)的横切面的面积为900π平方微米。

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