用于制造磁性结的自组装图案方法与流程

文档序号:16239026发布日期:2018-12-11 22:54阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
描述了可用于磁性器件中的磁性结和一种用于提供磁性结的方法。提供图案化的晶种层。图案化的晶种层包括散布有绝缘基质的磁晶种岛。在图案化的晶种层之后提供磁阻堆栈的至少一部分。磁阻堆栈包括至少一个磁性分离层。磁性分离层包括至少一种磁性材料和至少一个绝缘体。该方法至少使磁阻堆栈的该部分退火,以使得该至少一个磁性分离层分离。磁性分离层的成分分离,使得磁性材料的部分与磁晶种岛对准,并且使得绝缘体的部分与绝缘基质对准。

技术研发人员:弗拉基米尔·尼基京;德米特罗·阿帕尔科夫;塞巴斯蒂安·沙费尔
受保护的技术使用者:三星电子株式会社
技术研发日:2018.05.28
技术公布日:2018.12.11
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