一种整流二极管的制作方法

文档序号:14183947阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种整流二极管,其特征在于,包括:

衬底;

位于所述衬底表面的底电极;

位于所述底电极背离所述衬底一侧表面的SrTiO3薄膜;

位于所述SrTiO3薄膜背离所述底电极一侧表面的多铁薄膜,所述SrTiO3薄膜与所述多铁薄膜构成PN结。

2.根据权利要求1所述的整流二极管,其特征在于,所述多铁薄膜为Sr(Ti0.1Fe0.9)O3薄膜。

3.根据权利要求1所述的整流二极管,其特征在于,所述衬底为硅衬底。

4.根据权利要求1所述的整流二极管,其特征在于,所述底电极为SrRuO3电极或LaNiO3电极或FTO电极或ITO电极或Pt电极。

5.根据权利要求4所述的整流二极管,其特征在于,所述底电极为LaNiO3电极。

6.根据权利要求1所述的整流二极管,其特征在于,还包括:位于所述多铁薄膜背离所述衬底一侧的顶电极;

所述顶电极为Au电极或Pt电极或Al电极或W电极或ITO电极。

7.根据权利要求6所述的整流二极管,其特征在于,所述顶电极为Au电极。

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