技术特征：
技术总结
本发明提供一种自动圆形硅片插片机构，包括依次设置的分片部、传输部和插片部，其中，分片部用于分离叠在一起的硅片；传输部用于传输分离的硅片；插片部用于将传输而来的硅片插入硅片装载装置。本发明的有益效果是解决现有技术中手动分片、插片对硅片造成污染、在作业中易碎片的问题，实现圆形硅片插片的自动化作业。
技术研发人员：甄辉;齐风;李丽娟;徐长坡;陈澄;梁效峰;杨玉聪;李亚哲;黄志焕;王晓捧;王宏宇;王鹏;徐艳超
受保护的技术使用者：天津环鑫科技发展有限公司
技术研发日：2017.09.26
技术公布日：2019.04.02