被加工物的加工方法与流程

文档序号:16148338发布日期:2018-12-05 16:58阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
提供被加工物的加工方法,能够防止芯片的损伤。在本发明的加工方法中,构成为在实施了粘贴步骤之后,一边实施对扩展片(8)进行扩展的预备扩展步骤一边进行在对扩展片(8)进行了扩展的状态下将正面保护带(T)从晶片(W)的正面(Wa)剥离的正面保护带剥离步骤,因此能够一边对扩展片(8)施加张力一边将正面保护带(T)从晶片(W)的正面(Wa)剥离。由此,能够防止芯片彼此接触而发生损伤。然后,在实施扩展步骤时,按照比预备扩展步骤中的扩展片(8)的扩展量的值大的扩展量对扩展片(8)进行扩展,因此能够在各芯片(C)之间形成充分的间隔,能够顺利地进行芯片(C)的搬送。

技术研发人员:卡尔·普利瓦西尔;木川有希子
受保护的技术使用者:株式会社迪思科
技术研发日:2018.05.17
技术公布日:2018.12.04
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