本发明涉及用于在粘贴于半导体晶圆、led(lightemittingdiode：发光二极管)、电子电路等各种基板的粘合带的供给过程等中回收不需要的纵长状的带的带回收方法和带回收装置。
背景技术：
在半导体晶圆(以下，适当称作“晶圆”)的表面形成有多个元件的电路图案。例如，凸块、精细电路形成于晶圆表面。因此，为了防止在背面磨削时和输送时该电路面的污染和损伤，在晶圆的表面粘贴有保护用的粘合带。
在此，说明为了在晶圆的表面粘贴粘合带而使用的、带粘贴装置的以往结构。如图33所示，以往的带粘贴装置101包括带供给部103、隔离膜剥离部105、保持台107、带粘贴部109、带切断机构111、带回收部113、以及隔离膜回收部115等。
带供给部103自装填有卷绕了电路保护用的带隔离膜的粘合带ts的粘合带卷的供给卷轴放出并引导该粘合带ts。隔离膜剥离部105自放出了的粘合带ts剥离隔离膜s。保持台107对电路形成面成为朝上的状态的晶圆w进行吸附保持。带粘贴部109作为一个例子是粘贴辊，在图33中，其向左方向水平移动。通过该水平移动，带粘贴部109将剥离了隔离膜s的粘合带t粘贴于保持台107上的晶圆w。
带切断机构111包括刀具111a，通过使带切断机构111绕附图标记p所示的铅垂轴线旋转，从而粘合带t被沿着晶圆w的外形切下。切下后的不需要的不要带tn在构成带回收部113的卷绕轴处被卷绕成卷状并被回收。另外，自粘合带t剥离了的隔离膜s在构成隔离膜回收部115的卷绕轴处被卷绕成卷状并被回收。
在这样的带粘贴装置中，在带供给部103的粘合带t的装填量低于恒定量的情况下或被带回收部113回收的不要带tn的量等超过恒定量的情况下，需要更换辊。在以往的带粘贴装置101中更换辊的情况下，操作员需要用手动来进行复杂的作业。
即，在带供给部103中，需要将自粘合带卷放出的粘合带t切断、更换粘合带卷、进行切断后的粘合带t的接合、以及再次进行粘合带t的放出这样的一系列的作业。并且，在带回收部113等中，需要切断不需要的带tn、去除以卷状回收后的不要带tn、相对于卷绕轴进行不要带tn的接合、以及再次进行不要带tn的卷绕这样的一系列的作业。在以往的装置中，在进行这一系列的作业的期间，需要使带粘贴装置的运转中断。
近年来，为了避免带粘贴装置的运转中断所导致的粘贴效率的降低，尝试自动地进行辊的更换作业、尤其是使切断后的粘合带t的末端彼此之间相接合的作业。作为其一个例子，提出了以下这样的带接合方法(例如，参照专利文献1)。即，通过在先行的带隔离膜的粘合带t的末端粘贴粘合构件并使该粘合构件相对于粘合带t的放出方向进行离开移动，从而将粘合带t和隔离膜剥离规定长度。随后，将剥离了隔离膜的粘合带t的该末端粘贴于自新的粘合带卷供给的后续的带隔离膜的粘合带t的前端部分，由此能够使带隔离膜的粘合带t的末端彼此之间自动地接合。
专利文献1：日本特开2014－133616号公报
技术实现要素：
发明要解决的问题
然而，在上述以往装置中存在如下这样的问题。
即，以往的自动接合方法以适用于带供给部为前提，而难以适用于带回收部、隔离膜回收部。在以往的装置中，例如，在带回收部中，将纵长的不要带卷绕在轴上进行回收。在这样的以往的回收方法中，在切断不要带之后，需要将卷绕成卷状而被回收的不要带连同轴一起取出并更换上新的轴。
由于在新的轴上未卷绕有带等，因此难以适用以往的自动接合方法。因此，在每次不要带的回收量达到规定量以上时，需要用手动来进行以去除被以卷状回收的不要带为开始的、一系列的复杂的操作。其结果，操作员的负担增加。另外，在使装置停止之后，要进行不要带的去除等一系列的操作，在该操作的结束后再次启动装置，因此使装置的工作效率降低。并且，在卷绕并回收的结构中，需要设置大型的卷绕轴，因此，还担心使粘合带粘贴装置大型化这样的问题。
本发明是鉴于这样的情况而做出的，其主要目的在于，提供能够使放出的纵长带的回收工序更高度地自动化的带回收方法和带回收装置。
用于解决问题的方案
为了实现这样的目的，本发明采用如下的结构。
即，本发明提供一种带回收方法，其特征在于，该带回收方法包括：保持过程，将以纵长状放出的带的距前端规定长度的区域保持为平坦的状态；切断过程，将以平坦的状态保持的所述带切断成单张；以及收纳过程，一边维持被切断成单张的所述带的平坦的状态，一边将被切断成单张的所述带层叠并收纳于带回收箱。
(作用·效果)采用该方法，将纵长状的带的距前端规定长度的区域保持为平坦的状态，并将该平坦状态的带切断成单张。随后，一边维持该平坦的状态一边将单张状的带层叠并收纳于带回收箱。在该情况下，在对带进行回收的动作中，在回收箱的收纳量超过规定量的情况下，能够使除了更换该回收箱的操作以外的大部分过程自动化，因此能够提升装置的工作效率。
另外，由于收纳于带回收箱的单张状的带分别被整齐且无浪费地层叠，因此，能够相对于带的收纳量将带所占的体积抑制在最小限度。其结果，能够降低带回收箱的更换频率，因此能够较大地提升装置的运转效率。另外，由于在带回收箱中单张状的带堆积的速度成为恒定，因此，容易执行计划性的更换作业。
另外，在上述发明中，优选的是，在所述保持过程中，保持机构将所述带的距前端规定长度的区域保持为平坦的状态，在所述切断过程中，在所述保持机构保持着成为平坦的所述带的状态下将所述带切断成单张，在所述收纳过程中，对被切断成单张的所述带进行保持的所述保持机构与所述带一起被向所述带回收箱引导。
(作用·效果)采用该结构，在保持机构将带保持为平坦的状态下，带被切断成单张，并且，被切断后的该带一边维持平坦的状态一起与保持机构被层叠和收纳。在该情况下，纵长状的带使用于以被保持机构保持的状态被层叠和收纳起来的一系列的过程中。因而，能够将带以平坦状态可靠地层叠并收纳。
另外，在上述发明中，优选的是，所述保持机构通过吸附所述带而将所述带保持为平坦的状态。采用该结构，由于保持机构对带进行吸附，因此，能够将带更容易且可靠地保持为平坦的状态。
为了实现这样的目的，本发明也可以采用如下那样的结构。
即，本发明提供一种带回收装置，其特征在于，该带回收装置包括：带保持机构，其将以纵长状放出的带的距前端规定长度的区域保持为平坦的状态；带切断机构，其将以平坦的状态保持的所述带切断成单张；带回收箱，其收纳被切断成所述单张的所述带；以及带引导机构，其将被切断成所述单张的所述带一边维持为平坦的状态一边向所述带回收箱引导，使被切断成所述单张的所述带层叠并收纳于所述带回收箱。
(作用·效果)采用该方法，将纵长状的带的距前端规定长度的区域保持为平坦的状态，并将该平坦状态的带切断成单张。随后，一边维持该平坦的状态一边将单张状的带层叠并收纳于带回收箱。在该情况下，能够使除了对带回收箱进行更换的操作以外的大部分的过程自动化，因此能够提升装置的工作效率。
另外，由于收纳于带回收箱的单张状的带分别被整齐且无浪费地层叠，因此，能够相对于带的收纳量将带所占的体积抑制在最小限度。其结果，能够降低带回收箱的更换频率，因此能够较大地提升装置的运转效率。另外，由于在带回收箱中单张状的带堆积的速度成为恒定，因此，容易执行计划性的更换作业。
另外，在上述发明中，优选的是，所述带切断机构将所述带保持机构保持着的所述带切断成单张，所述带引导机构将对被切断成单张的所述带进行保持的所述带保持机构与所述带一起向所述带回收箱引导。
(作用·效果)采用该结构，在保持机构将带保持为平坦的状态下，带被切断成单张，并且，被切断后的该带一边维持平坦的状态一起与保持机构被层叠和收纳。在该情况下，纵长状的带使用于以被保持机构保持的状态被层叠和收纳起来的一系列的过程中。因而，能够将带以平坦状态可靠地层叠并收纳。
另外，优选的是，所述带回收箱设有多个，该带回收装置包括切换机构，该切换机构将成为所述带引导机构对被切断成单张的所述带进行引导的对象的所述带回收箱切换为另一所述带回收箱。
(作用·效果)采用该结构，能够将成为带引导机构对被切断成单张的带进行引导的对象的带回收箱切换为另一带回收箱。即，即使在收纳于带回收箱的带的量为规定量以上的情况下，也能够切换带回收箱而继续进行带的回收作业并能够更换达到规定量的带回收箱。因此，能够大幅减少使装置的运转中断的时间，因而能够进一步提升装置的运转效率。
另外，在上述发明中，优选的是，所述带保持机构包括：扁平面，其抵接于所述带；以及吸附孔，其借助该扁平面对所述带进行吸附保持。采用该结构，保持机构一边借助扁平面抵接于带一边对该带进行吸附，因此，能够将带更容易且可靠地保持为平坦的状态。
发明的效果
采用本发明的带回收方法和带回收装置，由于能够使对带进行回收的大部分过程自动化，因此能够减轻操作员的负担。另外，由于能够降低带回收箱的更换频率，因此能够提升装置的运转效率。另外，由于在带回收箱中单张状的带堆积的速度成为恒定，因此，容易执行计划性的更换作业。
附图说明
图1是表示实施例的粘合带粘贴装置的基本结构的主视图。
图2是表示实施例的带供给部的结构的图。图2的(a)是带供给部的立体图，图2的(b)是带供给部的主视图。
图3是表示实施例的把持部形成单元的结构的图。
图4是表示实施例的带接合单元的结构的图。
图5是表示实施例的带回收部的结构的图。
图6是表示实施例的隔离膜回收部的结构的图。
图7是表示实施例的粘合带粘贴装置的动作的流程图。图7的(a)是表示将粘合带粘贴于晶圆的动作的概要的流程图，图7的(b)是对步骤s7的动作的详细内容进行说明的流程图，图7的(c)是对回收不要带的动作的详细内容进行说明的流程图。
图8是表示实施例的步骤s2的动作的图。图8的(a)是表示粘贴辊位于初始位置的状态的图，图8的(b)是表示粘贴辊移动到终端位置的状态的图。
图9是表示实施例的步骤s3的动作的图。
图10是表示实施例的步骤s4的动作的图。
图11是表示实施例的步骤s7－1的动作的图。
图12是表示实施例的步骤s7－1的动作的图。
图13是表示实施例的步骤s7－1的动作的图。
图14是表示实施例的步骤s7－1的动作的图。
图15是表示实施例的步骤s7－1的动作的图。
图16是表示实施例的步骤s7－2的动作的图。
图17是表示实施例的步骤s7－3的动作的图。
图18是表示实施例的步骤s7－4的动作的图。图18的(a)是表示夹持先行带之前的状态的图，图18的(b)是表示夹持先行带之后的状态的图，图18的(c)是表示把持着把持部的状态的图。
图19是表示实施例的步骤s7－5的动作的图。
图20是表示实施例的步骤s7－6的动作的图。
图21是表示实施例的步骤s7－7的动作的图。图21的(a)是表示切换粘合带卷之前的状态的图，图21的(b)是表示切换粘合带卷之后的状态的图。
图22是表示实施例的步骤s7－8的动作的图。图22的(a)是表示放出后行带之前的状态的图，图22的(b)是表示放出后行带之后的状态的图。
图23是表示实施例的步骤s7－9的动作的图。图23的(a)是表示利用先行带的后端来夹持并接合后行带的前端的状态的图，图23的(b)是表示放出接合后的带的状态的图。
图24是表示实施例的步骤s5－1的动作的图。图24的(a)是表示带保持构件向终端位置移动的状态的图，图24的(b)是表示带保持构件保持不要带的状态的图，图24的(c)是表示带保持构件拉出不要带的状态的图。
图25是表示实施例的步骤s5－2的动作的图。
图26是表示实施例的步骤s5－3的动作的图。图26的(a)是表示实施例的切刀的动作的图，图26的(b)是示出切刀的动作的变形例的一个例子的图。
图27是表示实施例的步骤s5－4的动作的图。
图28是表示实施例的步骤s5－5的动作的图。
图29是表示对实施例的回收箱进行更换的动作的图。
图30是在实施例的粘合带接合方法上与以往例进行比较的图。图30的(a)是表示在以往例中使吸附构件吸附于带的状态的图，图30的(b)是表示在以往例中使吸附构件离开的状态的图，图30的(c)是表示使用粘合力较高的带的情况下的以往例的问题点的图，图30的(d)是表示实施例的结构的图。
图31是在实施例的粘合带回收方法上与以往例进行比较的图。
图31的(a)是表示以往例的问题点的图，图31的(b)是表示实施例的结构的图。
图32是表示变形例的粘合带接合装置的结构的图。图32的(a)是表示粘合带的前端部的带保持构件的结构的图，图32的(b)是表示变形例中的步骤s7－9的结构的图。
图33是表示以往例的粘合带接合装置的结构的图。
附图标记说明
1、粘合带粘贴装置；3、带接合装置；5、保持台；7、带粘贴单元；9、带切断单元；11、带分离单元；13、带回收部；15、隔离膜回收部；17、带供给部；19、把持部形成单元；21、带接合单元；31、剥离单元；33、推出构件；35、压合辊；41、刀具单元；43、保持单元；45、把持单元；51、带保持构件；53、带按压构件；55、刀具单元；57、带回收单元；t、粘合带；tsa、先行带；tsb、后行带；s、隔离膜；f、回收箱；g、回收箱；h、把持部。
具体实施方式
以下，参照附图说明本发明的实施例。图1是表示具有实施例的带接合装置的、粘合带粘贴装置1的基本结构的主视图。此外，在表示粘合带粘贴装置1的图中，省略了对于支承各种结构的支承部件和使各种结构进行驱动的驱动部件等的图示。
在本实施例中，以以下情况为例进行了说明：以粘接有隔离膜s的纵长状供给要粘贴于半导体晶圆(以下，简称为“晶圆”)等各种基板的表面保护用的粘合带t，并在下游侧将其切断成规定形状。即，在本实施例中，将纵长的粘合带彼此接合起来。
另外，在本实施例中，“上游”和“下游”是沿着粘合带的放出方向进行定义的。即“上游”指的是在粘合带的放出方向上靠近后述的带供给部的一侧。另外，将粘接有隔离膜s的状态的粘合带t称作带ts。
整体结构的说明
如图1所示，实施例的粘合带粘贴装置1包括带接合装置3、保持台5、带粘贴单元7、带切断单元9、带分离单元11、带回收部13、以及隔离膜回收部15。带接合装置3将另一带ts的前端接合于先行的带ts的后端。在后面叙述带接合装置3的具体结构。
保持台5载置并保持电路形成面朝上的晶圆w。在实施例中，作为保持台5，使用吸附保持晶圆w的吸盘台，但保持台5的结构并不限于此。另外，为了使设于后述的带切断单元9的切刀9c沿着晶圆w的外形旋转移动而切断粘合带t，在该保持台5的上表面形成有刀具行进槽5a。
带粘贴单元7将粘合带t粘贴于被载置且被吸附保持在保持台5上的晶圆w的电路面。如图1所示，带粘贴单元7包括沿着未图示的轨道沿左右水平往复移动的可动台7a和轴支承于与可动台7a相连接的托架的粘贴辊7b。
在带切断单元9中，在能够驱动升降的可动台9a的下部装设有支承臂9b，驱动该支承臂9b使其能够绕位于保持台5的中心上的纵轴心p旋转。另外，在该支承臂9b的自由端侧安装有刀尖朝下的切刀9c。也就是说，构成为通过使支承臂9b以纵轴心p为旋转中心旋转，从而使刀具9c沿着晶圆w的外周移动而将粘合带t切下。
带分离单元11使被刀具9c切下并粘贴于晶圆w的表面后的粘合带tw与被切下后的不需要的不要带tn相分离。带分离单元11包括维持不需要的不要带tn的张力的引导辊11a和夹紧辊12。夹紧辊12由能够升降移动的夹送辊12a和被马达驱动的进给辊12b构成。带分离单元11以能够沿着未图示的轨道左右水平地往复移动的方式构成。
带接合装置的结构
在此，说明带接合装置3的结构。如图1所示，带接合装置3包括带供给部17、把持部形成单元19、以及带接合单元21。使用图2的各图来说明带供给部17的结构。图2的(a)是带供给部17的立体图，图2的(b)是带供给部17的主视图。
如图2的(a)所示，带供给部17构成为，在旋转板23竖立设置多个卷轴25，将带ts的粘合带卷28装填于各个卷轴25。在实施例中，两个卷轴25a、25b竖立设置于旋转板23。对装填于卷轴25a的粘合带卷标注附图标记28a，对装填于卷轴25b的粘合带卷标注附图标记28b，以对两者进行区分。
旋转板23构成为通过驱动机构24而绕中心轴线26旋转。通过旋转板23的旋转，各个卷轴25能够在供给位置与待机位置之间相互移动。在图2的各图中，示出了卷轴25a配置于供给位置且卷轴25b配置于待机位置的状态。
另外，配置于待机位置的粘合带卷28构成为能够通过未图示的开闭门向粘合带粘贴装置1的外部取出。操作员能够取出该粘合带卷28并将新的粘合带卷28设于待机位置。另外，在带供给部17中，构成为待机位置位于比供给位置远离粘合带粘贴装置1的中央部的位置。通常，在粘合带粘贴装置1的中央部设有很多会达到高温的结构、刀具、以及可动部等。因此，能够避免在更换被切换至待机位置后的粘合带卷28时操作员靠近高温部、可动部等。
在各个卷轴25配备有带保持构件27和引导辊29。自装填于卷轴25的粘合带卷28拉出的带ts的前端在被引导辊29维持张力的同时被引导至带保持构件27。作为一个例子，带保持构件27由两张板状构件构成，利用各个板状构件来夹持带ts。
如图3所示，把持部形成单元19包括剥离单元31、推出构件33、以及压合辊35。剥离单元31将带ts剥离为粘合带t和隔离膜s。剥离单元31由引导辊37和进给辊39构成。
引导辊37维持带ts和剥离后的粘合带t的张力。进给辊39以能够左右水平地往复移动的方式构成。剥离后的隔离膜s卷绕于进给辊39并被向隔离膜回收部15引导。
推出构件33构成为能够沿相对于粘合带t的放出方向l大致垂直的方向r(在图3中为y方向)进行驱动，其包括外壳部33a和突起部33b。突起部33b配设于内板33c的上表面，内板33c借助弹性构件33d与外壳部33a的底面相连接。外壳部33a和内板33c构成为分别独立地沿方向r被上推。并且，构成为，通过将内板33c上推，从而使突起部33b向外壳部33a的外侧突出。
通过使推出构件33沿方向r进行驱动，从而粘合带t的一部分因突起部33b的抵接而向方向r突出。压合辊35通过压接于向方向r突出的粘合带t而将突出的粘合带t彼此压合，从而形成把持部h。在后面叙述推出构件33和压合辊35的具体动作以及把持部h的形成过程。
如图4所示，带接合单元21包括刀具单元41、保持单元43、以及把持单元45。刀具单元41包括可动台41a和切刀41b。
可动台41a能够通过未图示的驱动机构而沿方向r进行驱动。另外，可动台41a以能够沿带ts的宽度方向(在图4中为z方向)进行驱动的方式构成。在可动台41a的前端部设有切刀41b。切刀41b在附图标记c所示的规定位置处在宽度方向上的范围内切断带ts。通过使切刀41b切断先行的带ts，从而在先行的带ts上形成用于与后续的带ts相接合的末端部分。
作为一个例子，保持单元43构成为，能够沿方向r进行驱动，并通过该驱动而自隔离膜s的所在侧抵接于带ts。保持单元43具有间隙部44，刀具单元41构成为，经由间隙部44靠近带ts，并能够在规定位置c处切断带ts。
把持单元45能够沿方向r进行驱动。把持单元45构成为，通过沿方向r进行驱动而自粘合带t的所在侧抵接于带ts。即，保持单元43和把持单元45分别通过以夹持带ts的方式进行驱动来稳定地保持带ts。另外，保持单元43和把持单元45分别优选构成为能够进行真空吸附。在该情况下，通过在抵接于带ts之后进行真空吸附，能够更稳定地保持带ts。
把持单元45由在放出方向l上并列的多个构件构成，在该多个构件之间具有至少1个间隙部46。在实施例中，把持单元45具有两个构件45a、45b，在构件45a与构件45b之间形成有间隙部46。
构件45a和构件45b构成为，能够在方向r上彼此向相同的方向同步地进行驱动，且能够在放出方向l上彼此向相反方向进行驱动。通过使这些构件向相反方向进行驱动，从而把持单元45稳定地把持利用把持部形成单元19形成的把持部h。通过在粘合带t形成把持部h并使把持单元45把持该把持部h的结构，即使在粘合带t的粘合力较强的情况下，也能够在带ts的后端部可靠地剥离粘合带t和隔离膜s。
带回收部的结构
接下来，说明带回收部13的结构。如图5所示，带回收部13包括带保持构件51、带按压构件53、刀具单元55、以及带回收单元57。
带保持构件51包括可动台51a和保持构件51b。可动台51a构成为能够沿左右水平方向往复移动。保持构件51b连结于可动台51a。保持构件51b通过沿不需要的不要带tn的厚度方向可动而自表面和背面这两侧夹住并保持不要带tn。保持构件51b并不限于夹持不要带tn的结构，也可以使用对不要带tn进行吸附保持的结构等。通过在保持构件51b保持着不要带tn的状态下使可动台51a向图5所示的右方向移动，从而被引导辊50向带回收部13引导的不要带tn以向水平方向拉出的状态稳定地保持。
带按压构件53包括可动台53a和按压板53b。可动台53a构成为能够在图5所示的待机位置与后述的回收箱f的回收位置之间沿上下方向往复移动。按压板53b连接于可动台53a，按压板53b的背面(图的下侧)成为扁平。并且，在成为扁平的背面中的、至少在带吸附部分设有吸附孔。即，被带保持构件51拉出后的不要带tn被按压板53b的扁平面稳定地吸附保持为在水平方向上扩展的平坦的状态。
并且，在不要带tn被后述的刀具单元55切断之后，使可动台53a向配置于回收位置的回收箱f移动，由此，被切断成单张的不要带tn以沿水平扩展的平坦的状态收纳于回收箱。
刀具单元55包括可动台55a和切刀55b。可动台55a构成为能够分别沿不要带tn的宽度方向和厚度方向进行驱动。切刀55b构成为，连接于可动台55a的前端且切刀55b的刀尖朝向不要带tn。即，随着可动台55a的驱动，切刀55b在宽度方向上切断不要带tn。即，不要带tn被保持构件51b和按压板53b稳定保持为在水平方向上扩展的状态，不要带tn在维持该状态的同时被切刀55b切断成单张。
带回收单元57包括旋转台58和多个回收箱f。在实施例中，包括两个回收箱f1、f2。旋转台58构成为绕中心轴线v旋转。通过旋转台58的旋转，从而回收箱f分别在回收位置与待机位置之间相互移动。在图5中，示出了回收箱f1配置于回收位置且回收箱f2配置于待机位置的状态。
回收位置位于带按压构件53的正下方，被切断成单张后的不要带tn收纳于被配置于回收位置的回收箱f。另外，待机位置构成为位于比回收位置更远离带粘贴装置1的中心部的位置，配置于待机位置的回收箱f能够通过图1所示的开闭门59向粘合带粘贴装置1的外部取出。
隔离膜回收部的结构
隔离膜回收部15的结构与带回收部13的结构是共通的。即，如图6所示，隔离膜回收部15包括隔离膜保持构件61、隔离膜按压构件63、刀具单元65、以及隔离膜回收单元67。
隔离膜保持构件61包括可动台61a和保持构件61b。通过在保持构件61b保持着隔离膜s的状态下使可动台61a向图6所示的左方向移动，从而被引导辊60向隔离膜回收部15引导的隔离膜s以向水平方向拉出的状态稳定地保持。
隔离膜按压构件63包括可动台63a和按压板63b。可动台63a构成为能够沿上下方向往复移动。在按压板63b的成为扁平的背面中的、至少在隔离膜吸附部分设有吸附孔，被隔离膜保持构件61拉出后的隔离膜s被按压板63b吸附保持为在水平方向上扩展的平坦的状态。
刀具单元65包括可动台65a和切刀65b。可动台65a构成为能够分别向隔离膜s的宽度方向和厚度方向进行驱动。切刀65b连接于可动台65a的前端，将隔离膜s沿宽度方向切断成单张。
隔离膜回收单元67包括旋转台68和多个回收箱g。在实施例中，包括两个回收箱g1、g2。旋转台68构成为绕中心轴线w旋转。通过旋转台68的旋转，从而回收箱g分别在回收位置gc与待机位置gs之间相互移动。
在图6中，示出了回收箱g1配置于回收位置gc且回收箱g2配置于待机位置gs的状态。被切断成单张后的隔离膜s收纳于被配置于回收位置的回收箱g。配置于待机位置gs的回收箱g能够通过图1所示的开闭门69向粘合带粘贴装置1的外部取出。
粘贴动作的概要
在此，说明用于使用粘合带粘贴装置1将电路面保护用的粘合带t粘贴于晶圆w的一系列的基本动作。图7的(a)是对将保护用的粘合带t粘贴于晶圆w的工序进行说明的流程图。
当发出粘贴指令时，收纳于规定的收纳部的晶圆w被在对准台上进行对位，之后被未图示的晶圆输送机构载置于保持台5。载置于保持台5后的晶圆w在旋转并以晶圆w的中心位于保持台5的中心之上的方式对位的状态下被吸附保持。(步骤s1)。
此时，带粘贴单元7、带切断单元7、以及带剥离单元11分别向图8的(a)所示的初始位置移动。即，带粘贴单元9向保持台5的右侧移动，带剥离单元11向保持台5的左侧移动。另外，带切断单元9在保持台5的上方待机。
另外，自装填于带供给部17的供给位置的粘合带卷28a向下游放出并供给带隔离膜的粘合带ts，带ts被剥离单元31剥离为粘合带t和隔离膜s。随后，粘合带t被带粘贴单元7和带剥离单元11引导。
接下来，如图8的(b)所示，带粘贴单元7的粘贴辊7b一边将粘合带t向下方按压一边在晶圆w上向前方(在图8中为左方向)滚动，从而自点线所示的初始位置向实线所示的终端位置移动。由此，粘合带t被粘贴于晶圆w的整个表面(步骤s2)。
在粘合带t被粘贴于晶圆w之后，如图9所示，在上方待机的带切断单元9下降，并自点线所示的初始位置向实线所示的切断位置移动。并且，通过使带切断单元9向切断位置下降，从而刀具9c在保持台5的刀具行进槽5a中刺穿粘合带t。
在刀具9c刺穿粘合带t之后，支承臂9b以纵轴心p为旋转中心进行旋转。与此相伴，刀具9c一边滑动接触于晶圆外周缘一边旋转移动而将粘合带t沿着晶圆的外形切断(步骤s3)。
在完成沿着晶圆的外形切断粘合带t之后，带切断单元9上升到原来的待机位置。随后，带粘贴单元7自终端位置向初始位置返回。粘贴单元17向初始位置返回，并且，如图10所示那样，带剥离单元11向前方(在图10中为右方向)移动。即，带剥离单元11在图10中自点线所示的初始位置向右方向移动向实线所示的终端位置。
带剥离单元11一边向终端位置移动一边卷起并剥离粘合带t中的、在晶圆w上被切下并切断而残留下来的不要带tn(步骤s4)。另外，对于粘合带t中的、粘贴于晶圆w的表面的部分，标注附图标记tw，以与不要带tn相区别。
在剥离单元21到达剥离作业的结束位置之后，带剥离单元11自结束位置向初始位置返回。此时，不要带tn被卷绕，并被向带回收部13引导和回收，且自带供给部17放出恒定量的带ts(步骤s5)。
当直至步骤s5的各处理结束时，解除保持台5的吸附。吸附解除之后，粘贴有粘合带tw的晶圆w被晶圆输送机构输送并被回收至未图示的晶圆回收部(步骤s6)。以上，完成了1次粘合带粘贴处理。
另外，在完成粘合带粘贴处理之后，根据配置于带供给部17的供给位置的带ts的粘合带卷28(供给用带)的装填量而分支出以下的工序。在供给用带的装填量为预先确定的规定量以下的情况下，进行带ts的自动更换(步骤s7)。在使用各种传感器等来确认供给用带的装填量为规定量以上之后，依次重复上述动作。
说明带的更换工序
在此，说明步骤s7的、自动地更换带ts的工序。在供给用带的装填量为规定量以下的情况下，步骤s7的带的更换工序按照图7的(b)的流程图所示的、步骤s7－1～步骤7－8的工序来进行。通过图7的(b)所示的工序，配置于带供给部17的供给位置的粘合带卷28被更换为新的粘合带卷28，且自新的粘合带卷28放出的后行的(上游侧的)带ts的前端和先行的(下游侧的)带ts的后端被自动地接合起来。
另外，在带供给部17的实施例中，举例说明将在供给位置最初配置有卷轴25a和粘合带卷28a且将装填量为规定值以下的粘合带卷28a更换为新的粘合带卷28b的情况。
步骤s7－1(把持部的形成)
在执行带的更换时，执行利用把持部形成单元19在粘合带t形成把持部的工序。把持部形成单元19的各结构的初始位置如图3所示。即，带ts被剥离单元31剥离了隔离膜s，从而粘合带t的粘合面暴露。推出构件33配置于粘合带t的粘合面侧，压合辊35配置于粘合带t的非粘合面侧。
在步骤s7－1中，首先，如图11所示，内板33c相对于外壳部33a独立地向方向r移动而上推突起部33b。通过内板33c上推突起部33b，从而突起部33b的前端部被自外壳部33a向外部推出。
接下来，在突起部33b的前端部被自外壳部33a向外部推出的状态下，使推出构件33在方向r上移动。其结果，如图12所示，粘合带t的一部分(粘合带tp)被突起部33b向作为与放出方向l大致垂直的方向的方向r推出。
在突起部33b将粘合带tp向方向r推出后的状态下，外壳部33a抵接于在方向l上延伸的粘合带t。因此，能够避免突起部33b被上推的位置偏离方向r。另外，优选的是，在突起部33b将粘合带tp向方向r推出后的状态下，在方向l上放出的粘合带t以被外壳部33a和压合辊35夹持的方式保持。
在该情况下，能够避免在突起部33b将粘合带tp向方向r推出时粘合带t的除了粘合带tp以外的部分的延伸方向偏离方向l。因而，能够避免产生后述的把持部h的形成错误、把持部h的形状和大小与最初设想的形状不同等这样的情况。
在利用推出构件33将粘合带tp向方向r推出之后，推出后的粘合带tp被压合辊35压合而形成把持部h。具体而言，首先，如图13所示，压合辊35分别以彼此靠近的方式在放出方向l上分别向相反方向移动。其结果，向方向r推出后的粘合带tp的非粘合面被压合辊35自两侧夹持。
当粘合带tp被压合辊35夹住之后，如图14所示，解除内板33c对突起部33b的上推，使伸出的弹性构件33d恢复原状，由此突起部33b被收纳于外壳部33a的内部。
突起部33b因收纳而离开粘合带t，因此能够对粘合带tp进行压合。即，如图15所示，压合辊35进一步自粘合带tp的两侧压接粘合带tp。另外，压接粘合带tp的同时，使推出构件33离开粘合带t。其结果，粘合带tp的粘合面彼此之间被压合而形成把持部h。
这样，在规定的把持部形成位置tf使粘合带tp向方向r突出，进一步在放出方向l上自彼此相反的方向夹持并压接该粘合带tp，由此形成把持部。其结果，把持部h的形状成为在方向l上放出的粘合带t的长度pa的区域中向方向r突出长度pb的形状。并且，放出方向l上的长度pa为粘合带t的厚度程度上较短的长度，另一方面，对于与方向l大致垂直的方向r上的长度pb，能够根据突起部33b的形状而将其相应地设为任意的长度。
步骤s7－2(隔离膜的再粘接)
在形成有把持部之后，进行隔离膜的再粘接操作。即，如图16所示，使卷绕有隔离膜s的进给辊39向粘合带t的放出方向l上的前方(图16的左方向)滚动。此时，进给辊39构成为越过粘合带t的形成有把持部h的规定位置tf地滚动。
通过使进给辊39自点线所示的初始位置滚动到实线所示的终端位置，从而将隔离膜s再粘接于包含把持部h的基端部的粘合带t的规定长度范围内。通过将隔离膜s粘接于把持部h的基端部，能够防止粘合带t的形成把持部h的粘合面彼此之间发生剥离。其结果，能够防止粘合带t的粘合面彼此之间的剥离导致把持部h的毁坏，因此能够更稳定地维持把持部h。
步骤s7－3(把持部的送出)
在隔离膜的再粘接结束之后，进行把持部的送出操作。即，通过放出带ts，从而将把持部h送出到带接合单元21。在实施例中，在更靠近粘合带卷28的位置进行带ts的切断和接合，因此，带接合单元21的位置构成为位于比把持部形成位置tf靠上游的位置(图1)。因此，如图17所示，通过使带ts的放出方向自方向l向方向lr倒退，从而将把持部h自形成位置tf向上游送出并使其移动到带接合单元21。
步骤s7－4(把持部的保持)
如图18的(a)所示，自把持部形成单元19向带接合单元21送出后的把持部h移动到形成于把持单元45的间隙部46的位置。在将把持部h向带接合单元21送出之后，进行把持部的保持操作。即，如图18的(b)所示，通过使保持单元43和把持单元45向方向r移动，从而利用保持单元43和把持单元45来夹持带ts。通过利用各单元进行夹持，从而防止放出方向l上的带ts的错位。此时，保持单元43对隔离膜s进行吸附保持。
另外，把持单元45对粘合带t进行吸附保持。通过该吸附保持，带ts被更稳定地保持。随后，在对带ts进行夹持的同时利用把持单元45进行把持部h的保持操作。即，如图18的(c)所示，使构件45a和构件45b在放出方向l上彼此向相反方向移动，在间隙部46以夹持把持部h的方式进行把持。由于把持部h向与放出方向l大致垂直的方向突出规定长度，因此，通过把持把持部，把持单元45能够更稳定地保持粘合带t。
步骤s7－5(先行带的切断)
在保持把持部之后，进行先行带的切断操作。先行带指的是，自配置于供给位置的粘合带卷28(在实施例中为粘合带卷28a)放出的带ts。即，如图19所示那样，使刀具单元41的可动台41a向方向r进行驱动，而使切刀41b刺穿带ts。
随后，通过使可动台41a向带ts的宽度方向进行驱动，从而切刀41b在附图标记c所示的规定位置处在宽度方向的范围内切断先行的带ts。通过利用切刀41b切断先行带，从而先行的带ts自粘合带卷28a切离。并且，在先行的带ts的后端形成用于与自新的粘合带卷28放出的带相接合的末端部分。
步骤s7－6(先行带后端的剥离)
在切断先行带之后，进行先行带后端的剥离操作。即，如图20所示，使对隔离膜s进行吸附保持的保持单元43和对粘合带t进行吸附保持以及对把持部h进行保持的把持单元45分别在方向r上向相反的方向离开。通过在维持保持状态的同时使两单元离开，从而在先行的带ts的后端ba使粘合带t和隔离膜s剥离。
与对带ts的一个面进行吸附而剥离的以往结构不同，在实施例中，成为如下结构，即，形成向相对于带ts的面大致垂直的方向突出的把持部h，把持单元45保持该把持部。与对一个面进行吸附保持的结构相比，把持并保持向大致垂直的方向突出的把持部h的结构能够更稳定地保持带ts。因此，在实施例的结构中，即使在粘合带t与隔离膜s之间的粘合力较强的情况下，也能够在先行带的后端使粘合带t和隔离膜s可靠地剥离。
步骤s7－7(粘合带卷的切换)
在剥离了先行带的后端之后，进行粘合带卷的切换操作。即，如图21的各图所示，使带供给部17的旋转板23适当旋转，从而切换配置于供给位置的粘合带卷28。通过旋转板23的旋转，配置于供给位置的粘合带卷28自装填量减少了的粘合带卷28a(图21的(a))切换为装填量足够多的粘合带卷28b(图21的(b))。
另外，在图21和之后图中，对配备于卷轴25a的带保持构件27标注附图标记27a，对配备于卷轴25b的带保持构件27标注附图标记27b，以对两者进行区分。另外，在图22和图23中，在先行带的带ts、粘合带t以及隔离膜s的附图标记之后分别标注附图标记a，在后行带的带ts、粘合带t和隔离膜s的附图标记之后分别附图标记b，以对两者进行区分。
步骤s7－8(后行带的放出)
在完成粘合带卷的切换之后，进行后行带的放出操作。在将位于供给位置的粘合带卷切换为粘合带卷28b的时刻，后行带tsb的前端被夹持于带保持构件27b(图22的(a))。因此，为了使先行带tsa和后行带tsb相接合，自粘合带卷28b经由带保持构件27b放出后行带tsb(图22的(b))。其结果，后行带tsb的前端fw被放出到能够与先行带tsa的后端ba相接合的位置。
步骤s7－9(带的接合)
在将后行带充分地放出之后，进行带的接合操作。即，如图23的(a)所示，使吸附保持着隔离膜sa的保持单元43和吸附保持着粘合带ta的把持单元45向方向r移动，利用先行的粘合带ta和隔离膜sa来夹持后行带tsb的前端fw。在进行夹持之后，在粘合带ta的后端与粘合带tb的前端之间以及隔离膜sa的后端与隔离膜sb的前端之间进行接合，由此完成先行带tsa与后行带tsb之间的接合。
在实施例中，如图22的各图所示，包括在带ts的前端预先粘贴有以双面带为例的粘合材料g的结构。因此，粘合带ta的后端和粘合带tb的前端、以及隔离膜sa的后端和隔离膜sb的前端被保持单元43和把持单元45按压而借助粘合材料g相接合。
在完成先行带tsa与后行带tsb之间的接合之后，如图23的(b)所示，使保持单元43和把持单元45向实线所示的初始位置返回。随后，将接合后的两个带向方向l放出。以上，完成了步骤s7的一系列的动作。即，自动地执行自粘合带卷28a更换为粘合带卷28b的操作、以及自粘合带卷28a放出的带tsa和自粘合带卷28b放出的带tsb的端部彼此之间的接合。
另外，在步骤s7－7中，自供给位置切换至待机位置的粘合带卷28a能够经过未图示的开闭门向粘合带粘贴装置1的外部拆除。并且，操作员在拆除粘合带卷28a的同时将新的粘合带卷28c设置于待机位置。在粘合带卷28b的装填量减少的情况下，再次进行步骤s7的各工序，由此能够自动地执行自粘合带卷28b的带ts向粘合带卷28c的带ts的切换。其结果，能够大幅减少操作员的作业。
带回收工序的说明
接下来，在步骤s5等中，说明带回收部13回收不要带tn的具体动作。图7的(c)是对带回收部13回收不要带tn的带回收工序的各动作进行说明的流程图。另外，带回收部13所包括的各结构的初始位置如图5所示。另外，在带回收单元57中，回收箱f1配置于回收位置fc，回收箱f2配置于待机位置fs。
步骤s5－1(带的拉出)
在实施例的带回收工序中，首先，进行带的拉出操作。即，将被引导辊50向带回收部13引导的不要带tn拉出规定长度。具体而言，如图24的(a)所示，带保持构件51自点线所示的初始位置向实线所示的终端位置移动。终端位置只要为放出了不要带tn的位置即可，可适当设定。
向终端位置移动的带保持构件51保持向带回收部13引导的不要带tn。在实施例中，如图24的(b)所示，成为以下结构，即、通过使保持构件51b在不要带tn的厚度方向上可动，而自表面和背面这两侧夹住并保持不要带tn。带保持构件51只要为稳定地保持不要带tn的结构即可，并不限于利用保持构件51b进行把持的结构，带保持构件51也可以为对不要带tn进行吸附保持的结构等。
随后，如图24的(c)所示，带保持构件51在保持着不要带tn的状态下自终端位置向初始位置返回。通过使带保持构件51返回到初始位置，从而不要带tn被向附图标记m所示的方向拉出自终端位置起到初始位置为止的规定长度k。在实施例中，方向m构成为水平方向，但方向m可以适当变更。
步骤s5－2(将带保持为平坦状态)
在不要带tn被拉出规定长度之后，将拉出的不要带tn保持为平坦的状态。即，如图25所示，使带按压构件53自点线所示的初始位置向实线所示的吸附位置移动。
随后，带按压构件53借助按压板53b所具有的扁平的整个背面对被拉出的不要带tn进行吸附保持。此时，不要带tn在放出方向和宽度方向上被保持为平坦的状态。另外，将不要带tn保持为平坦的结构可以适当变更，作为一个例子，也可以适用在按压板53b所具有的扁平的背面的外周部分对不要带tn进行吸附保持的结构。
步骤s5－3(将带切断成单张)
在将不要带tn保持为平坦状态之后，将带切断成单张。即，如图26的(a)所示，使刀具单元55自点线所示的初始位置沿不要带tn的厚度方向向实线所示的切断位置移动。随后，切刀55b在切断位置刺穿不要带tn。之后，通过使可动台55a向不要带tn的宽度方向(在图中为z方向)移动，从而切刀55b将不要带tn切断成单张。另外，并不限于使切刀55b在r方向上移动并在刺穿不要带tn之后向宽度方向移动的结构。作为一个例子，如图26的(b)所示，也可以为通过使在不要带tn的侧面待机的切刀55b向不要带tn的宽度方向移动来使切刀55b的刀尖将不要带tn切断成单张的结构。在该情况下，能够省略使可动台55a向方向r移动的结构。
步骤s5－4(单张带的收纳)
在拉出不要带tn并将该拉出后的部分切断为单张之后，进行单张带的收纳操作。首先，使刀具单元55返回初始位置，并解除带保持构件51对不要带tn的保持。随后，如图27所示，使带按压构件53在吸附保持着被切断成单张的不要带tn的状态下进一步下降。
下降了的带按压构件53自点线所示的吸附位置移动到实线所示的、回收箱f1的底面附近。随后，在回收箱f1的底面附近解除不要带tn的吸附保持。被解除了吸附保持的不要带tn以平坦的状态收纳在回收箱f1的底面或收纳在已经收纳于回收箱f1内的不要带tna之上。
由于在回收箱f1的底面附近或已收纳的不要带tna的上表面附近解除平坦的不要带tn的吸附保持，因此能够将被切断成单张后的不要带tn分别以平坦的状态层叠并收纳。即，在自解除吸附保持起到被层叠地收纳起来为止的期间内，能够避免单张的不要带tn发生弯曲等变形。
另外，若能够将不要带tn分别以平坦的状态层叠，则并不限于在回收箱f1的底面附近等处解除吸附保持的结构。即，更优选的是，下降了的带按压构件53将吸附保持着的不要带tn在按压于回收箱f1的底面或按压于已收纳的不要带tna的表面的状态下解除吸附保持。在将被切断成单张的不要带tn层叠地收纳于回收箱内之后，使带按压构件53上升并返回初始位置。
之后，根据在配置于回收位置fc的回收箱f1中收纳着的不要带tn的量是否为预先确定的规定量以上而相应地使工序分支。在不足规定量的情况下，返回步骤s5－1而重复进行步骤s5－1～步骤s5－4的一系列的动作，以继续进行不要带tn的回收。在为规定量以上的情况下，进入步骤s5－5，进行回收箱f的切换。
步骤s5－5(回收箱的切换)
在进行回收箱f的切换的情况下，如图28所示，使分别载置有回收箱f的旋转台58绕中心轴线v旋转。通过旋转台58的旋转，从而收纳有规定量以上的不要带tn的回收箱f1自回收位置fc移动到待机位置fs。另一方面，空的回收箱f2自待机位置fs移动到回收位置fc。
通过将配置于回收位置fc的回收箱f自回收箱f1切换为回收箱f2，能够将单张的不要带tn收纳在回收箱f2。即，在将配置于回收位置fc的回收箱f1切换为空的回收箱f2之后，返回步骤s5－1并再次开始不要带tn的回收工序。
并且，在实施例中，能够一边再次开始不要带tn的回收工序一边进行超过了容许量的回收箱f的更换操作。即，如图29所示，操作员通过打开开闭门59而将移动到待机位置后的回收箱f1取出到粘合带粘贴装置1的外部。随后，操作员将空的新的回收箱f3作为回收箱f1的替代载置于旋转台58上的待机位置fs。
待机位置fs构成为位于比回收位置fc更远离带粘贴装置1的中央部的位置。因此，能够避免在进行移动到待机位置fs后的回收箱f的取出和更换时操作员靠近高温部、可动部等。
另外，能够在使回收箱f2向回收位置fc移动而再次开始了不要带tn的回收的状态下将回收箱f1更换为回收箱f3。即，除了使旋转台58旋转的工序以外，不必使带回收部13的动作停止，因此能够提升带回收部13的运转效率。
说明隔离膜回收部的动作
在此，说明隔离膜回收部15的动作。图6所示的隔离膜回收部15的结构与如图5所示的带回收部13是共通的，隔离膜回收部15的动作也与带回收部13的动作是共通的。
即，被剥离单元31自粘合带t剥离了的隔离膜s被引导辊60向隔离膜回收部15引导。隔离膜保持构件61把持被引导过来的隔离膜s的末端并将该隔离膜s的末端向预先确定的方向(在实施例中为图6的左方向)拉出规定长度。
在拉出隔离膜s之后，使隔离膜按压构件63下降。随后，借助按压板63b的整个扁平面将拉出的隔离膜s吸附保持为以平坦的状态。刀具单元65的切刀65b将保持为平坦的状态的隔离膜s切断成单张。
隔离膜按压构件63以吸附着切断成单张的隔离膜s状态进一步下降，并移动到配置于回收位置gc的回收箱g1的底面附近。随后，隔离膜按压构件63在回收箱f1的底面附近解除隔离膜s的吸附保持。解除了吸附保持的隔离膜s以平坦的隔离膜s彼此层叠多层的状态收纳于回收箱g1。
在将隔离膜s以平坦的状态收纳于回收箱g1内之后，使刀具单元65和隔离膜按压构件63返回初始位置，之后重复进行将隔离膜s切断为单张并以平坦的状态层叠地收纳起来的工序。在配置于回收位置gc的回收箱g的隔离膜收纳量为规定值以上的情况下，使旋转台68绕中心轴线w旋转而使回收箱g2移动到回收位置gc，之后再次开始隔离膜s的回收工序。
操作员打开开闭门69将自回收位置gc向待机位置gs移动的回收箱g1取出，并将新的回收箱g配置于待机位置gs。在这样的实施例的回收工序中，除了使旋转台68旋转的工序以外，不必使隔离膜回收部15的动作停止。即，即使在更换收纳量超过了规定值的回收箱的情况下，也能够继续进行隔离膜回收部15的动作，因此能够提升隔离膜回收部15的运转效率。
实施例的结构的效果
在实施例中，使先行的粘合带的一部分向相对于该粘合带的放出方向大致垂直的方向突出而形成把持部，将比该把持部靠后端侧的部分切断。随后，在保持着把持部的状态下，在先行带的后部使粘合带和隔离膜向离开的方向移动而将两者剥离。最后，使后行带的前部移动到剥离后的先行的粘合带与隔离膜之间，利用先行的粘合带和隔离膜来夹持并接合后行带的前部。
作为使不同的带彼此之间自动地接合的以往方法，可列举出如下那样的方法。即，如图30的(a)所示，首先，利用吸附构件j来吸附先行的粘合带ta。随后，如图30的(b)所示那样使先行的隔离膜sa和吸附构件j进行离开移动，从而使隔离膜sa和粘合带ta剥离。最后，利用剥离了的粘合带ta的后部和隔离膜sa的后部来夹持并接合后行带tsb的前部。
然而，在这样的以往的自动接合方法中，粘合带ta的粘合力较强，粘合带ta与隔离膜sa之间的粘接力有时超过吸附构件j的吸附力。在该情况下，如图30的(c)所示，即使使吸附构件j进行离开移动，也无法使粘合带ta的后部和隔离膜sa的后部剥离，从而难以进行先行带tsa与后行带tsb之间的接合。
相对于这样的以往的方法，在实施例中，如图30的(d)所示，保持构件n一边保持着把持部h一边进行离开移动。由于把持部h是粘合带ta的一部分，因此，即使使保持构件n进行离开移动，也能够避免把持部h自粘合带ta断裂。
另外，把持部h成为在方向l上放出的粘合带t的长度pa的区域中沿方向r突出长度pb的形状。长度pa成为粘合带t的厚度程度上较短的长度。因此，通过使保持构件n保持着把持部h向方向r进行离开移动，能够使较强的牵引力作用于放出方向l上的较狭小的范围pa内。其结果，能够飞跃性地提高在粘合带ta与隔离膜sa之间的边界面处作用于每单位面积的力的大小。因而，能够在先行带tsa的后端ba使粘合带ta和隔离膜sa可靠地剥离。
另一方面，对于方向r上的长度pb，能够根据推出粘合带t的突起部33b的形状来将其相应地设为任意的长度。即，由于能够将长度pb设定得足够长，因此，保持构件n能够可靠且牢固地保持把持部h。其结果，能够更可靠地避免产生图30的(c)所示那样的、先行带的后端ba的剥离错误。
并且，由于把持部h为以充分的长度向方向r突出的形状，因此，作为保持构件n，能够适用多种多样的结构。作为其一个例子，能够适用机械手等结构。因此，保持构件n能够更稳定地保持把持部h，且能够一边保持着把持部h一边对粘合带t执行复杂且精密的操作。
另外，通过在规定位置tf将粘合带t的一部分向方向r推出并在放出方向l上自彼此相反的方向对推出后的粘合带t的一部分进行压合这样简单的操作，能够在该规定位置形成把持部h。因而，能够提升把持部的形成位置tf的位置精度。
另外，在实施例中，在回收不需要的粘合带、隔离膜的情况下，将纵长的粘合带等以规定长度切断成单张。随后，将切断的单张的粘合带等以扩展了的平坦的状态层叠并收纳。
在图33所示那样的以往的回收方法中，在带回收部中，将纵长的不要带等卷绕在轴上进行回收。在这样的以往的结构中，在被卷绕地回收的不要带的量超过恒定量的情况下，首先，在使装置的运转停止之后切断不要带，将卷绕成卷状而被回收的不要带连同轴一起取出并更换上新的轴。随后，将上游的不要带缠绕在新的轴上并进行连接之后，再次开始运转。
在以往的结构中，需要用手动来进行这一系列的复杂的操作，因此，操作员的负担增加。另外，由于需要使装置的运转长时间停止，因此难以提升作业效率。另外，在卷绕并回收的结构中，需要设置大型的卷绕轴，因此，还担心粘合带粘贴装置大型化这样的问题。
作为在不使用卷绕轴的情况下回收纵长的不要带等的结构，能够想到将纵长的带切断成单张并将单张状的带投放到回收箱内而收纳的方法。然而，在这样的比较例的结构中，担心因回收频率上升而使作业效率降低这样的问题。
对于这样的问题反复进行了研究，其结果，发现这是切断成单张状的带的变形所导致的。即，由于纵长的带卷绕于多个引导辊等并被引导，因此，若将该纵长带切断成单张，则单张状的带片容易变形为弯曲的形状。因此，如图31的(a)所示，当将单张状的不要带tn投放到回收箱f内进行回收时，在回收箱f的内部，不要带tn会变形为卷曲状等各种形状，因此，多张不要带tn以杂乱的状态被收纳。
在该情况下，收纳于回收箱f内的不要带tn堆积的高度hn上升地比较快。即，由于相对于不要带tn的收纳量而言不要带tn所占的体积较大，因此，回收箱f的更换频率上升，其结果，使装置的运转效率降低。另外，由于各个不要带tn的形状不为恒定，因此，堆积的高度hn的上升速度不确定。因此，难以预测取出回收箱f并进行更换的时刻，由此非常难以执行计划性的作业。
另一方面，在本申请发明中，如图31的(b)所示，在将纵长的不要带tn以平坦地扩展的状态切断成单张之后，一边维持着该平坦的状态一边使单张状的不要带tn层叠并收纳于回收箱内。在这样的本申请发明的结构中，由于不要带tn被整齐且无浪费地层叠，因此，相对于不要带tn的收纳量而言不要带tn所占的体积被抑制在最小限度。由于能够降低回收箱f的更换频率，因此能够较大地提升装置的运转效率。另外，由于不要带tn堆积的高度hn的上升速度成为恒定，因此，容易执行计划性的作业。
本发明并不限于上述实施方式，而能够如下述那样以变形的方式实施。
(1)在实施例中，举例说明了把持着形成有把持部的粘合带t在后端部适宜地剥离粘合带t和隔离膜s并使带ts的末端彼此之间相接合的工序。但是，利用形成有把持部的粘合带t的方法并不限于粘合带接合方法。即，能够将在粘合带t形成把持部h的工序适用于以将放出了的纵长的粘合带向规定位置输送的方法为例的、多种多样的粘合带的处理方法。在此，“输送”并不限于输送整个粘合带的动作，还包含使具有把持部的粘合带的一部分向规定位置移动的动作。
借助把持部将粘合带向规定位置输送的过程如下。首先，使在放出方向l上放出的粘合带的一部tp向相对于方向l大致垂直的方向r突出(参照图12)。接下来，利用压合辊35自方向l和与方向l相反的方向来压合向方向r突出的粘合带的一部tp(参照图13和图14)。该压合的结果，形成有具有粘合带t的一部分向方向r突出的形状的把持部h(参照图15)。随后，通过把持把持部h(参照图18的(d))，从而将粘合带t向规定位置输送(参照图20)。
如图15和图30的(c)所示，把持部h具有在规定的把持部形成位置tf向与粘合带t的放出方向大致垂直的方向r突出的形状。由于向方向r的突出长度pb能够预先设定为任意且充分的长度，因此能够容易且牢固地保持把持部h。并且，在方向l上延伸的纵长的粘合带t中，向方向r突出的把持部h能够容易且可靠地被确认为处理对象区域的目标。因而，能够可靠地避免在纵长的粘合带t上实际进行处理的位置偏离预定的位置。
另一方面，把持部h的放出方向l上的长度pa为粘合带t的厚度程度上较短的长度。另外，通过适当设定推出构件33的位置，能够进一步提升把持部形成位置tf的位置精度。因此，通过保持着把持部h对粘合带t进行各种处理，与使宽幅的构件抵接并吸附粘合带t的结构、直接挑拣在方向l延伸的纵长的粘合带t的结构等相比，能够在纵长的粘合带t上精密地设定涉及处理操作的区域。
尤其是，形成本实施例的把持部的结构在对在单面具有粘合层的单面带进行各种处理的情况下尤其发挥有利的效果。即，如图12所示，通过使用推出构件33等，从而使向放出方向l放出的纵长状的粘合带t的非粘合面侧(在图12中为上侧)向方向r突出。随后，利用压合辊35自非粘合面侧夹住并压合突出了的粘合带的一部tp而形成把持部h。
此时，压合辊35压接于粘合带t的非粘合面，因此，能够在不对压合辊35进行不粘合处理的情况下避免压合辊35粘合于粘合带t。另外，由于压合辊35自放出方向l和与该方向l相反的方向进行压合，因此把持部h适宜地成为向与方向l大致垂直的方向r突出的形状。
并且，在形成把持部h之后，通过使用把持单元45等来把持把持部h，从而相对于粘合带t执行输送、切断、以及剥离等各种处理(图19和图20)。由于把持部h以粘合带t的非粘合面位于外侧的方式向方向r突出，因此，把持单元45均把持粘合带的非粘合面。因而，能够在不进行不粘合处理的情况下避免把持单元45粘合于粘合带t。
并且，通过形成把持部h并把持该把持部h，能够设成将把持单元45仅设于粘合带t的一个面的结构。通常，在为了输送等而把持粘合带的情况下，需要在粘合带的表面侧和背面侧这两侧设置把持机构并自表面和背面夹持粘合带。其结果，从占有部分的大小等的观点考虑，会限制把持机构的结构、目的。
另一方面，在本发明中，由于能够仅在把持部突出的那个面设置把持单元，因此能够使把持单元45所占的部分更小，且能够简化把持单元45的结构。另外，能够自粘合带t的一个面牢固地保持该粘合带并向规定的一方向对粘合带t作用较强的力。
因而，能够将本申请结构适宜地适用于将粘贴于晶圆的粘合带剥离的工序、使放出了纵长的带的线形形状变更的工序等。在该情况下，相对于形成有把持部的带，使把持单元自该带的单面靠近该带并把持该把持部，使带中的至少包含把持部的部分向任意的位置移动，由此能够适宜地完成上述各工序。
(2)在实施例和各变形例中，使用粘合带粘贴装置说明了本发明的带接合装置和带回收装置，但本发明的带接合装置和带回收装置还能够使用于带粘贴装置之外的多种多样的带处理装置。作为带处理装置的例子，可列举出将粘贴于晶圆的各种带剥离的带剥离装置或为了将晶圆安装于环框而使用的安装装置(安装机构)等。
(3)在实施例和各变形例中，在形成把持部h的工序中，通过利用突起部33b推出粘合带t来使粘合带t的一部分向方向r突出，但形成把持部h的结构并不限于此。即，也可以是，通过将粘合带t的一部分向外部拉出，从而使粘合带t的一部分向方向r突出。作为拉出的结构的例子，可列举出利用机械手状的部件来把持并拉出粘合带t的一部分的结构、使用真空装置等来吸附并拉出粘合带t的一部分的结构。
(4)在实施例和各变形例中，配设于带供给部17的粘合带卷28并不限于两个，也可以配设三个以上。另外，对于带回收部13的回收箱f和隔离膜供给部15的回收箱g，也可以为配设三个以上的结构。
(5)在实施例和各变形例中，把持部h使剥离后的粘合带t突出，但形成把持部h的场所并不限于带ts的粘合带t侧。即，也可以是，使剥离后的隔离膜s突出，在隔离膜s的所在侧形成把持部h。
作为在隔离膜s的所在侧形成把持部h的结构，列举出自相反方向压接向方向r突出后的隔离膜s并施加热、超声波而使突出了的隔离膜s彼此之间相接合的方法(参照图12)。作为其他方法，列举出以订书机的方式在向方向r突出后的隔离膜s彼此之间订入以订书钉为例的接合件而进行接合的方法。另外，也可以是，在带ts中，在粘合带t的所在侧和隔离膜s的所在侧这两侧分别形成把持部h。
(6)在实施例和各变形例中，在带回收工序的步骤s5－2～步骤s5－4的各工序中，使用按压板53b的整个扁平面来吸附不要带tn。但是，只要能够将不要带tn保持为平坦地扩展的状态，则并不限于这样的结构。作为其他例子，列举出在按压板53b的扁平面的四个角配设吸附孔，利用该四个角来吸附保持不要带tn的结构。另外，并不限于吸附保持的结构，也可以适用以下结构等：通过使用机械结构来夹紧不要带tn，从而将不要带tn保持为平坦的状态。
(7)在实施例和各变形例中，步骤s7－9的使先行带tsa和后行带tsb相接合的工序并不限于图22的(b)所示那样的、在固定了带保持构件27的位置的状态下放出后行带tsb的前端fw的结构。即，也可以一边维持带保持构件27保持着后行带tsb的前端fw的状态一边放出后行带tsb。
(8)在实施例和各变形例中，如图22的(a)所示，新的粘合带卷28的带ts的前端为被两个带保持构件27夹持的结构，但并不限于此。即，如图32的(a)所示，更优选为以下结构：预先将带ts的前端的一部分剥离为隔离膜s和粘合带t，将剥离了的粘合带t卷绕于一个带保持构件27，将剥离了的隔离膜s卷绕于另一个带保持构件27。
在这样的变形例中，在要使先行带tsa的后部和后行带tsb的前部相接合的情况下，如图32的(b)所示，使夹持着后行带tsb的前端fw的带保持构件27连同前端fw一起向放出方向移动。随后，使先行的粘合带ta的后部和后行的粘合带tb的前部相接合，且使先行的隔离膜sa的后部和后行的隔离膜sb的前部相接合。
在这样的变形例的接合工序中能够使先行带tsa和后行带tsb相接触的面积更大，因此能够使两个带牢固地接合起来。并且，由于后行带tsb的粘合面暴露到外侧，因此，通过利用先行带tsa来夹持后行带tsb的前端，从而暴露了的后行带tsb的粘合面会与先行带tsa的粘合面适宜地接触。其结果，能够进一步提高使两个带相接合的力。
(9)在实施例和各变形例中，步骤s7－9的使先行带tsa和后行带tsb相接合的工序并不限于图23的(a)所示那样的、使用粘合材料g自两侧进行按压接合的方法。作为其他方法的例子，可列举出通过在保持单元43或其他结构配设加热器来加热两者而使两者相接合的结构、使用超声波产生装置对两者进行超声波接合的结构等。