1.一种激光退火的控制方法,其特征在于,包括:
获取预设倾斜角、以及基板的第一侧边的边长和第二侧边的边长,所述第一侧边与第二侧边相连,所述基板固定在基台上;
根据所述预设倾斜角和第一侧边的边长设定激光束的发光长度;
根据所述预设倾斜角、第一侧边的边长和第二侧边的边长计算所述基台的第一移动距离;
根据所述第一移动距离控制所述基台沿着所述第二侧边所在的方向移动,以对所述基板进行退火。
2.根据权利要求1所述的激光退火的控制方法,其特征在于,所述根据所述预设倾斜角和第一侧边的边长调整激光束的发光长度,包括:
利用公式L1/cosθ计算第一阀值,其中,L1为所述第一侧边的边长,θ为所述预设倾斜角;
设定激光束的发光长度,使所述发光长度等于所述第一阀值。
3.根据权利要求2所述的激光退火的控制方法,其特征在于,所述根据所述预设倾斜角、第一侧边的边长和第二侧边的边长计算所述基台的第一移动距离,包括:
利用公式(L2-L1*tanθ)*cosθ计算所述基台的第一移动距离,其中,L2为所述第二侧边的边长。
4.根据权利要求1所述的激光退火的控制方法,其特征在于,所述根据所述第一移动距离控制所述基台沿着所述第二侧边所在的方向移动,包括:
沿着所述第二侧边所在的方向匀速移动所述基台,并计算每一时刻的移动距离;
判断当前移动距离是否到达所述第一移动距离;
若是,则停止所述基台的移动。
5.根据权利要求4所述的激光退火的控制方法,其特征在于,在停止所述基台的移动之后,还包括:
根据所述预设倾斜角和第二侧边的边长对所述发光长度进行调整;
根据所述预设倾斜角、第一侧边的边长和第二侧边的边长计算所述基台的第二移动距离;
控制所述基台沿着所述第一侧边所在的方向移动所述第二移动距离,以对所述基板进行二次退火。
6.根据权利要求5所述的激光退火的控制方法,其特征在于,所述根据所述预设倾斜角和第二侧边的边长对所述发光长度进行调整,包括:
利用公式L2/cosθ计算第二阀值,并将所述发光长度调整至所述第二阀值。
7.根据权利要求5所述的激光退火的控制方法,其特征在于,所述根据所述预设倾斜角、第一侧边的边长和第二侧边的边长计算所述基台的第二移动距离,包括:
利用公式(L1-L2*tanθ)*cosθ计算所述基台的第二移动距离。
8.一种激光退火的控制装置,其特征在于,包括:
获取模块,用于获取预设倾斜角、以及基板的第一侧边的边长和第二侧边的边长,所述第一侧边与第二侧边相连,所述基板固定在基台上;
设定模块,用于根据所述预设倾斜角和第一侧边的边长设定激光束的发光长度;
计算模块,用于根据所述预设倾斜角、第一侧边的边长和第二侧边的边长计算所述基台的第一移动距离;
第一控制模块,用于根据所述第一移动距离控制所述基台沿着所述第二侧边所在的方向移动,以对所述基板进行退火。
9.根据权利要求8所述的激光退火的控制装置,其特征在于,所述设定模块用于:
利用公式L1/cosθ计算第一阀值,其中,L1为所述第一侧边的边长,θ为所述预设倾斜角;
设定激光束的发光长度,使所述发光长度等于所述第一阀值。
10.根据权利要求9所述的激光退火的控制装置,其特征在于,所述计算模块用于:
利用公式(L2-L1*tanθ)*cosθ计算所述基台的第一移动距离,其中,L2为所述第二侧边的边长。
11.根据权利要求8所述的激光退火的控制装置,其特征在于,所述第一控制模块用于:
沿着所述第二侧边所在的方向匀速移动所述基台,并计算每一时刻的移动距离;
判断当前移动距离是否到达所述第一移动距离;
若是,则停止所述基台的移动。
12.根据权利要求11所述的激光退火的控制装置,其特征在于,所述激光退火的控制装置还包括第二控制模块,用于:
在所述第一控制模块停止所述基台的移动之后,根据所述预设倾斜角和第二侧边的边长对所述发光长度进行调整;
根据所述预设倾斜角、第一侧边的边长和第二侧边的边长计算所述基台的第二移动距离;
控制所述基台沿着所述第一侧边所在的方向移动所述第二移动距离,以对所述基板进行二次退火。