一种全自动管式PECVD上下料机的制作方法

本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域，具体涉及一种全自动管式PECVD上下料机。

背景技术：

在太阳能电池制造过程中，，包含有多个工序，如硅片清洗、制绒、扩散、镀膜、打标等，在上述的工序中都需要将硅片装入篮具、石英舟及其石墨舟中相互替换下来。现有技术中，都习惯采用人工装片或是半自动换片的方式进行操作，该方式容易出现碎片率高、对硅片的污染大、效率低等问题。

技术实现要素：

(一)要解决的技术问题

为了克服现有技术不足，现提出一种全自动管式PECVD上下料机，可自动将石墨舟与篮具相互替换装片、工作效率高、自动化程度高、降低碎片率。

(二)技术方案

本实用新型通过如下技术方案实现：本实用新型提出了一种全自动管式PECVD上下料机，包括自动换篮装置、硅片输送装置、取/插片定位装置、缓冲升降机构、自动取/插片机器人、石墨舟载具滑台装置、石墨舟上下搬移装置、石墨舟运送车以及机架，所述自动换篮装置包括上层输送机构、下层输送机构以及上下升降机械手，所述上层输送机构与硅片输送装置水平衔接，所述缓冲升降机构设置于硅片输送装置的末端，所述取/插片定位装置位于硅片输送装置的中部，所述自动取/插片机器人位于缓冲升降机构与石墨舟载具滑台装置之间，所述石墨舟上下搬移装置位于石墨舟载具滑台装置的上部且与墨舟载具滑台装置运动方向垂直，所述石墨舟运送车位于石墨舟上下搬移装置的前端。

进一步的，所述上下升降机械手包括立柱以及能够沿立柱上下升降的抓手以及辅助输送带。

进一步的，所述硅片输送装置端部设置有一伸缩舌头，所述伸缩舌头能够将硅片输送装置上的输送带伸入篮具内进行硅片的导出/入。

(三)有益效果

本实用新型相对于现有技术，具有以下有益效果：

本实用新型提到的一种全自动管式PECVD上下料机，其通过自动换篮装置从篮具内将硅片进行导出，然后通过硅片输送装置、取/插片定位装置以及缓冲升降机构将硅片叠层摆放，然后再通过自动取/插片机器人将硅片整齐的放入石墨舟内并通过石墨舟运送车转移到下部工序，其可以自动将石墨舟与篮具相互替换装片、工作效率高、自动化程度高、降低碎片率。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图。

图2是硅片输送装置前后连接结构示意图。

1-自动换篮装置；2-硅片输送装置；3-取/插片定位装置；4-自动取/插片机器人；5-石墨舟载具滑台装置；6-石墨舟上下搬移装置；7-石墨舟运送车；8-机架；9-缓冲升降机构；10-伸缩舌头；11-上层输送机构；12-下层输送机构；13-上下升降机械手；131-立柱；132-抓手；133-辅助输送带。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

如图1和图2所示的一种全自动管式PECVD上下料机，包括自动换篮装置1、硅片输送装置2、取/插片定位装置3、缓冲升降机构9、自动取/插片机器人4、石墨舟载具滑台装置5、石墨舟上下搬移装置6、石墨舟运送车7以及机架8，所述自动换篮装置1包括上层输送机构11、下层输送机构12以及上下升降机械手13，所述上层输送机构11与硅片输送装置2水平衔接，所述缓冲升降机构9设置于硅片输送装置2的末端，所述取/插片定位装置3位于硅片输送装置2的中部，所述自动取/插片机器人4位于缓冲升降机构9与石墨舟载具滑台装置5之间，所述石墨舟上下搬移装置6位于石墨舟载具滑台装置5的上部且与墨舟载具滑台装置5运动方向垂直，所述石墨舟运送车7位于石墨舟上下搬移装置6的前端。

其中，所述上下升降机械手13包括立柱131以及能够沿立柱131上下升降的抓手132以及辅助输送带133；所述硅片输送装置2端部设置有一伸缩舌头10，所述伸缩舌头10能够将硅片输送装置2上的输送带伸入篮具内进行硅片的导出/入。

本实用新型提到的一种全自动管式PECVD上下料机，其在具体使用时，可以同时进行上料以及下料，当进行上料时，将装满硅片的篮具放入上层输送机构11，在上层输送机构11输送带作用下，装满硅片的篮具被输送至辅助输送带133上，此时抓手132将篮具固定，伸缩舌头10带动硅片输送装置2插入至篮具内，随着硅片输送装置2的转动，硅片从篮具被被导出，每导出一片硅片，抓手132带动篮具下降一格硅片距离，与此同时，辅助输送带133也同速度下降，当硅片完全从篮具内被导出以后，抓手带着空篮具以及辅助输送带133继续下降，直到辅助输送带133与下层输送机构12平行，此时辅助输送带133反向转动，下层输送机构12也与上层输送机构11运动方向相反，抓手松开空篮具，空篮具将被输送至下层输送机构12端部，生产工人可以取出空篮具进行硅片的继续装载，硅片输送装置2上的硅片在经过取/插片定位装置3时，将对硅片进行位置调整，然后硅片储存于缓冲升降机构9内，每20片硅片作为一组，自动取/插片机器人4将每组硅片整体吸取出来，然后装入位于石墨舟载具滑台装置5上的石墨舟内，石墨舟在石墨舟载具滑台装置5上被输送至石墨舟上下搬移装置6的下部，然后石墨舟上下搬移装置6将石墨舟整体抓取，然后纵向移动并下放至石墨舟运送车7上，以便进行下一工序，此时完成上料；当进行下料时，即与上料方向相反。

上面所述的实施例仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的构思和范围进行限定。在不脱离本实用新型设计构思的前提下，本领域普通人员对本实用新型的技术方案做出的各种变型和改进，均应落入到本实用新型的保护范围，本实用新型请求保护的技术内容，已经全部记载在权利要求书中。