一种用于矿物相自动识别分析的样品台的制作方法

本发明涉及地质样品的扫描电镜仪器分析测试领域，具体是一种适用于矿物相自动识别（INCA-mineral）分析使用的特制样品台。

背景技术：

（1）自动矿物相识别技术（INCA-mineral）：

INCA-mineral是目前世界上最先进的矿物相自动识别分析测试系统之一。该矿物分析软件搭载在扫描电镜（SEM）上，通过能谱探头、背散射探头协作工作来完成测试分析。工作原理是依据背散射图像区分不同的矿物相，通过能谱分析获取各相的元素，再通过图形学处理采集到的全矿物特征。元素含量的变化，是鉴定矿物种类的主要依据。INCA-mineral技术在大面积SDD能谱探头的支持下，可以快速准确地采集每一个颗粒的形貌和成分信息，进行矿物分类和鉴别，实现每小时数千个矿物颗粒的自动分析，使得常规的SEM转变为自动矿物分析设备。

（2）INCA-mineral实验及样品制备

进行INCA-mineral分析测试时，要求试样表面平整，与入射电子束垂直，呈90℃夹角，且样品颗粒均匀分散。因此，对于块状样品，首先要将待测面磨平并抛光。粉末样品则需要将粉末状矿物颗粒置入橡胶模具，注胶并制靶。待树脂固化后，置入自动金相抛光机碾磨抛光。待测样品表面在进行分析前，均需要喷镀连续的导电碳膜，随后装入扫描电镜样品室进行分析，软件测试时需要利用Co作为能谱定量分析标准。

技术实现要素：

本发明为了解决现有技术的问题，提供了一种专门针对地学类的块状样品、靶材样品（粉末状矿物颗粒）特制的一种用于INCA-mineral分析的特制样品台，用以满足尺寸、形状不一的样品进行有标样的测试需求。

本发明提供了一种用于矿物相自动识别分析的样品台，为纯Cu材料制作，样品台底座形状与扫描电镜样品室内样品槽的形状匹配，样品台中间开有样品托，样品托为空心圆柱体，空心圆柱体内部尺寸与标准一英寸靶尺寸相当，高度可以满足绝大多数靶材的厚度。

样品托中安装有可拆卸、可调节的卡槽，用以安装块状岩石样品。卡槽中安装有两组移动挡板，两组可移动挡板用以安装不同尺寸的块状岩石样品。

卡槽底部通过调节螺丝与样品托连接，卡槽侧面设有至少两组样品固定螺丝，对样品进行高度调节，以保证样品上表面与样品台的上表面平行且在同一高度。

样品台侧壁上表面镶嵌有Co标样，Co标样的上表面与样品台上表面在同一水平面，进而与样品表面在同一高度上，以满足样品能够在同一个工作距离（WD）下通过Co标样进行校准。

本发明有益效果在于：提供了一种专门针对地学类的块状样品、靶材样品（粉末状矿物颗粒）特制的一种用于INCA-mineral分析的特制样品台，用以满足尺寸、形状不一的样品进行有标样的测试需求。

附图说明

图1为样品台俯视图。

图2为卡槽结构俯视图。

图3为样品台底座示意图。

图4为样品台侧视图。

图5为样品台主视图。

具体实施方式

本发明提供了一种用于矿物相自动识别分析的样品台，为纯Cu材料制作，样品台底座如图3所示，形状与扫描电镜样品室内样品槽的形状匹配，样品台中间开有高度可调节的样品托，样品托为空心圆柱体，如图4和图5所示，空心圆柱体内部尺寸与标准一英寸靶尺寸相当，高度可以满足绝大多数靶材的厚度。

样品托中安装有可拆卸、可调节的卡槽，如图2所示，用以安装块状岩石样品。卡槽中安装有两组移动挡板，两组可移动挡板用以安装不同尺寸的块状岩石样品。

卡槽底部通过调节螺丝与样品托连接，卡槽侧面设有至少两组样品固定螺丝，对样品进行高度调节，以保证样品上表面与样品台的上表面平行且在同一高度。

样品台侧壁上表面镶嵌有Co标样，如图1所示，Co标样的上表面与样品台上表面在同一水平面，进而与样品表面在同一高度上，以满足样品能够在同一个工作距离（WD）下通过Co标样进行校准。

本发明具体应用途径很多，以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以作出若干改进，这些改进也应视为本发明的保护范围。