一种单晶硅抛光片清洗机用兼容式甩干盒芯的制作方法

本实用新型涉及到单晶硅抛光片的生产领域，具体的说是一种单晶硅抛光片清洗机用兼容式甩干盒芯。

背景技术：

随着半导体行业的发展，市场对单晶硅抛光片的需求量越来越大，对单晶硅抛光片的规格尺寸的要求也越来越多样化。为了满足市场的需要，就要求单晶硅抛光片清洗机尽可能兼容多个尺寸，这样就可以尽可能的实现硅抛光片规格和尺寸的多样化。目前市场上的抛光片清洗机基本上只能兼容两个尺寸，主要原因是甩干机由于受到清洗机宽度的限制，只能同时甩干两个尺寸，甩干机的甩干腔内只能放置四个盒子，为了保证高速旋转时的稳定性，相对的两个盒子必须是同样大小的。甩干时每次只能甩一组抛光片，并且这组抛光片必须是同尺寸的。

目前国内8英寸以下的抛光片主要是以甩干方式干燥的，而且主流的产品结构以4英寸、5英寸和6英寸为主，现有的抛光片清洗机也是以甩干方式干燥的，但是由于甩干机的限制，只能同时甩干5英寸和6英寸的抛光片，不能满足4英寸、5英寸、6英寸3种尺寸产品结构的需求，所以在生产中至少需要两台清洗机才能满足生产要求，但是如果使用两台清洗机，就不能充分发挥每台清洗机的最大产能，就会大大增加清洗成本。

技术实现要素：

为解决现有技术中的抛光片清洗机只能甩干5英寸和6英寸的硅片但不能兼容4英寸硅片的问题，本实用新型提供了一种单晶硅抛光片清洗机用兼容式甩干盒芯，通过将该盒芯置于5英寸的甩干片盒内后，就可以将5英寸的片盒改装成甩干4英寸硅片的片盒，从而实现了一台清洗剂同时满足4英寸、5英寸、6英寸3种尺寸硅片的清洗需求，还能充分保证甩干的干燥度和洁净度，大大提高了生产效率，节约了成本。

本实用新型为解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种单晶硅抛光片清洗机用兼容式甩干盒芯，包括一矩形水平板和垂直设置在矩形水平板长度方向两侧上表面且与水平板等长的立板围成的铝合金框架，其中，水平板和立板之间为圆弧过渡连接，且沿两者的连接处设置有条形通孔，在每条条形通孔上沿其长度方向均设置有两个六边形支架，且两条条形通孔上的四个六边形支架对称，以形成固定支撑4英寸片盒的卡座；所述水平板的中部设置有将其沿长度方向分成两部分的矩形槽，且在水平板长度方向两端的下表面垂直设置有矩形护板Ⅰ以将矩形槽的两端封闭，所述矩形护板Ⅰ的两个侧边与水平板宽度方向的两端平齐，所述矩形槽沿其两侧垂直向下设置有矩形护板Ⅱ，且矩形护板Ⅱ的下边沿与矩形护板Ⅰ的下边沿平齐，从而将矩形槽围成一矩形框体；所述矩形框体下部长度方向的两侧对称设置有水平的底板，且底板、矩形护板Ⅱ、矩形护板Ⅰ和水平板围成向两侧开口的两个条状矩形空间，在条状矩形空间内垂直设有若干连接底板和水平板的隔板，从而将条状矩形空间分隔成若干个腔室；所述水平板上矩形槽的两侧沿矩形槽的长度方向对称分布有若干圆形透风孔，且这些圆形透风孔与条状矩形空间相连通；所述两块立板上部的外侧面和两块底板下表面上均设置有聚偏氟乙烯材料制成的垫块，以使盒芯放入5英寸片盒内时，盒芯通过垫块与5英寸片盒的内壁接触。

所述两块立板的上边沿倾斜设置有向两侧外扩的延长板。

所述垫块为条状，沿其长度方向设置有贯穿其宽度方向的若干断槽。

所述两块立板上部的外侧面设置有与其等长的支板，且支板与立板之间形成扁平空腔，所述设置在立板上部外侧面的垫块与支板等长，且沿其长度方向设置有贯穿其宽度方向的若干断槽，每个断槽内设置有连接螺栓，以将垫块固定在支板上。

所述每个六边形支架为两条相同的垂直边、两条相同的水平边、两条连接垂直边与水平边的斜边围成板状件，其中，一条垂直边和一条水平边分别与立板和水平板垂直设置，且连接该垂直边和水平边的斜边架设在条形通孔上，并与条形通孔的宽度相等。

有益效果：本实用新型通过在5英寸片盒内设置独特结构的盒芯，盒芯内通过特殊的六边形支架固定4英寸片盒，从而实现了在5英寸片盒内安装4英寸硅片，解决了4英寸、5英寸、6英寸3种尺寸硅片在同一清洗机上的兼容问题，大大节省了清洗成本；在盒芯的特定位置设置条形通孔和圆形透风孔，从而保证了甩干过程中气流的顺畅流动，不会产生涡流，保证了干燥的效果和清洁度；同时，在盒芯的特定部位设置聚偏氟乙烯材料制成的垫块与5英寸片盒接触，从而减少了甩干机在旋转过程中盒芯与5英寸片盒的摩擦，避免了金属和颗粒沾污，起到了良好的保护作用；通过在盒芯内部设置独特结构的四个六边形支架，不仅起到固定4英寸片盒位置的作用，而且在甩干过程中起到对盒芯的支撑作用，具有结构简单、操作方便的优点，同时还能充分保证甩干的干燥度和洁净度，大大提高了生产效率，节约了成本。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图；

图2为图1的侧视图；

图3为六边形支架的结构示意图；

附图标记：1、立板，101、延长板，102、支板，103、扁平空腔，2、水平板，201、矩形护板Ⅱ，202、圆形透风孔，203、矩形槽，3、底板，4、矩形护板Ⅰ，5、垫块，501、断槽，6、六边形支架，601、水平边，602、垂直边，603、斜边，7、矩形空间，8、隔板，9、条形通孔。

具体实施方式

如图所示，一种单晶硅抛光片清洗机用兼容式甩干盒芯，包括一矩形水平板2和垂直设置在矩形水平板2长度方向两侧上表面且与水平板2等长的立板1围成的铝合金框架，其中，水平板2和立板1之间为圆弧过渡连接，且沿两者的连接处设置有条形通孔9，在每条条形通孔9上沿其长度方向均设置有两个六边形支架6，且两条条形通孔9上的四个六边形支架6对称，以形成固定支撑4英寸片盒的卡座；所述水平板2的中部设置有将其沿长度方向分成两部分的矩形槽203，且在水平板2长度方向两端的下表面垂直设置有矩形护板Ⅰ4以将矩形槽203的两端封闭，所述矩形护板Ⅰ4的两个侧边与水平板2宽度方向的两端平齐，所述矩形槽203沿其两侧垂直向下设置有矩形护板Ⅱ201，且矩形护板Ⅱ201的下边沿与矩形护板Ⅰ4的下边沿平齐，从而将矩形槽203围成一矩形框体；所述矩形框体下部长度方向的两侧对称设置有水平的底板3，且底板3、矩形护板Ⅱ201、矩形护板Ⅰ4和水平板2围成向两侧开口的两个条状矩形空间7，在条状矩形空间7内垂直设有若干连接底板3和水平板2的隔板8，从而将条状矩形空间7分隔成若干个腔室；所述水平板2上矩形槽203的两侧沿矩形槽203的长度方向对称分布有若干圆形透风孔202，且这些圆形透风孔202与条状矩形空间7相连通；所述两块立板1上部的外侧面和两块底板3下表面上均设置有聚偏氟乙烯材料制成的垫块5，以使盒芯放入5英寸片盒内时，盒芯通过垫块5与5英寸片盒的内壁接触。

以上为本实用新型的基本实施方式，可在以上基础上做进一步的优化、限定和改进：

如，所述两块立板1的上边沿倾斜设置有向两侧外扩的延长板101；

又如，所述垫块5为条状，沿其长度方向设置有贯穿其宽度方向的若干断槽501；

再如，所述两块立板1上部的外侧面设置有与其等长的支板102，且支板102与立板1之间形成扁平空腔103，所述设置在立板1上部外侧面的垫块5与支板102等长，且沿其长度方向设置有贯穿其宽度方向的若干断槽501，每个断槽501内设置有连接螺栓，以将垫块5固定在支板102上；

最后，所述每个六边形支架6为两条相同的垂直边602、两条相同的水平边601、两条连接垂直边602与水平边601的斜边603围成板状件，其中，一条垂直边602和一条水平边601分别与立板1和水平板2垂直设置，且连接该垂直边602和水平边601的斜边603架设在条形通孔9上，并与条形通孔9的宽度相等。