吸料机构的制作方法

本实用新型实施例涉及半导体领域，更具体的，涉及一种吸料机构。

背景技术：

在半导体芯片制程中，基于自动化、快速、安全输送的考虑，目前对于半导体元件的输送都是采用带有吸嘴的吸料机构来移动输送。一般半导体元件制作完成后，必须对该半导体元件进行测试，以了解该半导体元件是否正常。而如果要对半导体元件进行测试，通常使用带有吸嘴的吸料机构吸附该半导体元件，并在测试前承载盘、测试区、测试后承载盘之间移动输送。

目前，现有技术中所使用的吸料机构大都是由吸杆和吸嘴组成，通过吸杆的内螺纹与吸嘴的外螺纹进行螺纹连接以组成吸料机构。然而，当需要输送不同尺寸的半导体元件时，操作人员必须更换不同型号的吸嘴以使得吸料机构能够及时输送不同尺寸的半导体元件。对于通过吸杆与吸嘴的螺纹连接组成的吸料机构来说，操作人员必须借助于扳手等工具才能更换不同型号的吸嘴。这种操作方式费时费力，大大降低了半导体芯片制程中的芯片测试效率。另外，目前半导体制程中所使用的吸嘴型号较多，吸嘴的设计比较复杂，使用的成本也较高。

图1是一现有吸料机构的平面结构示意图。如图1所示，现有吸料机构10包括吸杆主体100、吸杆螺纹连接部102、吸嘴主体104、吸嘴头106、六角螺丝108以及螺纹连接头110。其中，吸嘴主体104、吸嘴头106、六角螺丝108以及螺纹连接头110组成一个整体吸嘴部件。螺纹连接头110具有外螺纹。吸杆螺纹连接部102处设有内螺纹，用于与螺纹连接头110的外螺纹进行螺纹连接。通过螺纹的松紧达到更换不同型号吸嘴的目的。当需要对半导体元件进行输送时，操作人员首先选择合适型号的吸嘴，随后需要利用扳手等工具来拧动六角螺丝108以使螺纹连接头110螺纹连接到吸杆螺纹连接部102。当在半导体元件测试过程中，半导体元件的尺寸发生改变而需要更换不同型号的吸嘴时，操作人员又不得不再次利用扳手等工具来拧动六角螺丝108以使螺纹连接头110与吸杆螺纹连接部102分离，并利用扳手等工具来重新更换上新的吸嘴。不难看出，目前现有的吸料机构其吸嘴更换操作复杂、费时费力，这对于注重效率的半导体制程来说是不能容忍的。另外，现有技术中所使用的吸嘴的设计也比较复杂，相应的对于半导体制程来说其使用成本也会较高。

因此，需要优化吸嘴的安装方式以提升吸嘴更换的效率并降低吸嘴的成本。

技术实现要素：

本实用新型针对现有技术中吸嘴更换效率低以及吸嘴成本高等问题，对吸料机构中的吸杆以及吸嘴的连接方式以及吸嘴的结构进行了优化，提供了一种直插式吸料机构，提升了吸嘴更换的效率的同时还降低了吸嘴的成本。

根据本实用新型一实施例，一种吸料机构包括：吸杆以及吸嘴；吸杆包括吸杆主体、吸嘴挡块以及吸杆连接部；吸嘴包括吸嘴连接部以及吸嘴头部；其中，吸杆主体与吸杆连接部连接，吸嘴挡块位于吸杆主体与吸杆连接部之间并包覆吸杆主体的一部分以及吸杆连接部的一部分；所述吸嘴通过吸嘴连接部与所述吸杆连接部连接。

根据本实用新型另一实施例，吸嘴连接部与吸杆连接部可拆卸连接；吸嘴头部用于吸附半导体组件；吸杆连接部的长度小于或等于吸嘴连接部的长度。其中，吸杆主体及吸嘴挡块是一体成形的，且与吸杆连接部螺纹连接或卡合连接；或吸杆主体及吸杆连接部是一体成形的，吸嘴挡块以焊接的方式包覆吸杆主体的一部分以及吸杆连接部的一部分；或吸杆主体、吸杆连接部及吸嘴挡块是一体成形的。

根据本实用新型另一实施例，吸杆连接部经配置以通过直插方式与吸嘴通过吸嘴连接部连接。

与现有技术相比，本实用新型实施例中提供的吸料机构通过将现有技术中吸杆与吸嘴的螺纹连接方式改为直插式，从而使得操作人员可不借助于扳手等工具而直接插拔吸嘴，大大提升了吸嘴的更换效率。另外，借助于吸料机构中吸杆与吸嘴的连接方式的改变，使得吸嘴的结构也产生变化。与现有技术中的吸嘴相比，本实用新型中的吸嘴结构更简单，使用成本也更低。

附图说明

图1是现有吸料机构的平面结构示意图

图2是根据本实用新型一实施例的吸杆立体结构示意图

图3是根据本实用新型一实施例的吸嘴立体结构示意图

图4是根据本实用新型一实施例的吸料机构立体结构示意图

图5是根据图4所示的吸料机构的剖面结构示意图

具体实施方式

为更好的理解本实用新型的精神，以下结合本实用新型的部分优选实施例对其作进一步说明。

图2是根据本实用新型一实施例的吸杆立体结构示意图。如图2所示，吸杆20包括吸杆主体200、吸嘴挡块202以及吸杆连接部204。吸杆20与抽真空设备(未示出)连接。吸杆主体200与吸杆连接部204连接，吸杆连接部204用于与吸嘴(未示出)进行连接。吸嘴挡块202位于吸杆主体200与吸杆连接部204之间并包覆吸杆主体200的一部分以及吸杆连接部204的一部分。吸杆主体200与吸杆连接部204的内部为中空结构，使得当使用抽真空设备时，空气能够经由该中空结构通过吸嘴(未示出)吸起半导体元件(未示出)。

本领域的技术人员能够理解，吸杆连接部204、吸杆主体200及吸嘴挡块202的形成方式并无特别限制。根据本实用新型的一个实施例，吸杆主体200及吸嘴挡块202是一体成形的，然后再用螺纹连接的方式或卡合方式连接吸杆连接部204。根据本实用新型的另一个实施例，吸杆主体200及吸杆连接部204是一体成形的，吸嘴挡块202以焊接的方式包覆吸杆主体200的一部分以及吸杆连接部204的一部分。根据本实用新型的再一个实施例，吸杆连接部204、吸杆主体200及吸嘴挡块三者是一体成形的。

图3是根据本实用新型一实施例的吸嘴立体结构示意图。如图3所示，吸嘴30包括吸嘴主体300以及吸嘴头部302。吸嘴头部302用于吸附半导体元件。与现有技术的吸嘴相比，本实用新型的吸嘴30结构简单，不再需要附加如图1所示的螺纹连接头110以及六角螺丝108等结构，大大降低了吸嘴的制造成本。吸嘴主体300的内部也为中空结构，使得当使用抽真空设备时，空气能够经由该中空结构通过吸嘴头部302吸起半导体元件(未示出)。

图4是根据本实用新型一实施例的吸料机构立体结构示意图。如图3所示，吸料机构40包括吸杆主体400、吸嘴挡块402、吸杆连接部404、吸嘴连接部406以及吸嘴头部408。吸嘴连接部406与吸杆连接部404的连接是可拆卸连接。吸嘴挡块402用于防止吸嘴连接部406过度直插入吸杆连接部404，同时也能在吸嘴连接部406通过直插方式与吸杆连接部404连接时，充分保证抽吸半导体元件过程中，空气不会从吸嘴连接部406与吸杆连接部404直插连接的部位散出，提高抽真空设备(未示出)的真空吸力。当需要对半导体元件进行输送时，操作人员只需要将合适型号的吸嘴通过吸嘴连接部406直插到吸杆连接部404上即可。反之，当半导体元件的尺寸发生改变而需要更换不同型号的吸嘴时，操作人员仅需直接拔下吸嘴再替换上新型号的吸嘴即可。

图5是根据图4所示的吸料机构的剖面结构示意图。如图5所示，吸杆主体400、吸嘴挡块402以及吸杆连接部404的内部都是中空结构。同样，吸嘴连接部406的内部也是中空结构。吸杆连接部404具有一外径R，具有中空结构的吸嘴连接部406有一内径r。吸嘴连接部406的内径r及吸杆连接部404的外径R经配置使得吸嘴连接部406可以通过直插方式与吸杆连接部404连接。例如，但不限于，吸杆连接部404的外径R小于或等于吸嘴连接部406的内径r。

当使用本新型实施例的吸料机构40时，将吸杆主体400与抽真空设备(未示出)连接，由于吸杆主体400、吸嘴挡块402、吸杆连接部404以及吸嘴连接部406的内部都是中空结构，抽真空设备(未示出)可经由这些中空通道经由吸嘴头部408将所需半导体组件(未示出)吸起，并移动输送到目标地点。此外，本实用新型中为了便于直观地展示吸嘴连接部406和吸杆连接部404的直插连接方式，在吸嘴连接部406和吸嘴挡块402之间留出了空隙。但是一般来说，吸杆连接部404的长度应小于或等于吸嘴连接部406的长度。也就是说，在吸嘴连接部406和吸嘴挡块402之间不应该留出空隙。这是因为，当吸嘴连接部406直插到吸杆连接部404直至吸嘴挡块402位置时，才能保证抽吸半导体元件过程中，空气不会从吸嘴连接部406与吸杆连接部404直插连接的部位散出，提高抽真空设备(未示出)的真空吸力。

与现有技术吸料机构更换过程中操作人员必须用扳手等工具手动更换的复杂操作相比，本实用新型中揭示的吸料机构将吸杆与吸嘴的连接方式改为直插式，从而使得操作人员轻松地直接插拔更换各种不同型号的吸嘴，大大提升了吸嘴的更换效率。另外，与现有技术复杂的吸嘴型号和种类相比，本实用新型中揭示的吸嘴结构简单，更换方便，大大降低了吸嘴的成本。

本实用新型的技术内容及技术特点已揭示如上，然而熟悉本领域的技术人员仍可能基于本实用新型的教示及揭示而作种种不背离本实用新型精神的替换及修饰。因此，本实用新型的保护范围应不限于实施例所揭示的内容，而应包括各种不背离本实用新型的替换及修饰，并为本专利申请权利要求书所涵盖。