电磁波检测器的制作方法

文档序号:15741060发布日期:2018-10-23 22:18阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种电磁波检测器,对电磁波进行光电变换而检测,其特征在于,包括:

基板;

绝缘层,设置于该基板之上;

石墨烯层,设置于该绝缘层之上;

一对电极,设置于该绝缘层之上,分别与该石墨烯层连接;以及

接触层,被设置成与该石墨烯层接触,

该接触层由具有极性基团的材料构成,该接触层与该石墨烯层接触,从而在该石墨烯层中形成有电荷。

2.根据权利要求1所述的电磁波检测器,其特征在于,

所述石墨烯层包括通过所述接触层接触而形成有电荷的接触区域、和不形成电荷的非接触区域。

3.根据权利要求1或者2所述的电磁波检测器,其特征在于,

所述接触层覆盖所述石墨烯层和所述电极的边界。

4.根据权利要求1~3中的任意一项所述的电磁波检测器,其特征在于,

所述接触层由化学地极性变换的材料、或者利用电磁波照射进行极性变换的材料构成。

5.根据权利要求1~4中的任意一项所述的电磁波检测器,其特征在于,

所述接触层是从由具有极性的聚合物材料、具有羟基或者羧基的材料、由于电磁波照射而产生氧化还原反应的材料、含有具有醌二叠氮基的感光剂和酚醛树脂的组合物材料、以及具有极性的无机物材料构成的群组选择的材料。

6.根据权利要求1~5中的任意一项所述的电磁波检测器,其特征在于,

在所述石墨烯层之上设置有多个所述接触层。

7.根据权利要求1~6中的任意一项所述的电磁波检测器,其特征在于,

通过所述接触层与p型的所述石墨烯层的一部分接触而将该石墨烯层改变为n型区域,该石墨烯层具有npn构造或者pnp构造。

8.根据权利要求1~7中的任意一项所述的电磁波检测器,其特征在于,

所述接触层具有由相互不同的材料构成的多个接触层。

9.根据权利要求8所述的电磁波检测器,其特征在于,

由相互不同的材料构成的2个所述接触层隔着所述石墨烯层相向。

10.根据权利要求1~8中的任意一项所述的电磁波检测器,其特征在于,

所述接触层设置于所述石墨烯层之上,以覆盖该接触层和该石墨烯层的方式还设置有其它石墨烯层。

11.根据权利要求1~8中的任意一项所述的电磁波检测器,其特征在于,

所述接触层设置于所述绝缘层与所述石墨烯层之间。

12.根据权利要求1~11中的任意一项所述的电磁波检测器,其特征在于,

所述电极具有包含周期性的凹部或者凸部的周期构造,根据该周期构造,特定波长的电磁波发生等离子共振。

13.根据权利要求1~11中的任意一项所述的电磁波检测器,其特征在于,

所述石墨烯膜具有包含周期性的凹部或者凸部的周期构造,根据该周期构造,特定波长的电磁波发生等离子共振。

14.一种电磁波检测器,对电磁波进行光电变换而检测,其特征在于,包括:

基板;

绝缘层,设置于该基板之上;

二维材料层,设置于该绝缘层之上,由过渡金属二硫属化物或者黑磷构成;

一对电极,设置于该绝缘层之上,分别与该二维材料层连接;以及

接触层,被设置成与该二维材料层接触,

该接触层由具有极性基团的材料构成,该接触层与该二维材料层接触,从而在该二维材料层中形成有电荷。

15.一种阵列传感器,其特征在于,

阵列状地配置有权利要求1~14中的任意一项所述的电磁波检测器。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1