一种激光器及其制作方法与流程

文档序号:12738169阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种激光器,其特征在于,包括:激光器芯片,所述激光器芯片至少包括:

衬底以及位于所述衬底之上的有源层、N掺杂层和P掺杂层;

所述有源层位于所述N掺杂层和所述P掺杂层之间,并与所述N掺杂层和P掺杂层相互连接,所述N掺杂层、所述P掺杂层和所述有源层在所述衬底上的投影互不交叠;

其中,所述有源层,用于在所述P掺杂层和所述N掺杂层的作用下产生光。

2.如权利要求1所述的激光器,其特征在于,还包括:

形成在所述衬底上的波导层,以及设置在所述波导层上的光栅,其中,所述波导层与所述有源层相对设置,所述光栅、所述有源层在所述衬底上的投影全部重叠或部分重叠;

其中,所述波导层用于汇聚并传输所述有源层产生的光,所述光栅用于对所述有源层产生的光进行波段筛选。

3.如权利要求2所述的激光器,其特征在于,

所述有源层的材质为III-V族直接带隙材料,所述波导层的材质为硅。

4.如权利要求1所述的激光器,其特征在于,所述激光器芯片还包括:第一限制层和第二限制层;

其中,所述第一限制层、所述有源层、所述第二限制层沿朝向所述衬底的方向依次层叠设置。

5.如权利要求4所述的激光器,其特征在于,所述激光器芯片还包括:

沿所述衬底靠近所述有源层的一侧表面设置的键合层;

其中,所述第二限制层、所述N掺杂层和所述P掺杂层设置在所述键合层远离所述衬底一侧的表面上,且所述波导层位于所述键合层和所述衬底之间。

6.如权利要求1所述的激光器,其特征在于,所述激光器芯片还包括:设置于所述N掺杂层上的第一电极,以及设置于所述P掺杂层上的第二电极。

7.一种如权利要求1至6中任一项所述的激光器的制作方法,其特征在于,包括:

提供一衬底;

在所述衬底上依次键合有源层、P掺杂层和N掺杂层;

其中,所述有源层位于所述N掺杂层和所述P掺杂层之间,并与所述N掺杂层和P掺杂层相互连接,所述N掺杂层、所述P掺杂层和所述有源层在所述衬底上的投影互不交叠,所述有源层,用于在所述P掺杂层和所述N掺杂层的作用下产生光。

8.如权利要求7所述的制作方法,其特征在于,在所述衬底上依次键合有源层、P掺杂层和N掺杂层之前,包括:

提供一基材;

在所述基材上依次形成第一外延材质、有源材质、第二外延材质;

将所述第二外延材质远离所述基材的一面键合在所述衬底上,并去除所述基材;

在所述衬底上依次键合有源层、P掺杂层和N掺杂层,包括:

对所述第一外延材质、所述有源材质和所述第二外延材质进行刻蚀,形成第一限制层、所述有源层和第二限制层,以及第一沟道区、第二沟道区;其中,所述第一限制层、所述有源层和所述第二限制层沿远离所述基材的方向层叠设置;所述有源层位于所述第一沟道区、所述第二沟道区之间;

沿所述第一沟道区、所述第二沟道区分别形成所述N掺杂层和所述P掺杂层,其中,所述N掺杂层、所述P掺杂层和所述有源层沿垂直于所述衬底的厚度方向依次设置。

9.如权利要求7所述的制作方法,其特征在于,在所述衬底上依次键合有源层、P掺杂层和N掺杂层,包括:

提供一基材;

在所述基材上依次形成所述有源层、所述N掺杂层和所述P掺杂层;

将所述有源层、所述N掺杂层和所述P掺杂层键合在所述衬底上,并去除所述基材;

其中,在所述基材上依次形成所述有源层、所述N掺杂层和所述P掺杂层,包括:

在所述基材上依次形成第一外延材质、有源材质、第二外延材质;

对所述第一外延材质、所述有源材质和所述第二外延材质进行刻蚀,形成第一限制层、所述有源层和第二限制层,以及第一沟道区、第二沟道区;其中,所述第一限制层、所述有源层和所述第二限制层沿远离所述基材的方向层叠设置;所述有源层位于所述第一沟道区、所述第二沟道区之间;

沿所述第一沟道区、所述第二沟道区分别形成所述N掺杂层和所述P掺杂层,其中,所述N掺杂层、所述P掺杂层和所述有源层沿垂直于所述衬底的厚度方向依次设置。

10.如权利要求7所述的制作方法,其特征在于,在所述衬底上依次键合有源层、P掺杂层和N掺杂层之前,还包括:

在所述衬底上形成波导层,所述波导层与所述有源层相对设置;

在所述波导层上形成光栅,所述光栅、所述有源层在所述衬底上的投影部分重叠或全部重叠;

其中,所述波导层用于汇聚并传输所述有源层产生的光,所述光栅用于对所述有源层产生的光进行波段筛选。

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