一种全自动蚀刻清洗装置的制作方法

本实用新型涉及一种清洗装置，特别涉及一种全自动蚀刻清洗装置。

背景技术：

蚀刻清洗，目的是为了清除芯片表面的氧化物、杂质、油脂、水分等，是完成蚀刻作业中一道重要的工序，传统的蚀刻清洗往往需要人工操作和机器操作结合，会浪费一定的人力物力，并且现今的蚀刻清洗装置往往设计缺乏创新，功能也十分简单，为此，我们提出一种全自动蚀刻清洗装置。

技术实现要素：

本实用新型的主要目的在于提供一种全自动蚀刻清洗装置，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种全自动蚀刻清洗装置，包括机架、蓄电池和载物板，所述机架顶部安装载物板，所述机架底部一侧设有蓄电池，所述载物板上一侧安装有清洗塔一，所述载物板上另一侧安装有水泵，所述水泵和清洗塔一之间设有清洗塔二，所述清洗塔一内顶部设有超声波清洗腔，所述超声波清洗腔内设有超声波发生器，所述清洗塔一内底部设有压力泵一，所述清洗塔一底部设有冲洗喷头一，压力泵一底部连接冲洗喷头一，所述清洗塔二内底部设有压力泵二，所述清洗塔二底部设有冲洗喷头二，压力泵二底部连接冲洗喷头二，所述水泵一侧通过水管连接有冲洗喷头三，所述载物板下端一侧设有加热腔，所述加热腔内设有红外发生器，所述加热腔一侧设有热风机，所述机架内底部设有蓄水槽，所述蓄水槽与载物板之间通过有传送带，所述冲洗喷头一、冲洗喷头二、冲洗喷头三、加热腔和热风机位于传送带上端。

进一步地，所述传送带上等间距的设有排水孔。

进一步地，所述机架底部设有可制动万向轮。

进一步地，所述水泵、红外发生器、超声波发生器与蓄电池电性相连。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：通过载物板上一侧安装有清洗塔一，可以储存含有甲醇、丙酮的清洗液，这种清洗液可以去除杂质和油脂，通过清洗塔一内顶部设有超声波清洗腔，所述超声波清洗腔内设有超声波发生器，可以利用超声波发生器发出声波，击碎清洗塔内壁的污渍，用于清洗清洗塔十分高效，通过清洗塔一内底部设有压力泵一，清洗塔一底部设有冲洗喷头一，压力泵一底部连接冲洗喷头一，压力泵一工作使冲洗喷头一的冲洗能力大大增强，提高了蚀刻清洗效率，通过载物板上设有清洗塔二，可以储存含有氢氟酸的清洗液，这种清洗液具有清除芯片表面氧化物的作用，同理，通过清洗塔二内底部设有压力泵二，清洗塔二底部设有冲洗喷头二，压力泵二底部连接冲洗喷头二，也增强了冲洗喷头二的冲洗能力，提高了蚀刻清洗效率，通过载物板上另一侧安装有水泵，水泵一侧通过水管连接有冲洗喷头三，可以对过滤好的芯片进行清洗，去除其表面的丙酮等清洗液，通过载物板下端一侧设有加热腔，加热腔内设有红外发生器，可以利用红外发热均匀迅速的特点，对清洗好的芯片进行加热烘干，通过加热腔一侧设有热风机，可以吹散芯片上的水汽，加速烘干效率，通过机架内底部设有蓄水槽，可以收集废弃的清洗液，通过蓄水槽与载物板之间通过有传送带，冲洗喷头一、冲洗喷头二、冲洗喷头三、加热腔和热风机位于传送带上端，可以利用传送带大批量的进行蚀刻清洗，十分高效。该种全自动蚀刻清洗装置，通过合理设置超声波清洗腔、加热腔、传送带、清洗塔一、清洗塔二等结构，具有了清洗方便、烘干迅速、自动化程度高等优点，设计新颖合理，适合广泛推广。

附图说明

图1为本实用新型全自动蚀刻清洗装置的整体结构示意图。

图2为加热腔的内部结构示意图。

图中：1、机架；2、载物板；3、压力泵一；4、冲洗喷头一；5、压力泵二；6、冲洗喷头二；7、清洗塔一；8、清洗塔二；9、超声波清洗腔；10、超声波发生器；11、水泵；12、热风机；13、加热腔；14、蓄电池；15、可制动万向轮；16、蓄水槽；17、传送带；18、红外发生器；19、冲洗喷头三。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

如图1-2所示，一种全自动蚀刻清洗装置，包括机架1、蓄电池14和载物板2，所述机架1顶部安装载物板2，所述机架1底部一侧设有蓄电池14，所述载物板2上一侧安装有清洗塔一7，所述载物板2上另一侧安装有水泵11，所述水泵11和清洗塔一7之间设有清洗塔二8，所述清洗塔一7内顶部设有超声波清洗腔9，所述超声波清洗腔内9设有超声波发生器10，所述清洗塔一7内底部设有压力泵一3，所述清洗塔一7底部设有冲洗喷头一4，压力泵一3底部连接冲洗喷头一4，所述清洗塔二8内底部设有压力泵二5，所述清洗塔二8底部设有冲洗喷头二6，压力泵二5底部连接冲洗喷头二6，所述水泵11一侧通过水管连接有冲洗喷头三19，所述载物板2下端一侧设有加热腔13，所述加热腔13内设有红外发生器18，所述加热腔13一侧设有热风机12，所述机架1内底部设有蓄水槽16，所述蓄水槽16与载物板2之间通过有传送带17，所述冲洗喷头一4、冲洗喷头二6、冲洗喷头三19、加热腔13和热风机12位于传送带17上端。

其中，所述传送带17上等间距的设有排水孔。

其中，所述机架1底部设有可制动万向轮15。

其中，所述水泵11、红外发生器18、超声波发生器10与蓄电池14电性相连。

需要说明的是，本实用新型为一种全自动蚀刻清洗装置，工作时，载物板2上一侧安装的清洗塔一7，可以储存含有甲醇、丙酮的清洗液，这种清洗液可以去除杂质和油脂，清洗塔一7内顶部设有超声波清洗腔9，超声波清洗腔9内设有超声波发生器10，超声波发生器10发出声波可以击碎清洗塔内壁的污渍，用于清洗清洗塔十分高效，清洗塔一7内底部设有压力泵一3，清洗塔一7底部设有冲洗喷头一4，压力泵一3底部连接冲洗喷头一4，压力泵一3工作使冲洗喷头一4的冲洗能力大大增强，提高了蚀刻清洗效率，载物板2上设有清洗塔二8，可以储存含有氢氟酸的清洗液，这种清洗液具有清除芯片表面氧化物的作用，同理，清洗塔二8内底部设有压力泵二5，清洗塔二8底部设有冲洗喷头二6，压力泵二5底部连接冲洗喷头二6，也增强了冲洗喷头二6的冲洗能力，提高了蚀刻清洗效率，载物板2上另一侧安装有水泵11，水泵11一侧通过水管连接有冲洗喷头三19，对过滤好的芯片进行清洗，去除其表面的丙酮等清洗液，载物板2下端一侧设有加热腔13，加热腔13内设有红外发生器18，红外发热具有均匀迅速的特点，对清洗好的芯片进行加热烘干，加热腔13一侧设有热风机12，可以吹散芯片上的水汽，加速烘干效率，机架1内底部设有蓄水槽16，收集废弃的清洗液，而蓄水槽16与载物板2之间通过有传送带17，冲洗喷头一4、冲洗喷头二6、冲洗喷头三19、加热腔13和热风机12位于传送带17上端，可以利用传送带17大批量的进行蚀刻清洗，十分高效。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。