一种GaAs-锑烯异质结太阳电池及其制备方法与流程

文档序号:15940732发布日期:2018-11-14 03:06阅读:367来源:国知局

本发明属于太阳能电池的技术领域,具体涉及一种gaas-锑烯异质结太阳电池及其制备方法。

背景技术

石墨烯是一种由碳原子形成的蜂窝状平面薄膜,具有高电导率,高透光度,高电子迁移率,功函数可调等优点,可被用来制备高电子迁移率晶体管等光电器件。然而,以石墨烯为代表的iv族元素二维原子晶体材料带隙为零或趋近于零,极大地限制了其在光电子领域中的应用前景。石墨烯与gaas接触可以形成肖特基接触,利用肖特基结可以制备太阳能电池。但是石墨烯-gaas肖特基结太阳电池的光电转换率仍有待提高。硅太阳电池也是如此,其光电性能也有待改善。



技术实现要素:

本发明的目的在于提供一种新结构的太阳电池gaas-锑烯异质结太阳电池。本发明的gaas-锑烯异质结太阳电池不仅工艺简单成本低,而且明显提高太阳电池的光电转换效率。

本发明的另一目的在于提供上述gaas-锑烯异质结太阳电池的制备方法。

本发明的目的通过以下技术方案实现:

一种gaas-锑烯异质结太阳能电池,由下至上依次包括背电极、gaas衬底、锑烯层、顶电极。

所述锑烯层生长完后,需将生长完锑烯层的gaas衬底进行退火处理。退火的温度为150~500℃,退火的时间为5~30分钟。

所述背电极为常规的电极材料,优选为金电极、银电极或铝电极;厚度为50~400nm。

所述顶电极为常规的电极材料,优选为导电银胶或银丝;厚度为100~3000nm。

所述gaas衬底为gaas外延片,优选为n型gaas片,gaas片的电子浓度为1×1017-9×1017cm-3

所述锑烯层的层数为1~10层。

所述gaas-锑烯异质结太阳能电池,还包括gaas重构层,所述gaas重构层位于gaas衬底和锑烯层之间。所述gaas重构层的厚度为0.5~5μm。

所述gaas-锑烯异质结太阳能电池的制备方法,包括以下步骤:

(1)在gaas衬底的一面镀上背电极,将gaas衬底中镀有背电极的一面称为下表面,另一面称为上表面;

(2)采用分子束外延法,在gaas衬底的上表面生长gaas重构层;

(3)采用分子束外延(mbe)法,在gaas重构层表面生长锑烯层;

(4)在锑烯层上制备顶电极。

步骤(1)中在gaas衬底的一面镀上背电极,具体步骤为:

(s1)镀背电极:将gaas晶圆上蒸镀一层金属,作为背电极;所述金属为常规的电极材料;背电极的厚度为50~400nm;

(s2)切割:将镀有背电极的gaas晶圆采用激光线切割成方片,然后去除方片表面的杂质,获得一面镀有背电极的gaas片。

所述去除方片表面的杂质是指将切割好的gaas片依次采用丙酮、乙醇中超声清洗,然后用超纯水清洗,再采用稀盐酸溶液处理,超纯水清洗,并吹干。

步骤(2)中所述gaas重构层的具体制备条件为:采用分子束外延方法生长,生长温度为300-800℃,生长速率为200-600nm/h,生长过程中的ga源束流为:1×10-7~9×10-7torr,as源束流为:3×10-6~5×10-5torr,gaas重构层的厚度为:0.5-5μm。

步骤(3)中所述采用分子束外延法在gaas重构层表面生长锑烯的条件为:生长过程中mbe生长室的真空度为1×10-9~1×10-10mbar,衬底温度为300~800℃,生长过程中锑源束流为:1×10-7~1×10-6torr,生长时间为:5~30分钟,锑烯的层数为1~10层。由于gaas(111)的晶格常数与锑烯的理论晶格常数十分接近,在gaas的表面会生长出锑烯。

步骤(3)中所述锑烯层在生长完后需进行退火处理。

所述退火的温度为150~500℃,退火的时间为5~30分钟。

步骤(4)中所述顶电极为常规的电极材料,优选为银;所述顶电极具体是将导电银胶涂在锑烯上,烘干。所述烘干的条件于热板上40~120℃干燥3~30min。所述正电极为正方形、圆形、环形或其他形状,优选为正方形。

二维原子晶体锑烯(antimonene),单层锑烯的禁带宽度为2.28ev,同时锑烯具有比石墨烯更高的电子迁移率,锑烯在空气中具有非常高的化学稳定性,暴露空气后不会被氧化。本发明在gaas衬底上(或者gaas重构层上)直接生长二维原子晶体材料锑烯,形成了gaas/锑烯异质结,该异质结具有优异的光生伏特效应。

与现有技术相比,本发明具有以下优点和有益效果:

(1)本发明通过在gaas片上通过分子束外延方式直接生长二维原子晶体材料锑烯,并制备基于gaas/锑烯异质结的太阳电池,由于单层锑烯是直接带隙半导体材料,具有理想的禁带宽度,单层锑烯约2.28ev,且与gaas之间形成良好的带隙匹配,可有效的起到分离电子空穴对的作用,从而减少电子和空穴的复合,最终实现太阳能电池高的光电转换效率;

(2)本发明的制备方法简单有效,器件制备工艺成本低,电池光电转换效率明显提高。

附图说明

图1为本发明的gaas-锑烯肖特基结太阳电池的结构示意图;

图2为实施例1的gaas-锑烯异质结太阳电池的电流-电压关系曲线;退火前表示gaas-锑烯异质结太阳电池中生长完锑烯层未进行退火处理,退火后表示gaas-锑烯异质结太阳电池中生长完锑烯层进行了退火处理。

具体实施方式

下面结合实施例和附图,对本发明作进一步地详细说明,但本发明的实施方式不限于此。

一种gaas-锑烯异质结太阳能电池的结构示意图如图1所示,由下至上依次包括背电极1、gaas衬底2、锑烯层3、顶电极4。

所述背电极为常规的电极材料,优选为金电极、银电极或铝电极;厚度为50~400nm。所述顶电极为常规的电极材料,优选为导电银胶或银丝;厚度为100~3000nm。

所述gaas衬底为gaas外延片,优选为n型gaas片,gaas片的电子浓度范围为1×1017-9×1017cm-3

所述锑烯层的层数为1~10层。

所述gaas-锑烯异质结太阳能电池,还包括gaas重构层,所述gaas重构层位于gaas衬底和锑烯层之间。所述gaas重构层的厚度为0.5~5μm。

实施例1

本实施例的gaas-锑烯异质结太阳电池的结构,由下至上依次包括底部金电极(背电极)、n型gaas衬底、gaas重构层、锑烯层和导电银胶电极(顶电极)。

本实施例的一种gaas-锑烯异质结太阳电池的制备方法,包括以下步骤:

(1)背面电极的制备:将2英寸n型gaas晶片衬底贴在圆盘上,gaas晶片四周用胶带保护(一是固定n型gaas晶片衬底在圆盘上,二是防止电极镀到圆片的边缘),将衬底放进电子束蒸发系统,蒸镀金电极;金电极的厚度为150nm;

(2)切割:将镀好金电极的n型gaas晶片衬底采用激光线切割成约一平方厘米大小的方片;

(3)清洗n型gaas衬底:将切割好的n型gaas衬底依次置于丙酮和乙醇中超声清洗,各自清洗10分钟;用超纯水冲洗3遍后,放进稀盐酸处理3分钟;最后是用超纯水冲洗n型gaas衬底表面5遍后,氮气枪吹干衬底表面待用;

(4)蒸镀gaas重构层:将清洗干净的gaas衬底放入分子束外延系统,gaas衬底上表面(gaas衬底中镀有金电极的一面称为下表面,另一面称为上表面)生长gaas重构层,生长温度为650℃,生长速率为400纳米每小时,生长过程中的ga源束流为:5×10-7torr,as源束流为:2×10-5torr,gaas重构层的厚度为:600纳米;

(5)在gaas重构层上生长锑烯层:生长前mbe生长室的真空度为1×10-10mbar,生长过程中衬底温度为450℃,生长过程中锑源束流为:2×10-7torr,生长时间为10分钟,锑烯的层数为2层;

(6)退火处理:将生长完锑烯的gaas衬底在mbe系统中400℃原位退火15分钟,提高锑烯的晶体质量;

(7)制备顶电极:在锑烯的表面边缘贴胶带,然后在锑烯的边缘用注射器制备一层导电银胶,注意导电银胶不能碰到n型gaas,只能在锑烯上面(贴胶带的作用就是防止导电银胶接触n型gaas表面),导电银胶的厚度为500纳米,最后,60℃下烘烤导电银胶约10min,烘干导电银胶。

图2为gaas-锑烯异质结太阳电池的j-v曲线,退火前表示gaas-锑烯异质结太阳电池中生长完锑烯层未进行退火处理,退火后表示gaas-锑烯异质结太阳电池中生长完锑烯层进行了退火处理。退火前制备出的gaas-锑烯异质结太阳电池空白对照组的填充因子为60%,转换效率为11.12%;生长完锑烯后400℃原位退火15分钟后,该gaas-锑烯异质结太阳能电池的填充因子提高到62%,转换效率提高到15.07%,太阳能电池的性能显著改善。

本发明的gaas-锑烯肖特基结太阳电池通过采用mbe技术在n型gaas表面直接生长二维原子晶体锑烯,利用gaas-锑烯形成良好的异质结并制备太阳电池,由于锑烯具有合适的能带(2.28ev),优异的光电性能和良好的稳定性,利用gaas-锑烯良好的异质结性能可以一方面提高对非平衡载流子的分离效率,同时锑烯具有较高的载流子迁移率,可以提高对载流子的收集效率。因此,本发明制备的基于二维原子晶体锑烯的太阳能电池,具有较高的光电转换效率。

实施例2

本实施例的gaas-锑烯异质结太阳电池的结构,由下至上依次包括底部金电极(背电极)、n型gaas衬底、gaas重构层、锑烯层和导电银胶电极(顶电极)。

本实施例的一种gaas-锑烯异质结太阳电池的制备方法,包括以下步骤:

(1)背面电极的制备:将2英寸n型gaas晶片衬底贴在圆盘上,然后将衬底放进电子束蒸发系统,蒸镀金电极,金电极的厚度为200nm;

(2)切割:将镀好金电极的n型gaas晶片衬底采用激光线切割成约一平方厘米大小的方片;

(3)清洗n型gaas衬底:将切割好的n型gaas衬底依次置于丙酮和乙醇中超声清洗,各自清洗10分钟;用超纯水冲洗3遍后,放进稀盐酸处理3分钟;最后是用超纯水冲洗n型gaas衬底表面5遍后,氮气枪吹干衬底表面待用;

(4)蒸镀gaas重构层:将清洗干净的gaas衬底放入分子束外延系统,生长gaas重构层,生长温度为600℃,生长速率为450纳米每小时,生长过程中的ga源束流为:6×10-7torr,as源束流为:3×10-5torr,gaas重构层的厚度为:900纳米;

(5)在gaas重构层上生长锑烯层:生长前mbe生长室的真空度为2×10-10mbar,生长过程中衬底温度为400℃,生长过程中锑源束流为:2×10-7torr,生长时间为20分钟,锑烯的层数为4层;

(6)退火处理:将生长完锑烯的gaas衬底在mbe系统中400℃原位退火15分钟,提高锑烯的晶体质量;

(7)制备顶电极:在锑烯的表面边缘贴胶带,然后在锑烯的边缘用注射器制备一层导电银胶,注意导电银胶不能碰到n型gaas,只能在锑烯上面(贴胶带的作用就是防止导电银胶接触n型gaas表面),导电银胶的厚度为800纳米,最后,70℃下烘烤导电银胶约15min,烘干导电银胶。

实施例3

本实施例的gaas-新型二维原子晶体锑烯异质结太阳电池的制备方法,包括以下步骤:

(1)背面电极的制备:将2英寸n型gaas晶片衬底贴在圆盘上,gaas晶片四周用胶带保护,然后将衬底放进电子束蒸发系统,蒸镀金电极,金电极的厚度为150nm;

(2)切割:将镀好金电极的n型gaas晶片衬底采用激光线切割成约一平方厘米大小的方片;

(3)清洗n型gaas衬底:将切割好的n型gaas衬底依次置于丙酮和乙醇中超声清洗,各自清洗10分钟;用超纯水冲洗5遍后,放进稀盐酸处理4分钟;最后用超纯水冲洗n型gaas衬底表面5遍后,氮气枪吹干衬底表面待用;

(4)蒸镀gaas重构层:将清洗干净的gaas衬底放入分子束外延系统,生长gaas重构层,生长温度为650℃,生长速率为350纳米每小时,生长过程中的ga源束流为:3×10-7torr,as源束流为:2×10-5torr,gaas重构层的厚度为:500纳米;

(5)在gaas重构层上生长锑烯层:生长前mbe生长室的真空度为1×10-10mbar,生长过程中衬底温度为420℃,生长过程中锑源束流为:3×10-7torr,生长时间为15分钟,锑烯的层数为3层;

(6)退火处理:将生长完锑烯的gaas衬底在mbe系统中500℃原位退火15分钟,提高锑烯的晶体质量;

(7)制备顶电极:在锑烯的表面边缘贴胶带,然后在锑烯的边缘用注射器制备一圈导电银胶,导电银胶的厚度为900纳米,为防止器件短路,制备过程中导电银胶不能碰到n型gaas,只能覆盖在锑烯上面,最后,65℃下烘烤导电银胶约5min,烘干导电银胶。

实施例4

本实施例的gaas-锑烯异质结太阳电池的结构,由下至上依次包括背电极(金电极)、n型gaas衬底、锑烯层和导电银胶电极。

本实施例的一种gaas-锑烯异质结太阳电池的制备方法,包括以下步骤:

(1)背面电极的制备:将2英寸n型gaas晶片衬底贴在圆盘上,gaas晶片四周用胶带保护(一是固定n型gaas晶片衬底在圆盘上,二是防止电极镀到圆片的边缘),将衬底放进电子束蒸发系统,蒸镀金电极;

(2)切割:将镀好金电极的n型gaas晶片衬底采用激光线切割成约一平方厘米大小的方片;

(3)清洗n型gaas衬底:将切割好的n型gaas衬底依次置于丙酮和乙醇中超声清洗,各自清洗10分钟;用超纯水冲洗3遍后,放进稀盐酸处理3分钟;最后是用超纯水冲洗n型gaas衬底表面5遍后,氮气枪吹干衬底表面待用;

(4)在gaas衬底表面生长锑烯层:生长前mbe生长室的真空度为1×10-9mbar,生长过程中衬底温度为450℃,生长过程中锑源束流为:2×10-7torr,生长时间为10分钟,锑烯的层数为2层;

(5)退火后处理:将生长完锑烯的gaas衬底在mbe系统中400℃原位退火15分钟,提高锑烯的晶体质量;

(6)制备顶电极:在锑烯的表面边缘贴胶带,然后在锑烯的边缘用注射器制备一层导电银胶,注意导电银胶不能碰到n型gaas,只能在锑烯上面(贴胶带的作用就是防止导电银胶接触n型gaas表面),导电银胶的厚度为500纳米,最后,60℃下烘烤导电银胶约10min,烘干导电银胶。

上述实施例为本发明较佳的实施方式,但本发明的实施方式并不受所述实施例的限制,其他的任何未背离本发明的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化,均应为等效的置换方式,都包含在本发明的保护范围之内。

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