一种基于多孔硅的微带硅基微波滤波器及其制造方法与流程

技术特征：

技术总结
本发明公开了一种基于多孔硅的微带硅基微波滤波器，包括：硅衬底；设置在所述硅衬底上的硅通孔；设置在所述硅衬底上的多孔硅层；设置在所述多孔硅层上的绝缘层；设置在所述绝缘层上的输入和/或输出接口；以及设置在所述绝缘层上的滤波器电极。

技术研发人员：欧毅;李志刚;蒋文静;欧文;张文奇;曹立强
受保护的技术使用者：华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
技术研发日：2018.04.02
技术公布日：2018.09.14