高亮度ITO薄膜LED芯片及其制造方法与流程

文档序号:15021971发布日期:2018-07-25 01:05阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种高亮度ITO薄膜LED芯片,其特征在于:包括在GaAs衬底(1)一侧依次从下往上设置第一外延层(11)、MQW多量子阱有源层(12)和第二外延层(13),所述第一外延层(11)依次从下往上设置外延生长缓冲层(111)、n-AIGaInP限制层(112);所述第二外延层(13)依次从下往上设置p-AIGaInP限制层(131)、p-GaP第一窗口层(132)和p-GaP第二窗口层(133);所述p-GaP第二窗口层(133)上制作ITO薄膜层(14),所述ITO薄膜层(14)上制作金属电极层(15),所述GaAs衬底(1)另一侧设置n电极层(21);所述p-GaP第一窗口层(132)掺杂浓度高于所述p-GaP第二窗口层(133)掺杂浓度;所述p-GaP第一窗口层(132)掺杂浓度不低于1×1018cm-3,所述p-GaP第二窗口层(133)掺杂浓度不高于2×1017cm-3

2.如权利要求1所述的一种高亮度ITO薄膜LED芯片,其特征在于:所述p-GaP第二窗口层(133)做局部粗化处理。

3.如权利要求1所述的一种高亮度ITO薄膜LED芯片,其特征在于:所述p-GaP第一窗口层(132)厚度为3000nm。

4.如权利要求1所述的一种高亮度ITO薄膜LED芯片,其特征在于:所述p-GaP第二窗口层(133)厚度为1000nm。

5.如权利要求1所述的一种高亮度ITO薄膜LED芯片,其特征在于:所述ITO薄膜层(14)厚度为2800±280nm。

6.如权利要求1至5中任一项所述的一种高亮度ITO薄膜LED芯片,其特征在于:所述ITO薄膜层(14)为铟锡氧化物。

7.一种高亮度ITO薄膜LED芯片制造方法,其特征在于:所述一种高亮度ITO薄膜LED芯片制作方法,包括以下步骤:

第一步:制作LED外延片,在GaAs衬底(1)依次从下往上设置第一外延层(11)、MQW多量子阱有源层(12)和第二外延层(13),所述第一外延层(11)依次从下往上设置外延生长缓冲层(111)、n-AIGaInP限制层(112);所述第二外延层(13)依次从下往上设置p-AIGaInP限制层(131)、p-GaP第一窗口层(132)和p-GaP第二窗口层(133)。

第二步:对p-GaP第二窗口层(133)进行局部粗化处理:先在p-GaP第二窗口层(133)上制作一层介质膜,通过光刻图形后,采用介质膜腐蚀液腐蚀出介质膜图形,利用介质膜图形做掩膜,采用特殊粗化溶液对局部的p-GaP第二窗口层(133)进行粗化处理,露出p-GaP第一窗口层(132)。

第三步:在露出的p-GaP第一窗口层(132)和p-GaP第二窗口层(133)上采用蒸发镀膜方法蒸镀ITO薄膜层(14)。

第四步:在ITO薄膜层(14)制作金属电极层(15):采用负胶套刻和蒸镀方式制作图案化的金属电极层(15),金属电极层(15)电极下方的窗口层为未粗化过的p-GaP第二窗口层(133)。

第五步:在GaAs衬底(1)另一侧制作n电极层(21)。

8.如权利要求7所述的一种高亮度ITO薄膜LED芯片制造方法,其特征在于:所述第二步中的特殊粗化溶液主要成分为碘酸、碘、碘化钾、草酸、冰乙酸、硫酸、硝酸、柠檬酸中的其中3种溶液混合而成。

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