在线离子泵四极质谱系统的膜进样装置的制作方法

文档序号:11050997阅读:来源:国知局

技术特征:

1.在线离子泵四极质谱系统的膜进样装置,其特征是,它包括:上压盖(1)、下压盖(5)、膜(3)、转接头(6)以及两位三通电磁阀(7);

所述上压盖(1)的左右两侧分别设有与下端面相通的气体通道,其中一条为进气道(11),另一条为抽气道(12);

所述下压盖(5)的上表面设有凹槽,并在中心处设有贯穿的通孔,在所述下压盖(5)的下表面设有所述转接头(6)的安装孔;

所述膜(3)通过支撑衬网(2)设置在所述下压盖(5)的上表面,并由所述上压盖(1)压紧,在所述上压盖(1)、所述下压盖(5)之间设有密封圈(4);所述转接头(6)安装在所述下压盖(5)的下表面;

所述两位三通电磁阀(7)上设有减压微孔,所述两位三通电磁阀(7)的常闭端与四极质谱系统连接,另外两端分别与隔膜泵、所述转接头(6)连接。

2.如权利要求1所述的在线离子泵四极质谱系统的膜进样装置,其特征是,所述密封圈(4)采用硅橡胶材料。

3.如权利要求1或2所述的在线离子泵四极质谱系统的膜进样装置,其特征是,所述两位三通电磁阀(7)通过细管(8)与所述转接头(6)连接。

4.如权利要求3所述的在线离子泵四极质谱系统的膜进样装置,其特征是,所述细管(8)为1/16不锈钢管。

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