技术特征：
技术总结
本发明的课题在于提供高分辨率且能够小型化的电子束装置、以及具备该电子束装置的X射线产生装置和扫描电子显微镜。电子束装置(1)具备：阴极(21)，所述阴极放射电子；阳极(23)，所述阳极是形成电场以便借助从阴极(21)放射出的电子来形成电子束的电极，且形成有供电子束穿过的第1孔(23a)；形成有开口(31)的光阑部件(30)，所述光阑部件遮挡穿过阳极(23)后的电子束的外周部；以及聚焦电极(40)，所述聚焦电极是形成电场以便使穿过开口(31)后的电子束聚焦的电极，由形成有供电子束穿过的第2孔(41)的一个单孔电极构成。
技术研发人员：宫冈明宽
受保护的技术使用者：株式会社岛津制作所
技术研发日：2017.10.31
技术公布日：2019.01.04