技术特征：
技术总结
本发明涉及太阳能电池板制造技术领域，尤其为一种扩散低表面浓度提效工艺，包括以下步骤，步骤1)装片送片；步骤2)升温；步骤3)预氧化；步骤4)第一次扩散；步骤5)第一次推进；步骤6)第二次扩散；步骤7)第二次推进；步骤8)降温；步骤9)退舟。通过增大前氧，加强预氧化，提高扩散前钝化效果；优化扩散、推进步时间及温度，采用低温慢推原理，减少高温带来的热损伤；调整扩散N2‑POCl3流量，降低硅片表面磷浓度，减少重掺杂效应的禁带收缩，降低死层，减少表面复合；同时改变扩散步O2流量，减小扩散步O2对磷扩散的阻碍，提升方阻均匀性，提升转换效率。
技术研发人员：沈亚光;李强强;魏飞
受保护的技术使用者：通威太阳能（合肥）有限公司
技术研发日：2017.04.20
技术公布日：2017.08.22